CN202826096U - 四辊蓝宝石切片机 - Google Patents
四辊蓝宝石切片机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202826096U CN202826096U CN 201220342239 CN201220342239U CN202826096U CN 202826096 U CN202826096 U CN 202826096U CN 201220342239 CN201220342239 CN 201220342239 CN 201220342239 U CN201220342239 U CN 201220342239U CN 202826096 U CN202826096 U CN 202826096U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cutting
- roller
- sapphire
- screw mandrel
- cut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种四辊蓝宝石切片机,至少包括:具有工件切割区的机架,轴设在机架上且边缘设置有一段弧形齿条切割摇摆盘,与弧形齿条相啮合,可带动切割摇摆盘摇摆的驱动齿轮,设置在切割摇摆盘上可一同摇摆的四个切割辊,四切割辊的轴心连线构成一个两个顶角分别为108°,两个底角分别为72°的等腰梯形;缠绕于四切割辊上的金刚线,金刚线高速运转时可同时对三个蓝宝石硅锭进行切割作业;以及分别运送三个蓝宝石硅锭至切割线上进行切割作业的三个送件治具,本实用新型由于采用可往复摇摆的切割辊,蓝宝石硅锭与切割线阵为点式接触方式,减弱了切割阻力,也减少了金刚线的磨损,同时也提高了切割精度。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种多线切割技术,特别是涉及一种用于切割蓝宝石硅锭的四辊切片机。
背景技术
我们知道,发光二极管LED在当今社会中用途十分广泛,例如各种通信设备、仪器仪表及显示面板背光上均用有大量的LED。蓝宝石(Sapphire)作为制作LED的重要材料在半导体领域具有举足轻重的地位。在形成用于制作LED蓝宝石硅衬底之前,仍需要对蓝宝石硅材料进行前端加工,即将蓝宝石硅锭进行切片的作业。当今对蓝宝石硅锭进行切片加工普遍采用多线切割,多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术。它的原理是通过一根高速运动的钢丝带动附着在钢丝上的切割刃料对蓝宝石硅锭进行摩擦从而达到切割目的。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比具有效率高,产能高,能耗少,精度高等优点。
如图1所示,显示了现有的一种用于切割蓝宝石硅锭的切片机的简化结构示意图。如图1所示,现有的切片机包括:机架10,设置在机架10上的工作台11,用于收、放金刚线的贮丝筒,多个用于为金刚线进行导向的导线轮以及跨设在工作台相对两侧的两个切割辊12,所述两个切割辊12为水平设置,且在两者之间缠绕的金刚线形成一段切割线13,设置在切割线13上方的送件治具14,在送件治具14上固定有蓝宝石硅锭15。在对蓝宝石硅锭15的实际切割过程中,金刚线通过十几个导线轮的引导,在工作台相对两侧的切割辊12上形成一张线网,送件治具14将固定的蓝宝石硅锭15朝向切割线13运送,在压力泵在的作用下,装配在设备上的研磨剂自动喷洒装置将研磨剂喷洒至切割线13和蓝宝石硅锭15的切削部位,由切割线13带动研磨剂往复告诉运动,利用研磨砂对蓝宝石硅锭15产生切削,以将蓝宝石硅锭15一次同时切割为蓝宝石硅片。
在现有技术中的蓝宝石硅锭切片机上,位于工作台相对两侧的切割辊被设置在机架的相对两侧立柱上,因而左、右切割辊之间的跨度很大,所以位于两侧切割辊之间的金刚线走线距离也很长,在实际的切片作业中,当将工作台相对两侧的切割辊降下来,两侧的切割辊之间的金刚线压迫到工件时,会使金刚线形成很大的绕曲度,因而金刚线也就始终受到最大的运行阻力,由于工件本身往往具有很高的硬度而不易切割,再加上针对工件切片精准度的要求又很严格,所以上述因切割辊的设置方式而致使金刚线绕曲度过大很容易影响切割精准度。
另外,上述的晶体硅棒切片机中,仅设置了水平布局的两个切割辊,使得用于供切割蓝宝石硅锭的切割区间单一(仅为两侧两个切割辊之间缠绕的钢丝形成一段切割线),所以,单次能够切割蓝宝石硅锭的数量也很少(一般单次仅支持一个蓝宝石硅锭的切割),进行切割的工作效率较低。
再有,现有技术的蓝宝石硅锭切片机中的送件治具,其结构复杂且成本高昂,更为重要的是,送件治具为由一个托板带动送件壁,托板体积大,较重,使得送件的精度不宜控制,尤其针对切片的精度控制要求更高的尺寸较小(直径更小)的蓝宝石棒而言,问题更为突出,从而影响后续蓝宝石硅锭的切割质量。
因此,如何提供一种应用于蓝宝石硅锭的切割设备,以避免以上所述的缺失,实为相关领域之业者亟待解决的问题。
实用新型内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本实用新型的目的在于提供一种四辊蓝宝石切片机,以解决现有切割精准度不高、切割工作效率低下以及送件精度控制不良等问题。
为实现上述目的及其他相关目的,本实用新型提供一种四辊蓝宝石切片机至少包括:机架,具有工件切割区;切割摇摆盘,轴设在所述机架的工件切割区中,其边缘设置有一段弧形齿条;驱动齿轮,装设在所述机架上,并与所述弧形齿条相啮合,在正反向转动时带动所述切割摇摆盘以其圆心为轴心呈预设角度摇摆;第一、第二、第三、第四切割辊,设置在所述切割摇摆盘上并在所述切割摇摆盘摇摆时一同摇摆,上述四个切割辊的轴心与所述切割摇盘的圆心等距,所述第一、第二、第三、第四切割辊的轴心连线构成一个两个顶角分别为108°,两个底角分别为72°的等腰梯形;金刚线,依次缠绕于所述第一、第二及第三、第四切割辊上,所述金刚线在所述第一、第二、第三、与第四切割辊之间形成四段切割线,在所述金刚线高速运转时,由其中三段等长的切割线同时对三个蓝宝石硅锭进行切割作业;以及三个送件治具,分别与所述三段等长的切割线对应、用于分别运送所述三个蓝宝石硅锭至所述三段等长的切割线上进行切割作业。
优选地,所述切割摇摆盘的摇摆幅度为±5°。
所述三个送件治具包括对应形成在所述第一与第二切割辊之间的第一切割段的第一送件治具、对应形成在所述第二与第三切割辊之间的第二切割段的第二送件治具、以及对应形成在所述第四与第一切割辊之间的第三切割段的第三送件治具。
其中,所述第一送件治具包括设置在所述机架上,可朝向所述第一切割段直线移动用于运送所述蓝宝石硅锭脱离和/或压迫所述切割线的送件拖板。
所述第二、第三送件治具分别包括:摆臂座,设在所述机架上;摆臂,通过一转轴轴接于所述摆臂座的顶端,所述摆臂可绕与所述转轴在预设角度的范围内摆动;送件臂,设于所述摆臂上并朝向所述第二或第三切割段延伸,固定所述蓝宝石硅锭;丝杆座,设在所述机架的一横梁上;以及驱动机构,活动设置在所述丝杆座及摆臂上,至少包括驱动电机以及由所述驱动电机驱动以进行伸缩作业的丝杆,所述丝杆临近所述驱动电机的近端活动连接于所述丝杆座上,远离所述驱动电机的远端和所述摆臂活动连接,所述丝杆在伸缩时推拉所述摆臂摆动以使所述摆臂运送所述蓝宝石硅锭脱离和/或压迫所述切割线。
其中,还包括由所述摆臂延伸连接的延长臂,其顶端与所述丝杆的远端活动连接,所述延长臂的顶端与所述丝杆的远端设有第一丝杆活络关节,且所述第一丝杆活络关节内配置有在预设角度的范围内旋转的第一丝杆螺母。
所述丝杆的近端与所述丝杆座上设有第二丝杆活络关节,且所述第二丝杆活络关节内配置有在预设角度的范围内旋转的第二丝杆螺母。
所述第二、第三送件治具还包括设置在所述丝杆的远离所述驱动电机的远端的顶部、用于防止所述丝杆脱离与所述第一丝杆螺母的连接的防呆结构。
本实用新型的四辊蓝宝石切片机中的金刚线运行速度大于等于720m/min~900m/min。
本实用新型的四辊蓝宝石切片机还包括用于对所述金刚线导向的导向轮、用于吸收所述金刚线张力的张紧轮、以及用于收放所述金刚线的贮丝筒。
如上所述,本实用新型所提供的四辊蓝宝石切片机,提供了四个切割辊,四个切割辊的轴心连线构成一个两个顶角分别为108°,两个底角分别为72°的等腰梯形,从而确保四个所述切割辊之间形成三段长度和绕曲度相同的金刚线,从而确保了蓝宝石硅锭的精确度。而且,同时可以对三个蓝宝石硅锭进行切割,相较于仅提供一段切割线单次仅支持一个蓝宝石硅锭切割的现有技术,本实用新型可大大提高蓝宝石硅锭切割的工作效率;
再者,本实用新型四辊蓝宝石切片机中的送件治具,主要在于采用摆臂小幅摆动以及丝杆精确控制摆臂摆幅的方式来运送蓝宝石硅锭,相对于现有技术中的托板推送,实现了送件的精度控制,提高了蓝宝石硅锭的运送精度及其后续切割作业的作业效果,生产出高质量的蓝宝石硅片;
本实用新型所提供的四辊蓝宝石切片机,由于采用可往复摇摆的切割辊,蓝宝石硅锭与切割线阵为点式接触方式,大大减少了金刚线与蓝宝石硅锭的接触面长度,即减弱了切割阻力,也减少了金刚线的磨损,提高了金刚线的使用寿命,同时,提高了切割能力,也提高了切割精度。
附图说明
图1为现有技术用于切割蓝宝石硅锭的切片机的简化结构示意图。
图2显示为本实用新型四辊蓝宝石切片机的简化结构示意图。
图3显示为本实用新型四辊蓝宝石切片机中的切割摇摆盘的摇摆机构示意图。
图4显示为本实用新型四辊蓝宝石切片机中的送件治具机构示意图。
图5显示为切割摇摆盘的摇摆方式示意图。
图6A至图6C为本实用新型四辊蓝宝石切片机的切割原理示意图。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式,熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
请参阅图2至图6C,显示了本实用新型用于切割蓝宝石硅锭的切片机在一个实施方式中的结构示意图。
如图2所示,显示为本实用新型四辊蓝宝石切片机的简化结构示意图,本实用新型提供一种四辊蓝宝石切片机,其应用于对蓝宝石硅锭90进行切割作业。所述蓝宝石硅锭90呈立方体,包括相对的顶面、底面以及位于所述顶面和所述底面之间的四个侧面。在本实施方式中,所述四辊蓝宝石切片机至少包括:机架10,切割摇摆盘20,驱动齿轮110,第一切割辊31、第二切割辊32、第三切割辊33、第四切割辊34,金刚线40,三个送件治具51、52、53,导向轮60、张力的张紧轮70、以及贮丝筒80等部件。
机架10具有工件切割区11;请参阅图3,显示为切割摇摆盘的摇摆机构示意图,如图所示,所述切割摇摆盘20轴设在所述机架10的工件切割区11中,具体地,所述切割摇摆盘20为一个圆盘,通过在其轴心(图示中的轴心O)设置连接所述机架10的一个中心轴轴设在所述机架10的工件切割区11中,所述切割摇摆盘20的边缘设置有一段弧形齿条200,该弧形齿条200与装设在所述机架10上的驱动齿轮110相啮合,当所述驱动齿轮110在正反向转动时带动所述切割摇摆盘20以其圆心为轴心呈预设角度(图示中的θ角)摇摆,具体地,所述的θ角为10°角(即±5°),换言之,所述切割摇摆盘20的摇摆幅度为±5°。需要说明的是,在本实用新型中,将动力源(即驱动齿轮110)和受力部位(即弧形齿条200)设置在所述切割摇摆盘20的边缘处(即力学上所称的省力点),达到一个省力的效果,诚如本领域从业者所知晓的,在蓝宝石硅锭90的切割过程中,为保证其切割的精度,机械部件稳定的动作线性有着举足轻重的影响,若将动力源设置在所述切割摇摆盘20的轴心O点处(即力学上所称的费力点),则不易保证摇摆角度的精确性和稳定性。
所述第一切割辊31、第二切割辊32、第三切割辊33、第四切割辊34设置在所述切割摇摆盘20上,其中,所述第一切割辊31与第二切割辊32的轴心位于同一水平线上,所述第三切割辊33与第四切割辊34的轴心位于同一水平线上,所述第一切割辊31、第二切割辊32、第三切割辊33、第四切割辊34在所述切割摇摆盘20摇摆时一同摇摆(呈如图5所示之状态),所述第一切割辊31、第二切割辊32、第三切割辊33、第四切割辊34的轴心与所述切割摇盘的圆心等距,所述第一切割辊31、第二切割辊32、第三切割辊33、第四切割辊34的轴心连线构成一个两个顶角分别为108°(图3中的α角),两个底角分别为72°(图3中的β角)的等腰梯形。
所述金刚线40依次缠绕于所述第一切割辊31、第二切割辊32、第三切割辊33、及第四切割辊34上,所述金刚线40在所述第一、第二、第三、与第四切割辊31、32、33、及34之间形成四段切割线,在所述金刚线40高速运转时,由其中三段等长的切割线同时对三个蓝宝石硅锭90进行切割作业;所述第一切割辊31与第二切割辊32之间形成第一切割段(未标号),所述第二切割辊32与第三切割辊33之间形成第二切割段(未标号),所述第四切割辊34与第一切割辊31之间形成第三切割段(未标号),且所述第一、第二、及第三切割段的等长,由于保证了参与切割的三段金刚线40的绕曲度相同,从而确保了同时位于三段切割线上蓝宝石硅锭90的切割精确度,所述金刚线40的运行速度大于等于720m/min~900m/min,所述金刚线40收紧力为张力,决定了绕曲度大小,在本实施方式中,本实用新型提供的切片机的张力为35N/M,藉由设置在切割线传送路径上的张紧轮70吸收在切割过程中产生的张力,所述切片机还包括用于对所述金刚线40导向的导向轮60以形成切割网以及用于收、放所述金刚线40的两个贮丝筒80,所述贮丝筒80藉由电机(未图示)带动所述贮丝筒80旋转,进而使其收线或放线而使得所述金刚线40高速运转。
请参阅图4,显示为送件治具机构示意图,如图所示,所述四辊蓝宝石切片机中的三个送件治具51、52、及53分别与所述三段等长的切割线对应、用于分别运送所述三个蓝宝石硅锭90至三段等长的切割线上进行切割作业。
所述三个送件治具51、52、及53包括对应形成在所述第一与第二切割辊31、32之间的第一切割段的第一送件治具51,对应形成在所述第二与第三切割辊32、33之间的第二切割段的第二送件治具52,以及对应形成在所述第四与第一切割辊34、31之间的第三切割段的第三送件治具53。
其中,所述第一送件治具51包括设置在所述机架10上,可朝向所述第一切割段直线移动(如图示垂向箭头所示之方向)用于运送所述蓝宝石硅锭90脱离和/或压迫所述切割线的送件拖板。
所述第二送件治具52、第三送件治具53分别包括:摆臂座520、530,摆臂522、532,丝杆527、537,送件臂523、533,丝杆座524、534,驱动电机526、536,以及驱动机构。
为简化说明,本实施例中,暂以所述第二送件治具52的结构及原理作详细说明。
所述摆臂座520设在所述机架10上,所述摆臂522通过一转轴521轴接于所述摆臂座520的顶端,所述摆臂522可绕与所述转轴521在预设角度的范围内摆动;具体地,所述摆臂522延伸连接的延长臂5221,其顶端与所述丝杆527的远端活动连接,所述延长臂5221的顶端与所述丝杆527的远端设有第一丝杆活络关节528,且所述第一丝杆活络关节528内配置有在预设角度的范围内旋转的第一丝杆螺母(未标号)。
所述送件臂523设于所述摆臂522上并朝向所述第二或第三切割段延伸,固定所述蓝宝石硅锭90;在本实施例中,所述送件臂523上具有用以黏合蓝宝石硅锭90的底面的黏合介质,具体地,所述黏合介质可以是例如黏合胶,所述黏合胶将一块玻璃(未标示)一同黏合在蓝宝石硅锭90的底面上,待切片完成后,用热水溶化黏合胶而分离蓝宝石硅锭90和玻璃。
所述丝杆座520设在所述机架10的一横梁(未予以图示)上;所述驱动机构活动设置在所述丝杆座520及摆臂522上,至少包括驱动电机526以及由所述驱动电机526驱动以进行伸缩作业的丝杆527,所述丝杆527临近所述驱动电机526的近端活动连接于所述丝杆座524上,远离所述驱动电机526的远端和所述摆臂522活动连接,所述丝杆527在伸缩时推拉所述摆臂522摆动以使所述摆臂522运送所述蓝宝石硅锭90脱离和/或压迫所述切割线。
所述丝杆527的近端与所述丝杆座524上设有第二丝杆活络关节529,且所述第二丝杆活络关节529内配置有在预设角度的范围内旋转的第二丝杆螺母(未标示)。
所述第二送件治具52还包括设置在所述丝杆527的远离所述驱动电机526的远端的顶部、用于防止所述丝杆527脱离与所述第一丝杆螺母的连接的防呆结构(未图示)。在本实施方式中,所述防呆结构可以是锁附于丝杆527远端的顶部的挡片或挡块(未图示),所述挡片或挡块的尺寸要大于丝杆527的直径(即大于第一丝杆螺母的孔径),从而可以防止丝杆527在旋转过程中因操作不当而脱离与第一丝杆螺母的连接。
在实际应用中,丝杆527贯穿第一丝杆活络关节528内的第一丝杆螺母和第二丝杆活络关节529内的第一丝杆螺母,在驱动电机526的驱动下,丝杆527产生旋转并作伸缩动作,从而推拉摆臂522在预设角度的范围内摆动以使摆臂522运送蓝宝石硅锭90脱离和/或压迫切割线。在本实施方式中,摆臂522可绕与转轴521摆动的预设角度范围为0度至20度。
在实际的切割过程中,所述送件臂523上固定了蓝宝石硅锭90,摆臂522及其延伸的延长臂5221与机架10呈一定的倾角,丝杆527中临近驱动电机526的近端定位于第二丝杆活 络关节529中内配的第二丝杆螺母上,丝杆527中远离驱动电机526的远端则与第一丝杆活络关节528中内配的第一丝杆螺母保持连接。由于摆臂522及其延伸的延长臂5221与机架10呈一定的倾角,因此,在这种情况下,驱动机构中的结构,例如丝杆527、第一丝杆活络关节528内的第一丝杆螺母、第二丝杆活络关节529内的第二丝杆螺母、以及驱动电机526等保持有一定的倾斜。
继续参考图4,在驱动电机526的驱动下,丝杆527产生旋转,通过与第一丝杆螺母相配合,丝杆527有更多的区段旋进第一丝杆螺母,逐步拉近摆臂522及其延伸的延长臂5221,使得它们向丝杆座摆动,从而运送蓝宝石硅锭90迫近第二切割段进行切割作业,直至当切割作业完成后,摆臂522(包括延长臂5221)的终止位置是与水平面呈90°夹角,此时,第一丝杆活络关节528与第二丝杆活络关节529处于同一水平,驱动机构中的结构,例如丝杆527、第一丝杆活络关节528内的第一丝杆螺母、第二丝杆活络关节529内的第二丝杆螺母、以及驱动电机526与水平面齐平。
上述机械机构中,采用摆臂522小幅摆动以及丝杆精确控制摆臂522摆幅的方式来运送蓝宝石硅锭,相对于现有技术中的托板推送,实现了送件的精度控制,提高了蓝宝石硅锭的运送精度及其后续切割作业的作业效果,生产出高质量的蓝宝石硅片。
第三送件治具53与第二送件治具52机械结构及工作原理相同,故在此不再赘述。
请参阅图5及图6A至6C,图5显示为切割摇摆盘的摇摆方式示意图,图6A至图6C为本实用新型四辊蓝宝石切片机的切割原理示意图。如图所示,在切割作业中,所述金刚线40高速运转时,所述四辊蓝宝石切片机中的三个送件治具51、52、53分别与所述三段等长的切割线对应、用于分别运送所述三个蓝宝石硅锭90至三段等长的切割线上进行切割,同时,所述驱动齿轮110在正反向反复转动,进而带动所述切割摇摆盘20以其圆心为轴心呈±5°角度(图示中的θ角)摇摆,蓝宝石硅锭90与切割线为点式接触方式(呈如图6A至6C所示的状态),进行倾斜切割,进而大大减少了金刚线40与蓝宝石硅锭90的接触面长度,即减弱了切割阻力,也减少了金刚线的磨损,提高了金刚线的使用寿命,同时,提高了切割能力,也提高了切割精度。
综上所述,本实用新型所提供的四辊蓝宝石切片机,提供了四个切割辊,四个切割辊的轴心连线构成一个两个顶角分别为108°,两个底角分别为72°的等腰梯形,从而确保四个所述切割辊之间形成三段长度和绕曲度相同的金刚线,从而确保了蓝宝石硅锭的精确度。而且,同时可以对三个蓝宝石硅锭进行切割,相较于仅提供一段切割线单次仅支持一个蓝宝石硅锭切割的现有技术,本实用新型可大大提高蓝宝石硅锭切割的工作效率。
再者,本实用新型四辊蓝宝石切片机中的送件治具,主要在于采用摆臂小幅摆动以及丝杆精确控制摆臂摆幅的方式来运送蓝宝石硅锭,相对于现有技术中的托板推送,实现了送件的精度控制,提高了蓝宝石硅锭的运送精度及其后续切割作业的作业效果,生产出高质量的蓝宝石硅片。
本实用新型所提供的四辊蓝宝石切片机,由于采用可往复摇摆的切割辊,蓝宝石硅锭与切割线阵为点式接触方式,大大减少了金刚线与蓝宝石硅锭的接触面长度,即减弱了切割阻力,也减少了金刚线的磨损,提高了金刚线的使用寿命,同时,提高了切割能力,也提高了切割精度。
上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效,而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰或改变。
Claims (10)
1.一种四辊蓝宝石切片机,其特征在于,至少包括:
机架,具有工件切割区;
切割摇摆盘,轴设在所述机架的工件切割区中,其边缘设置有一段弧形齿条;
驱动齿轮,装设在所述机架上,并与所述弧形齿条相啮合,在正反向转动时带动所述切割摇摆盘以其圆心为轴心呈预设角度摇摆;
第一、第二、第三、第四切割辊,设置在所述切割摇摆盘上并在所述切割摇摆盘摇摆时一同摇摆,上述四个切割辊的轴心与所述切割摇盘的圆心等距,所述第一、第二、第三、第四切割辊的轴心连线构成一个两个顶角分别为108°,两个底角分别为72°的等腰梯形;
金刚线,依次缠绕于所述第一、第二及第三、第四切割辊上,所述金刚线在所述第一、第二、第三、与第四切割辊之间形成四段切割线,在所述金刚线高速运转时,由其中三段等长的切割线同时对三个蓝宝石硅锭进行切割作业;以及
三个送件治具,分别与所述三段等长的切割线对应、用于分别运送所述三个蓝宝石硅锭至所述三段等长的切割线上进行切割作业。
2.根据权利要求1所述的四辊蓝宝石切片机,其特征在于:所述切割摇摆盘的摇摆幅度为±5°。
3.根据权利要求1所述的四辊蓝宝石切片机,其特征在于:所述三个送件治具包括对应形成在所述第一与第二切割辊之间的第一切割段的第一送件治具、对应形成在所述第二与第三切割辊之间的第二切割段的第二送件治具、以及对应形成在所述第四与第一切割辊之间的第三切割段的第三送件治具。
4.根据权利要求3所述的四辊蓝宝石切片机,其特征在于:所述第一送件治具包括设置在所述机架上,可朝向所述第一切割段直线移动用于运送所述蓝宝石硅锭脱离和/或压迫所述切割线的送件拖板。
5.根据权利要求3所述的四辊蓝宝石切片机,其特征在于:所述第二、第三送件治具分别包括:
摆臂座,设在所述机架上;
摆臂,通过一转轴轴接于所述摆臂座的顶端,所述摆臂可绕与所述转轴在预设角度的范围内摆动;
送件臂,设于所述摆臂上并朝向所述第二或第三切割段延伸,固定所述蓝宝石硅锭;
丝杆座,设在所述机架的一横梁上;以及
驱动机构,活动设置在所述丝杆座及摆臂上,至少包括驱动电机以及由所述驱动电机驱动以进行伸缩作业的丝杆,所述丝杆临近所述驱动电机的近端活动连接于所述丝杆座上,远离所述驱动电机的远端和所述摆臂活动连接,所述丝杆在伸缩时推拉所述摆臂摆动以使所述摆臂运送所述蓝宝石硅锭脱离和/或压迫所述切割线。
6.根据权利要求5所述的四辊蓝宝石切片机,其特征在于:还包括由所述摆臂延伸连接的延长臂,其顶端与所述丝杆的远端活动连接,所述延长臂的顶端与所述丝杆的远端设有第一丝杆活络关节,且所述第一丝杆活络关节内配置有在预设角度的范围内旋转的第一丝杆螺母。
7.根据权利要求6所述的四辊蓝宝石切片机,其特征在于:所述丝杆的近端与所述丝杆座上设有第二丝杆活络关节,且所述第二丝杆活络关节内配置有在预设角度的范围内旋转的第二丝杆螺母。
8.根据权利要求6所述的四辊蓝宝石切片机,其特征在于:还包括设置在所述丝杆的远离所述驱动电机的远端的顶部、用于防止所述丝杆脱离与所述第一丝杆螺母的连接的防呆结构。
9.根据权利要求1所述的四辊蓝宝石切片机,其特征在于:所述金刚线的运行速度大于等于720m/min~900m/min。
10.根据权利要求1所述的四辊蓝宝石切片机,其特征在于:还包括用于对所述金刚线导向的导向轮、用于吸收所述金刚线张力的张紧轮、以及用于收放所述金刚线的贮丝筒。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201220342239 CN202826096U (zh) | 2012-07-13 | 2012-07-13 | 四辊蓝宝石切片机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201220342239 CN202826096U (zh) | 2012-07-13 | 2012-07-13 | 四辊蓝宝石切片机 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN202826096U true CN202826096U (zh) | 2013-03-27 |
Family
ID=47937882
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 201220342239 Expired - Lifetime CN202826096U (zh) | 2012-07-13 | 2012-07-13 | 四辊蓝宝石切片机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN202826096U (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102717446A (zh) * | 2012-07-13 | 2012-10-10 | 上海日进机床有限公司 | 四辊蓝宝石切片机 |
CN104552634A (zh) * | 2014-12-22 | 2015-04-29 | 无锡上机数控股份有限公司 | 一种新型数控金刚线蓝宝石切片机 |
CN107584687A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-01-16 | 乐山新天源太阳能科技有限公司 | 环形金刚线开方机 |
-
2012
- 2012-07-13 CN CN 201220342239 patent/CN202826096U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102717446A (zh) * | 2012-07-13 | 2012-10-10 | 上海日进机床有限公司 | 四辊蓝宝石切片机 |
CN102717446B (zh) * | 2012-07-13 | 2014-10-15 | 上海日进机床有限公司 | 四辊蓝宝石切片机 |
CN104552634A (zh) * | 2014-12-22 | 2015-04-29 | 无锡上机数控股份有限公司 | 一种新型数控金刚线蓝宝石切片机 |
CN107584687A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-01-16 | 乐山新天源太阳能科技有限公司 | 环形金刚线开方机 |
CN107584687B (zh) * | 2017-10-31 | 2024-03-26 | 乐山新天源太阳能科技有限公司 | 环形金刚线开方机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102717446B (zh) | 四辊蓝宝石切片机 | |
CN202826096U (zh) | 四辊蓝宝石切片机 | |
CN1982005A (zh) | 线锯 | |
CN202293069U (zh) | 一种蓝宝石切片电动摆动机构 | |
CN102079062B (zh) | 金刚线开方机的张力调整机构 | |
CN104015058B (zh) | 一种金属毛细管校直装置 | |
CN103921360A (zh) | 一种金刚线开方机 | |
CN102398314B (zh) | 金刚线切片机 | |
CN202412489U (zh) | 一种用于切割蓝宝石硅棒的切片机 | |
CN201625917U (zh) | 金刚线开方机的张力调整机构 | |
CN103252845A (zh) | 双向金刚线硅棒截断机 | |
CN102581971A (zh) | 一种蓝宝石切片电动摆动机构 | |
CN103085177B (zh) | 一种用于切割蓝宝石硅棒的切片机 | |
CN201552489U (zh) | 金刚线切片机的切割机构 | |
CN102398317A (zh) | 用于切割晶体硅棒的金刚线切片机 | |
CN202412500U (zh) | 具有双贮丝滚筒的金刚线截断机 | |
CN204604605U (zh) | 一种旋转切割锯床 | |
CN102398318A (zh) | 蓝宝石硅棒的切割方法 | |
CN104690761B (zh) | 切纸机及其纵向裁切进刀机构 | |
CN202336944U (zh) | 一种用于切割蓝宝石硅棒的切片机 | |
CN203045809U (zh) | 一种环横刀异形海绵切割机 | |
CN202162898U (zh) | 用于切割晶体硅棒的金刚线切片机 | |
CN100480015C (zh) | 旋转点切割大尺寸碳化硅晶体装置 | |
CN103072062B (zh) | 数控全自动凸轮专用加工机床 | |
CN202412499U (zh) | 金刚线切片机 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20180529 Address after: 314400 4 buildings in No. 17, Shi Dai Road, Haining Economic Development Zone, Haining, Jiaxing, Zhejiang Patentee after: Haining Dijin science and Technology Co.,Ltd. Address before: No. 1358, nine dry road, Si Jing Town, Songjiang District, Shanghai Patentee before: SHANGHAI NISSIN MACHINE TOOL Co.,Ltd. |
|
TR01 | Transfer of patent right | ||
CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20130327 |
|
CX01 | Expiry of patent term |