CN202793252U - 销高度检测用块 - Google Patents

Abstract

销高度检测用块，主要解决现有技术存在的测量误差大及钢尺对加热基座上表面易产生损伤的问题。它由两部分组成，包括固定基座和测量盘。固定基座分为两部分，上部分是细轴，下部分为粗轴。检测用块底面的中间部分设有一直径小于粗轴直径的凹槽；测量盘分上下两个面，上表面是操作观察区，下表面是工作区，沿测量盘外圆周设有多个相同形状但不同深度的凹槽面，与上表面的各高度区位置标识相互对应，其深度增长方向与上表面各高度区尺寸增长方向标识一致。将测量盘的下表面即工作区向下安装在固定基座细轴上，调整测量盘，使整个测量盘的下表面与固定基座粗轴的上端面贴合，测量盘中间设有一个轴孔，与固定基座上的细轴相配合。本实用新型能使整个检测过程简易、对加热基座上表面无损伤、检测结果也相对准确。

Description

销高度检测用块

技术领域

本实用新型涉及一种销高度检测用块，确切地说是一种在半导体镀膜设备用销在使用一定的时间后，在对其使用高度检测时，采用的一个测量工具，属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域。

背景技术

在现有的半导体镀膜设备，尤其是12英寸半导体镀膜设备中，机械手负责在整个工艺过程中，对晶圆的取放工作。因机械手自身具有一定的厚度，故要求晶圆在工艺前后，必须与加热基座之间留有一定的间隙，来保证机械手自由伸缩，不会与晶圆或加热基座相刮碰。现有的半导体镀膜设备采用不同形式的销，通过销提升机构，使销在晶圆传输过程中，对晶圆起到支撑和提升作用。但是因设备产能的需要，除要求销上、下运行顺畅外，还要求晶圆在销支撑和下降过程中，均能顺利平稳的下落，无滑片现象。这就对设备上各销在晶圆传输时，距离加热基座上表面的高度有严格要求，而不是毫无限制的。设备运行一定时间后，需要对其各方面进行全面维护，包括对销的高度进行检测。通过测量其实际高度，查看其是否发生变化。以便于及时调整，以免影响设备的正常使用。

因加热基座安装在反应腔内，不能利用高度尺去测量销的高度。通常采用的检测方法，就是将钢板尺或深度尺直接立于加热基座的上表面上，对销的高度进行测量。因钢板尺或深度尺的材质是钢，而加热基座的材质往往是比较软的铝或是比较脆的陶瓷，所以在检测过程中，无论怎样小心注意，都无法避免钢尺对加热基座上表面产生损伤，最终影响加热基座的使用性能。另外，因销的上表面是球面，采用钢板尺测量，读数时会存在很大的误差。而深度尺与销的端面接触时，二者是相切状态，销或深度尺稍有歪斜，也会产生很大的测量误差。

发明内容

本实用新型以解决上述问题为目的，主要解决现有技术存在的测量误差大及钢尺对加热基座上表面易产生损伤的问题，而设计的一种结构简单的尺寸检测用工具，它是针对设备上销的实际高度检测设计的。

为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案：销高度检测用块，该检测用块适用于在设备维护过程中，对销的当前高度进行检测。该检测用块由两部分组成，包括固定基座和测量盘。固定基座分为两部分，上部分是细轴，下部分为粗轴。细轴顶端设有倒角，以便于测量盘安装。细轴轴根部设有圆角，与粗轴缓和过渡。同时，细轴具有一定的高度，用于测量过程中对整个检测块的动作操作。因设备要求的销的高度是在一定高度范围之内的某一个定值，故该检测用块的检测范围也是与销的高度位于同一范围内的多个不同定值。根据结构的设计，粗轴的高度是一个定值，该发明设定的其高度小于所要求的销的最小高度值。粗轴两端均设有圆角，防止划伤加热基座及测量盘。为避免检测用块在与加热基座接触后，因材质的不同，会对工艺效果产生影响，故在检测用块底面的中间部分设有一直径小于粗轴直径的凹槽，用来减少检测用块与加热盘的接触面积。测量盘分上下两个面，上表面是操作观察区，设有起始高度值、各高度区位置标识及各高度区尺寸增长方向标识。下表面是工作区，沿测量盘外圆周设有多个相同形状但不同深度的凹槽面，与上表面的各高度区位置标识相互对应，各凹槽面深度增长方向与上表面各高度区尺寸增长方向标识一致。凹槽面的深度也是从一定值开始，以相同的步进量，按一定的方向逐步递增。凹槽面的深度及其数量均可以按照实际需要设定，不是固定的。测量盘中间设有一个轴孔，与固定基座上的细轴相配合，并在下表面端设有倒角，且倒角的尺寸要比细轴根部圆角的尺寸要大。将测量盘的下表面即工作区向下安装在固定基座细轴上，充分调整测量盘，使整个测量盘的下表面与固定基座粗轴的上端面贴合。因轴孔下端面倒角要比细轴根部圆角大，故测量盘能充分安装到细轴根部，不会出现安装不到位的现象。而且测量盘因与固定基座是紧配合，安装好后二者不会再有相对的位移。此时，粗轴的固定高度值与测量盘上凹槽面的不同深度值相组合，共同组成位于一高度范围之内的多个不同高度的固定尺寸值。

检测时，将安装好的检测用块轻轻的放置在加热基座上，将最低高度区靠近销，目测当前销的高度与该凹槽面的高度是否相近。若二者高度相近，则使销对准该处高度区的位置标识，轻轻放下，且使检测块固定基座的下表面与加热基座的上表面贴合平稳。如果销的端面与凹槽面二者之间仍然存在间隙，则说明此处的销的高度已经不满足当前设备的使用要求，需要重新调整后才能使用；如果销的端面与凹槽面二者之间没有任何间隙，则说明此时的凹槽高度值正好是销的当前高度值。若放下时，固定基座无法放平稳，则说明销的高度已经超过该凹槽面的高度。需要拿起测量块，并将其沿高度增加的方向转动到第二个高度区后，再观察此时凹槽面与销端面的相对位置：如果销与凹槽面之间有部分间隙，则可断定此时销的高度介于这两个凹槽高度的之间。如果销的端面仍然高出该凹槽面，则继续旋转检测用块，直至能得到该处的高度范围值为止。如果销的高度高出检测盘上最深的凹槽面，则说明该销的高度也已不满足设备的使用要求，需要重新调整。

本发明的有益效果是：该检测用块可以直接对当前销的高度进行准确测量，能精确到小数点后一位，满足设备对销使用高度的精度要求。不必采用钢板尺或深度尺等测量工具，从而避免钢板尺或是深度尺的金属表面与铝或陶瓷加热基座上表面的直接接触，以保证加热基座上表面不会被损伤，保护加热基座。能使整个检测过程简易、快捷，检测结果也相对准确。该检测用块具有结构简单、小巧方便、加工容易及成本低的特点。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是图1的剖视示意图。

图3是图1的俯视示意图。

图4是图1的仰视示意图。

具体实施方式

实施例

参照附图1-4，该销高度检测用块由测量盘1和固定基座2两部分组成。测量盘分上下两个面，上表面5是操作观察区，设有起始高度值17、各高度区尺寸增长方向标识18及6个高度区位置标识A16、B19、C20、D21、E22、F23。下表面6是工作区，沿测量盘外圆周设有6个相同形状但不同深度的凹槽面G24、H25、I 26、J 27、K28、L29，与上表面5的6个高度区位置标识A16、B19、C20、D21、E22、F23相互对应，6个凹槽面深度增长方向与上表面各高度区尺寸增长方向标识18一致。6个凹槽面G24、H25、I26、J27、K28、L29的深度从0.5mm开始，以0.1mm为增量，按顺时针方向递增至1mm。固定基座分为两段，上部分是细轴3，下部分为粗轴10。细轴顶端设有倒角4，以便于测量盘安装。细轴3轴根部设有圆角14，与粗轴10缓和过渡。同时，细轴具有一定的高度，用于测量过程中对整个检测块的动作操作。假定设备要求的销的高度是在10.5-11mm之间的某一个定值，因该检测用块的检测范围也是位于该内的多个不同定值，根据结构的设计，粗轴10的高度是一个定值，且其高度小于所要求的销的最小高度10.5mm，故该发明设定的粗轴高度是10mm。粗轴10两端均设有圆角7，以防止划伤加热基座或测量盘。为避免检测用块在与加热基座接触后，因材质的不同，会对工艺效果产生影响，故在检测用块底面的中间部分设有一直径小于粗轴直径的凹槽15，用来减少检测用块与加热盘的接触面积。测量盘中间设有一个轴孔13，与固定基座上的细轴3相配合，并在下表面端设有倒角12，且倒角12的尺寸要比细轴根部圆角14的尺寸要大。将测量盘的下表面6即工作区向下安装在固定基座细轴3上，充分调整测量盘1，使整个测量盘1的下表面6与固定基座粗轴10的上端面8贴合。因轴孔13下端面倒角12要比细轴根部圆角14大，故测量盘1能充分安装到细轴3根部，不会出现安装不到位的现象。而且测量盘1因与固定基座2是紧配合，安装好后二者不会再有相对的位移。粗轴10的固定高度与测量盘1上的6个凹槽面G24、H25、I 26、J 27、K28、L29的不同深度相组合，共同组成10.5mm到11mm之间6个不同高度的固定测量尺寸。

检测时，将安装好的检测用块轻轻的放置在加热基座上，将最低凹槽G24靠近销，目测当前销的高度与凹槽面G24的高度即10.5mm是否相近。若二者高度相近，则使销对准该处高度区位置标识A16，轻轻放下，且使检测块固定基座1的下表面9与加热基座的上表面贴合平稳。如果销的端面与凹槽面G24二者之间仍然存在间隙，则说明此处的销的高度已经小于当前设备的使用要求，需要重新调整后才能使用。如果销的端面与凹槽面G24二者之间没有任何间隙，则说明此时的凹槽高度值正好是销的当前高度值，即销的高度为10.5mm。若放下时，固定基座2无法放平稳，则说明销的高度已经超过凹槽面G24的高度，需要拿起测量块，并将其沿高度增加的方向转动，与第二个高度区位置标识B19对准后，放下。若固定基座2平稳贴合到加热基座上表面上，则观察此时凹槽面H25与销端面的相对位置。如果销与凹槽面H25之间有部分间隙，则可断定此时销的高度介于这两个凹槽的高度值之间，即销的高度介于10.5mm与10.6mm之间。如果销的端面仍然高出凹槽面H25，则继续旋转检测用块，直至能得到该处的高度范围值为止。如果销的高度高出检测盘上最深的凹槽面L29即11mm，则说明该销的高度已超出设备的使用要求，也需要重新调整。

该检测用块可以采用不同的材质，如铝、尼龙等，其材料的选用，可根据设备的自身要求而定。测量盘的形状及各处的高度尺寸设置，可根据实际的需要而定，并不是一成不变的。

Claims (4)

1.一种销高度检测用块，其特征在于：该检测用块由两部分组成，包括固定基座和测量盘，固定基座分为两部分，上部分是细轴，下部分为粗轴，检测用块底面的中间部分设有一直径小于粗轴直径的凹槽；测量盘分上下两个面，上表面是操作观察区，下表面是工作区，沿测量盘外圆周设有相同形状但不同深度的凹槽面，与上表面的各高度区位置标识相互对应，凹槽面的深度从一定值开始，以相同的步进量按一定的方向递增，凹槽面的深度及其数量均可以按照实际需要设定，其深度增长方向与上表面各高度区尺寸增长方向标识一致，将测量盘的下表面即工作区向下安装在固定基座细轴上，调整测量盘，使整个测量盘的下表面与固定基座粗轴的上端面贴合，测量盘中间设有一个轴孔，与固定基座上的细轴相配合。

2.如权利要求1所述的销高度检测用块，其特征在于：所述的粗轴的高度是一个定值，其小于所要求的销的最小高度值，并与测量盘上凹槽面的不同深度值相组合，共同组成位于一高度范围之内的多个不同的固定尺寸值，其端面均制有圆角。

3.如权利要求1所述的销高度检测用块，其特征在于：所述的细轴顶端制有倒角，细轴轴根部制有圆角，与粗轴缓和过渡。

4.如权利要求1所述的销高度检测用块，其特征在于：所述的轴孔其在下表面端设有倒角，且倒角的尺寸要比细轴根部圆角的尺寸要大。

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