CN202661413U - 蓝宝石晶体专用定向仪 - Google Patents

蓝宝石晶体专用定向仪 Download PDF

Info

Publication number
CN202661413U
CN202661413U CN2012202823993U CN201220282399U CN202661413U CN 202661413 U CN202661413 U CN 202661413U CN 2012202823993 U CN2012202823993 U CN 2012202823993U CN 201220282399 U CN201220282399 U CN 201220282399U CN 202661413 U CN202661413 U CN 202661413U
Authority
CN
China
Prior art keywords
main shaft
sapphire crystal
sample stage
worm
angular
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2012202823993U
Other languages
English (en)
Inventor
甄伟
赵松彬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DANDONG NEW DONGFANG CRYSTAL INSTRUMENT CO LTD
Original Assignee
DANDONG NEW DONGFANG CRYSTAL INSTRUMENT CO LTD
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by DANDONG NEW DONGFANG CRYSTAL INSTRUMENT CO LTD filed Critical DANDONG NEW DONGFANG CRYSTAL INSTRUMENT CO LTD
Priority to CN2012202823993U priority Critical patent/CN202661413U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202661413U publication Critical patent/CN202661413U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

蓝宝石晶体专用定向仪，包括：机体，机体上设置有工作台，工作台上设置有两个测角仪和一个X光射线管套，两个测角仪上分别设置有一个样品台，X光射线管套内设置有X光射线管，测角仪内部装设有蜗轮蜗杆副，蜗轮副与主轴连接，蜗杆副与编码器连接，主轴的一端固定连接有手轮。本实用新型实现了蓝宝石A向、C向、R向、M向等多晶向方位的定向测量，精度高，提高了生产率。

Description

蓝宝石晶体专用定向仪
技术领域
本实用新型涉及应用X射线衍射原理及布拉格方程原理，用于蓝宝石材料半成品的X射线定向，特别是涉及蓝宝石晶棒、晶片的A向、C向、M向、R向样品台面积较大，并带有弧形轨以及滚动轴承适合不同规格的半成品测量，精度高、生产效率高。 
背景技术
     蓝宝石加工中半成品晶棒以及成品晶片，在转下道工序以及出厂检验时需要相配套的蓝宝石晶体专用定向仪来进行蓝宝石半成品及成品的检测。并显示出偏差及读数以便上道工序的整改和下道工序的纠正等，随着客户对晶体精度要求的日益提高，传统的盲目切片盲目生产，不检测晶体内部晶向的生产模式逐渐被市场淘汰。本设备最终提供产品要求的加工晶体原子面角度。其测量精度高，测量效率快。 
实用新型内容： 
本实用新型要解决的问题是测量范围大，能满足0°-80°测量，满足了蓝宝石各个晶向的测量需求，提供一种能满足蓝宝石A向、C向、R向、M向等多向多角度检测，并且自动化程度高，测试精度高，测试效率快使用方便的蓝宝石晶体专用定向仪。
采用的技术方案是： 
蓝宝石晶体专用定向仪，包括：机体，机体上设置有工作台，工作台上设置有两个测角仪和一个X光射线管套，两个测角仪上分别设置有一个样品台，X光射线管套内设置有X光射线管，测角仪内部装设有蜗轮蜗杆副，蜗轮副与主轴连接，蜗杆副与编码器连接，主轴的一端固定连接有手轮，样品台的底部固定在主轴上，样品台的底面装设有滚动轴承，两个样品台上分别固定有一个闪烁探测器，其中一个样品台上设置有一显示样品角度的显示器，所述的机体内分别设置有高压变压器、稳压器及气泵。
本实用新型取得的积极效果是： 
1、编码器与蜗杆副连接通过传动比显示输出，即满足了测量精度需要，又降低了成本。
2、稳压器与变压器配合使用解决了输入电压波动对测量值的显示不准确的问题，提高了测量精度。 
3、蜗轮蜗杆传动副维护方便，提高设备使用寿命。 
4、单晶反射器2次衍射X光，可以减少对环境及操作者的污染和损害，提高X光射线管套中发射装置的使用寿命，并且能提高测量精度。 
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。 
具体实施方式
蓝宝石晶体专用定向仪，包括：机体3，机体3上设置有工作台4，工作台4上设置有两个测角仪16和一个X光射线管套10，两个测角仪16上分别设置有一个样品台7，X光射线管套10内设置有X光射线管8，测角仪16内部装设有蜗轮蜗杆副5，蜗轮副与主轴9连接，蜗杆副的一端与编码器6连接，蜗杆副的另一端固定连接有手轮11，样品台7的底部固定在主轴9上，样品台7的底面装设有滚动轴承14，两个样品台7上分别固定有一个闪烁探测器15，其中一个样品台上设置有一显示样品角度的显示器12，机体3内分别设置有高压变压器1、稳压器2及气泵13。 

Claims (1)

1.蓝宝石晶体专用定向仪，包括：机体，其特征在于所述的机体上设置有工作台，工作台上设置有两个测角仪和一个X光射线管套，两个测角仪上分别设置有一个样品台，X光射线管套内设置有X光射线管，测角仪内部装设有蜗轮蜗杆副，蜗轮副与主轴连接，蜗杆副与编码器连接，主轴的一端固定连接有手轮，样品台的底部固定在主轴上，样品台的底面装设有滚动轴承，两个样品台上分别固定有一个闪烁探测器，其中一个样品台上设置有一显示样品角度的显示器，所述的机体内分别设置有高压变压器、稳压器及气泵。
CN2012202823993U 2012-06-15 2012-06-15 蓝宝石晶体专用定向仪 Expired - Fee Related CN202661413U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012202823993U CN202661413U (zh) 2012-06-15 2012-06-15 蓝宝石晶体专用定向仪

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012202823993U CN202661413U (zh) 2012-06-15 2012-06-15 蓝宝石晶体专用定向仪

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202661413U true CN202661413U (zh) 2013-01-09

Family

ID=47456311

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2012202823993U Expired - Fee Related CN202661413U (zh) 2012-06-15 2012-06-15 蓝宝石晶体专用定向仪

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN202661413U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103616393A (zh) * 2013-12-02 2014-03-05 中国工程物理研究院化工材料研究所 简易晶体定向方法
CN109596650A (zh) * 2018-12-18 2019-04-09 山东新升光电科技有限责任公司 一种蓝宝石晶棒定向仪

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103616393A (zh) * 2013-12-02 2014-03-05 中国工程物理研究院化工材料研究所 简易晶体定向方法
CN103616393B (zh) * 2013-12-02 2015-08-05 中国工程物理研究院化工材料研究所 简易晶体定向方法
CN109596650A (zh) * 2018-12-18 2019-04-09 山东新升光电科技有限责任公司 一种蓝宝石晶棒定向仪
CN109596650B (zh) * 2018-12-18 2021-06-22 山东新升光电科技有限责任公司 一种蓝宝石晶棒定向仪

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103148827B (zh) 一种基于关节臂测量机的大齿轮测量方法
CN103453823B (zh) 一种管道几何尺寸的测量机
CN103398665A (zh) 一种内径测量管道机器人
CN103743338A (zh) 具有球面回转跳动误差补偿功能的激光跟踪测量系统及其补偿方法
CN102735174A (zh) 一种螺旋埋弧焊管周长自动测量装置
CN202661413U (zh) 蓝宝石晶体专用定向仪
CN101071112B (zh) 硅单晶锭x射线定向仪
CN104385194A (zh) 一种可调节的角度加工、装配及测量装置
CN203132480U (zh) 圆弧齿内齿轮测量仪
CN203811145U (zh) 大面积超薄单晶硅片定向仪
CN201522292U (zh) 全站仪坐标快速定位装置
CN203550915U (zh) 一种内径测量管道机器人
CN105091720A (zh) 大型电机转子锥面测量工具
CN203432494U (zh) 一种管道几何尺寸的测量机
CN203965240U (zh) 用于调整果实与茎秆分离角度的实验卡具
CN101907452A (zh) 一种用于超高真空环境下正弦机构标定装置及方法
CN101559426B (zh) 齿轮齿条式激光扫描分选滚珠的装置
CN105509605B (zh) 计米器
CN206311053U (zh) 一种改进的平面度检测装置
CN103808563A (zh) 可测量弯曲角的弯曲试验夹具
CN103822561A (zh) 滚动测距仪
CN208751518U (zh) 一种螺栓伸长量检测装置
CN109506553B (zh) 一种led显示面板用角度测量仪
CN102759318B (zh) 一种单脚外圆弧尺
CN205383973U (zh) 一种巨型零件直径的测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20130109

Termination date: 20150615

EXPY Termination of patent right or utility model