CN202601233U - 柔性透明导电薄膜 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种低温环境下眼镜镜片防雾防冻透明导电薄膜材料，属于透明导电薄膜技术领域。目前市场上采用的防雾措施主要有电子防雾膜和防雾剂，电子防雾膜主要用在浴室化妆镜等，普通防雾眼镜防雾不持久。本实用新型提供一种眼镜镜片防雾透明导电薄膜，有三层结构，依次是基材、增透层和透明导电层。采用本实用新型方法薄膜产品在-30℃环境下都有很好的防雾防冻效果，并具有一定的紫外防护功能。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种柔性薄膜太阳能电池电极用透明导电薄膜，属于透明导电薄膜技术领域。
背景技术
随着环境污染的程度越来越严重，人类对清洁能源的需求越来越高。太阳能具有清洁无污染，取之不尽等优点，将太阳能转化为电能具有很大的意义。太阳能电池种类很多，包括单晶硅太阳能电池，多晶硅太阳能电池，非晶硅太阳能电池和薄膜太阳电池。薄膜太阳能电池相对于其他类型的太阳能电池而言制造工艺简单，具有成本低可大批量生产，所以得到广泛应用，目前主要的是以玻璃为衬底，现在有一种柔性衬底的太阳能电池，本产品就有用做柔性薄膜太阳能电池的前电极。
透明导电薄膜（TCO）由于具有透过率高，能够导电，可用于薄膜太阳能电池的前电极材料，比如掺铝氧化锌（AZO），氧化铟锡（ITO）等，一般透过率都小于90%，本产品的开发进一步提高了透过，从而可以提高光电转换效率。
ITO导电薄膜材料最初主要沉积在玻璃上，现在发展为主要镀在柔性衬底PET上，便于加工，其工艺经历从真空高温蒸发法，化学气相沉积法，溶胶凝胶法等，现在主要采用的直流磁控溅射法，本产品就是采用真空直流磁控溅射镀膜法。
本产品在PET和ITO层之间镀了Nb2O5介质层和SiO2阻隔层，能有效提高产品的透过率和耐候性。
发明内容
本实用新型的目的是在于提供一种柔性透明导电薄膜，提高太阳光透过率，从而提高薄膜太阳能电池的光电转换效率。
本实用新型具有四层结构，依次是基材，高折射率氧化物层、低折射率氧化物层和高折射率透明导电层。
所述柔性透明导电薄膜中的基材为高亮PET聚酯薄膜，其透过率大于92%。
所述柔性透明导电薄膜中的高折射率氧化物层是五氧化二铌薄膜，厚度为3-12nm，[修改1] [修改2] 折射率为1.9-2.5。
所述柔性透明导电薄膜中的低折射率氧化物层是二氧化硅薄膜，厚度为40-70nm，折射率为1.4-1.6。[修改3] [修改4]
所述柔性透明导电薄膜中的高折射率透明导电层是氧化铟锡（ITO），厚度为60-160nm，折射率为1.9-2.2。
所述柔性透明导电薄膜中的五氧化二铌和二氧化硅光学层主要是为提高太阳能电池电极的太阳光透过率，同时阻挡了ITO与PET之间可能存在的化学反应，提高其耐候性。依照本实用新型，该薄膜产品方阻可达5~45Ω/□，透过率可达达88%以上。作为薄膜太阳能电池电极，能有效地提高其光电转换效率。
附图说明
图1为柔性透明导电薄膜结构示意图。
（1）为基材，（2）为高折射率氧化物层,（3）为低折射率氧化物层，（4）为高折射率透明导电层。
具体实施方式
本实用新型材料 ，采用PET柔性基材，利用真空磁控溅射，镀每一层膜均通过调整气体量，电源功率及走卷速度以达到其理想效果。本实用新型包含四层，见附图，（1）为基材，优选为高亮PET聚酯薄膜，（2）为高折射率氧化物层,优选为五氧化二铌薄膜，（3）为低折射率氧化物层，优选为二氧化硅薄膜，（4）为高折射率透明导电层，优选为氧化铟锡（ITO）。
在镀膜前，第一层PET聚酯薄膜需要进行预处理，包括除静电、离子束轰击、加热脱气处理等。
第二层为五氧化二铌薄膜，采用中频电源孪生靶，靶材为Nb靶，其纯度大于99.99%，镀膜时充O2气反应溅射生成Nb2O5，功率为5~35Kw，Ar量为150~250sccm，O2量为30~70sccm。
第三层为二氧化硅薄膜，采用中频电源孪生靶，靶材为Si靶，其纯度大于99.99%，镀膜时充O2气反应溅射生成SiO2，功率为10~25Kw，Ar量为150~250sccm，O2量为20~60sccm。
第四层为氧化铟锡（ITO），采用直流磁控溅射方法，靶材为ITO靶，其中In2O3与SnO2的质量比为90:10，镀膜时充入少量O2气沉积而成ITO薄膜，功率为3~10Kw，Ar量为150~220sccm，O2量为4~15sccm。
Claims (5)
1.一种柔性透明导电薄膜，其特征是：具有四层结构，依次是基材，高折射率氧化物层、低折射率氧化物层和高折射率透明导电层。
2.根据权利要求1所述的柔性透明导电薄膜，其特征是：基材为高亮PET聚酯薄膜，其透过率大于92%。
3.根据权利要求1所述的柔性透明导电薄膜，其特征是：高折射率氧化物层是五氧化二铌薄膜，厚度为3-12nm，折射率为1.9-2.5。
4.根据权利要求1所述的柔性透明导电薄膜，其特征是：低折射率氧化物层是二氧化硅薄膜，厚度为40-70nm，折射率为1.4-1.6。
5.根据权利要求1所述的柔性透明导电薄膜，其特征是：高折射率透明导电层是氧化铟锡（ITO），厚度为60-160nm，折射率为1.9-2.2。
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Cited By (4)
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|---|---|---|---|---|
| CN105563955A (zh) * | 2014-11-06 | 2016-05-11 | 无锡康力电子有限公司 | 一种透明导电玻璃 |
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| CN110004423A (zh) * | 2019-05-14 | 2019-07-12 | 南京汇金锦元光电材料有限公司 | Cigs制备用强化隔离膜及制备方法 |
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2012
- 2012-05-21 CN CN 201220228416 patent/CN202601233U/zh not_active Expired - Lifetime
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