CN202593585U - 一种用于单晶炉装料的运输车 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于单晶炉装料的运输车，包括车架及其底部的车轮，车架的上表面具有圆孔，圆孔大于单晶炉的石英坩埚；上表面下侧设置缓冲装置，石英坩埚的底部穿过圆孔由缓冲装置支撑。本实用新型提供的运输车可以放置石英坩埚，可以在清理石墨坩埚的时候，将硅料装入石英坩埚，当石墨坩埚准备好可以再次使用时，直接将石英坩埚放入石墨坩埚，节省了装料的时间，缩短了生产单晶硅棒的工艺时间，提高了单晶硅棒的生产效率。

Description

一种用于单晶炉装料的运输车

技术领域

本实用新型涉及硅块生产过程的技术领域，特别是涉及一种用于单晶炉装料的运输车。

背景技术

单晶炉是在惰性气体环境中，采用石墨电阻加热器将硅材料熔化并采用直拉法生长无错位单晶的设备。

通常，单晶炉在运行前需要将原硅料装入单晶炉的石墨坩埚中的石英坩埚内，从而能够运行程序，拉制出单晶硅棒。

单晶炉在程序运行完成之后，需对热场中的高温石墨件进行清理，清理完毕之后，将石英坩埚放入热场中的石墨坩埚中。而后，在石英坩埚中装入硅料，才能开始下一次程序的运行。由于石墨件在清理完毕之后温度仍然较高，之后的装料也需要消耗一段时间。生产单晶硅棒的工艺时间较长，单晶硅棒的生产效率较低。

因此，如何缩短生产单晶硅棒的工艺时间，提高单晶硅棒的生产效率，是本领域技术人员目前急需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于单晶炉装料的运输车，该运输车能够缩短单晶硅棒生产的工艺时间，提高单晶硅棒的生产效率。

为了实现上述技术目的，本实用新型提供了一种用于单晶炉装料的运输车，包括车架及其底部的车轮，所述车架的上表面具有圆孔，所述圆孔大于所述单晶炉的石英坩埚；所述上表面下侧设置缓冲装置，所述石英坩埚的底部穿过所述圆孔由所述缓冲装置支撑。

优选地，所述缓冲装置包括支撑板、弹簧和支撑垫，所述支撑板到所述上表面的距离小于所述石英坩埚的高度，所述支撑垫由所述弹簧安装在所述支撑板的上侧。

优选地，所述支撑垫上设置海绵垫。

优选地，所述圆孔的圆周均匀分布至少三个调整垫块。

优选地，所述调整垫块到所述圆孔圆心的距离可调。

优选地，所述车架底部具有至少三个车轮，所述车轮为万向轮或定向轮。

优选地，所述圆孔的圆周均匀分布四个调整垫块；所述车架底部具有四个所述车轮，其中两个为带刹车功能的万向轮，另两个为定向轮。

本实用新型提供的用于单晶炉装料的运输车，包括车架及其底部的车轮，车架的上表面具有圆孔，圆孔大于单晶炉的石英坩埚；上表面下侧设置缓冲装置，石英坩埚的底部穿过圆孔由缓冲装置支撑。

本实用新型提供的运输车可以放置石英坩埚，可以在清理石墨坩埚的时候，将硅料装入石英坩埚，当石墨坩埚准备好可以再次使用时，直接将石英坩埚放入石墨坩埚，节省了装料的时间，缩短了生产单晶硅棒的工艺时间，提高了单晶硅棒的生产效率。

一种方式中，所述缓冲装置包括支撑板、弹簧和支撑垫，所述支撑板到所述上表面的距离小于所述石英坩埚的高度，所述支撑垫由所述弹簧安装在所述支撑板的上侧。

石英坩埚可以通过车架上表面的圆孔放置在缓冲装置上，石英坩埚装料和运输的过程中均由缓冲装置支撑。所述圆孔的圆周可以防止石英坩埚的过渡倾斜，保证石英坩埚添装足够的硅料。

进一步的方式中，所述圆孔的圆周均匀分布至少三个调整垫块，调整垫块可以进一步防止石英坩埚的倾斜。优选地，调整垫块到圆孔圆心的距离可调，则此结构的运输车可以通过对调整垫块位置的调整适用于不同尺寸的石英坩埚。

附图说明

图1为本实用新型所提供的用于单晶炉装料的运输车一种具体实施方式的结构示意图；

图2为图1所示的运输车另一种具体实施方式的俯视图。

具体实施方式

本实用新型的核心是提供一种用于单晶炉装料的运输车，该运输车能够缩短单晶硅棒生产的工艺时间，提高单晶硅棒的生产效率。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。

请参考图1和图2，图1为本实用新型所提供的用于单晶炉装料的运输车一种具体实施方式的结构示意图，图2为图1所示的运输车另一种具体实施方式的俯视图。

在一种具体的实施方式中，本实用新型提供了一种用于单晶炉装料的运输车，包括车架1及其底部的车轮2，所述车架1的上表面11具有圆孔12，所述圆孔12大于所述单晶炉的石英坩埚；所述上表面11下侧设置缓冲装置3，所述石英坩埚的底部穿过所述圆孔12由所述缓冲装置3支撑。

本实用新型提供的运输车可以放置单晶炉的石英坩埚，可以在清理单晶炉的石墨坩埚的时候，将硅料装入石英坩埚，当石墨坩埚准备好可以再次使用时，直接将石英坩埚放入石墨坩埚，节省了装料的时间，缩短了生产单晶硅棒的工艺时间，提高了单晶硅棒的生产效率。

此运输车可以进行离线装料，可以在脱离生产线的情况下，在石英坩埚内装入硅料，再将装好硅料的石英坩埚运输到设备旁，整体装入清理完毕的热场石墨坩埚中。

另一种具体的实施方式中，所述缓冲装置3包括支撑板31、弹簧32和支撑垫33，所述支撑板31到所述上表面11的距离小于所述石英坩埚的高度，所述支撑垫33由所述弹簧32安装在所述支撑板31的上侧。

石英坩埚可以通过车架1上表面11的圆孔12放置在缓冲装置3上，石英坩埚装料和运输的过程中均由缓冲装置3支撑。所述圆孔12的圆周可以防止石英坩埚的过渡倾斜，保证石英坩埚添装足够的硅料。支撑垫33直接接触石英坩埚，支撑垫33下侧的弹簧32可以在装料过程中起减震作用。

弹簧32均匀布置时，可以更好的保证石英坩埚装料过程中不倾斜。当然，弹簧32的数量和布置形式并不唯一，能够起到缓冲作用的弹簧32的数量和布置形式均可以在本实用新型中应用。

进一步的，所述支撑垫33上设置海绵垫。

弹簧32上可以安装支撑垫33及海绵垫。海绵垫放置在支撑垫33之上，石英坩埚之下，也可以在装料过程中起到减震作用。

显然，缓冲装置3的形式不仅仅局限于上述实施例所述的情况，其他能够起到缓冲作用的结构形式也可以应用在本实用新型中。

一种优选的实施方式中，所述圆孔12的圆周均匀分布至少三个调整垫块13。

圆孔12的圆周可以防止石英坩埚的倾斜，调整垫块13可以进一步防止石英坩埚倾斜，至少三个调整垫块13均匀分布即可保证石英坩埚在装料的过程中不会发生较大的倾斜。

进一步的，所述调整垫块13到所述圆孔12圆心的距离可调。

调整垫块13可以根据石英坩埚的尺寸调整位置，则此结构的运输车可以通过对调整垫块13位置的调整适用于不同尺寸的石英坩埚

另一种具体的实施方式中，所述车架1底部具有至少三个车轮2，所述车轮2为万向轮或定向轮。

车架1底部的车轮2方便运输车的移动，运输车的底部至少需要三个车轮2，运输车的车轮2可以均为万向轮，也可以均为定向轮，还可以为万向轮和定向轮的组合。

进一步优选的实施方式中，所述圆孔12的圆周均匀分布四个调整垫块13；所述车架1底部具有四个所述车轮2，其中两个为带刹车功能的万向轮，另两个为定向轮。

运输车可以具有四个在圆孔12圆周均匀分布的调整垫块13。运输车底部的两个带刹车功能的万向轮和两个定向轮，能够实现运输车移动过程中的准确定位。

以上对本实用新型所提供的用于单晶炉装料的运输车进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (7)

1.一种用于单晶炉装料的运输车，包括车架（1）及其底部的车轮（2），其特征在于，所述车架（1）的上表面（11）具有圆孔（12），所述圆孔（12）大于所述单晶炉的石英坩埚；所述上表面（11）下侧设置缓冲装置（3），所述石英坩埚的底部穿过所述圆孔（12）由所述缓冲装置（3）支撑。

2.如权利要求1所述的用于单晶炉装料的运输车，其特征在于，所述缓冲装置（3）包括支撑板（31）、弹簧（32）和支撑垫（33），所述支撑板（31）到所述上表面（11）的距离小于所述石英坩埚的高度，所述支撑垫（33）由所述弹簧（32）安装在所述支撑板（31）的上侧。

3.如权利要求2所述的用于单晶炉装料的运输车，其特征在于，所述支撑垫（33）上设置海绵垫。

4.如权利要求3所述的用于单晶炉装料的运输车，其特征在于，所述圆孔（12）的圆周均匀分布至少三个调整垫块（13）。

5.如权利要求4所述的用于单晶炉装料的运输车，其特征在于，所述调整垫块（13）到所述圆孔（12）圆心的距离可调。

6.如权利要求1至5所任一项所述的用于单晶炉装料的运输车，其特征在于，所述车架（1）底部具有至少三个车轮（2），所述车轮（2）为万向轮或定向轮。

7.如权利要求6所述的用于单晶炉装料的运输车，其特征在于，所述圆孔（12）的圆周均匀分布四个调整垫块（13）；所述车架（1）底部具有四个所述车轮（2），其中两个为带刹车功能的万向轮，另两个为定向轮。

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