CN202550920U - 一种抗冲击型压电式微动平台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于微机光电系统的抗冲击型压电式微动平台,所述抗冲击型压电式微动平台包括台体及位于台体上的弹性框、固定架和压电陶瓷,压电陶瓷以柔性铰链活动安装在弹性框与固定架之间,从而在压电陶瓷的安装部位形成了柔性摆动端,压电陶瓷在受到外部冲击时能通过柔性摆动端的微摆动来消除冲击影响,避免损坏压电陶瓷,从而提高压电式微动平台的抗冲击振动性能。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种压电式微动平台,特别涉及一种抗冲击性能强的压电式微动平台。
背景技术
压电式微动平台是由压电陶瓷执行驱动的微位移机构,它可应用于红外热成像光学微扫描、微机电系统、扫描探测显微镜、超精密加光学元件制造、抗震救灾以及生物医学工程等领域。
压电陶瓷在受到冲击和振动时会发生电场变化以至产生形变,从而影响压电式微动平台的移动精度,并且压电陶瓷在承受较大的弯矩和侧向力时容易造成损坏,因此采用压电陶瓷作为驱动元件的压电式微动平台抗冲击性普遍不强。
因此,如何提供一种具备强抗冲击性能的压电式微动平台,已成为行业内亟待解决的问题。
发明内容
本实用新型要解决的问题是提供一种抗冲击性能强,并且在遭到强冲击时不会对压电式陶瓷造成损坏的压电式微动平台。
本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为:
一种抗冲击型压电式微动平台,包括台体及位于台体上的弹性框、固定架和压电陶瓷,固定架与弹性框位于同一平面,压电陶瓷安装在弹性框与固定架之间,压电陶瓷以柔性铰链与弹性框和固定架活动连接。
所述的固定架位于弹性框的外面。
所述的压电陶瓷与弹性框以柔性铰链活动连接,从而在压电陶瓷与弹性框的连接端形成了柔性摆动端与柔性固定端。
所述的压电陶瓷与固定架以柔性铰链活动连接,从而在压电陶瓷与固定架的连接端形成了柔性摆动端与柔性固定端。
所述柔性摆动端与柔性固定端连接处左右两侧有相互对称的弧形槽,柔性摆动端相对于柔性固定端可以沿着垂直弧形槽的面摆动。
本实用新型与现有的技术相比,由于柔性摆动端相对于柔性固定端可以摆动,这样使安装在其上的压电陶瓷在强冲击振动条件下,可以通过摆动来降低外部影响,从而提供一种抗冲击性能强,并且在遭到强冲击时不会对压电陶瓷造成损坏的压电式微动平台。
附图说明
图1为本发明的系统结构图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的实施例作进一步详细描述。
如图1所示本实施例包括:固定架((1)、弹性框(2)及压电陶瓷(3),固定架(1)位于弹性框(2)的外面,压电陶瓷(3)位于弹性框(1)和固定架(2)之间,压电陶瓷(3)以柔性铰链与固定架(1)活动连接,从而在压电陶瓷(3)与固定架(1)的连接端形成了柔性摆动端一(4)、柔性固定端一(8)、柔性摆动端四(7)、柔性固定端四(11),压电陶瓷(3)以柔性铰链与弹性框(2)活动连接,从而在压电陶瓷(3)与弹性框(2)的连接端形成了柔性摆动端二(5)、柔性固定端二(9)、柔性摆动端三(6)、柔性固定端三(10)。
所述的固定架(1)、弹性框(2)、柔性摆动端一(4)、柔性摆动端二(5)、柔性摆动端三(6)、柔性摆动端四(7)、柔性固定端一(8)、柔性固定端二(9)、柔性固定端三(10)、柔性固定端四(11)采用一体式结构,即在一块金属材料板上,采用先进加工工艺加工而成,无需装配,结构紧凑,有效避免了装配误差,满足高精度要求。
在本实施例中,给压电陶瓷(3)加电后,压电陶瓷(3)长度尺寸发生变化,推动弹性框(2),使弹性框(2)产生弹性变形开始移动,当受到强冲击和振动时,柔性摆动端沿着垂直弧形槽的面发生摆动,以消除冲击对压电陶瓷(3)的影响,实现保护电陶瓷(3)的目的。
Claims (7)
1.一种抗冲击型压电式微动平台,包括台体及位于台体上的弹性框、固定架和压电陶瓷,固定架与弹性框位于同一平面,压电陶瓷安装在弹性框与固定架之间,其特征在于:压电陶瓷以柔性铰链与弹性框和固定架活动连接。
2.如权利要求1所述的抗冲击型压电式微动平台,其特征在于所述的固定架位于弹性框的外面。
3.如权利要求1所述的抗冲击型压电式微动平台,其特征在于所述的压电陶瓷与弹性框的连接端包括摆动端与固定端。
4.如权利要求1所述的抗冲击型压电式微动平台,其特征在于所述的压电陶瓷与弹性框的连接端两侧为弧形槽。
5.如权利要求1所述的抗冲击型压电式微动平台,其特征在于所述的压电陶瓷与固定架的连接端包括摆动端与固定端。
6.如权利要求1所述的抗冲击型压电式微动平台,其特征在于所述的压电陶瓷与固定架的连接端两侧为弧形槽。
7.如权利要求4或6所述的抗冲击型压电式微动平台,其特征在于所述的位于连接端两侧的弧形槽相互对称。
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CN2012200647681U CN202550920U (zh) | 2012-02-27 | 2012-02-27 | 一种抗冲击型压电式微动平台 |
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CN2012200647681U Expired - Lifetime CN202550920U (zh) | 2012-02-27 | 2012-02-27 | 一种抗冲击型压电式微动平台 |
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CN113315412A (zh) * | 2021-06-01 | 2021-08-27 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 压电陶瓷致动器 |
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2012
- 2012-02-27 CN CN2012200647681U patent/CN202550920U/zh not_active Expired - Lifetime
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CN113315412A (zh) * | 2021-06-01 | 2021-08-27 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 压电陶瓷致动器 |
CN113315412B (zh) * | 2021-06-01 | 2022-12-06 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 压电陶瓷致动器 |
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Date | Code | Title | Description |
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GR01 | Patent grant | ||
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Addressee: Wuhan Guide Infrared Co., Ltd. Document name: Notification of Passing Examination on Formalities |
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CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20121121 |