CN202530195U - 一种单晶炉加料装置 - Google Patents
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Abstract
一种单晶炉加料装置，包括真空泵、加料器、加料连接筒、漏斗、内管、内管支撑件、外管、外管支撑、转动电机和线性移动导轨，所述的加料器上部通过真空管与真空泵连接，加料连接筒上下两端各设有一个真空密封连接法兰，加料连接筒上端通过真空密封连接法兰与加料器连接，转动电机设于加料连接筒上侧且与线性移动导轨同轴驱动，漏斗上端固定于加料连接筒上部内侧，漏斗下端与内管连接。本实用新型的有益效果在于：通过转动电机和线性移动导轨的控制，使加料更为精确、便捷，为不同型号、大小的单晶炉石英坩埚进行加料，避免能源浪费。
Description
技术领域
本发明涉及一种单晶炉加料装置，尤其是涉及一种给单晶炉石英坩埚加料的单晶炉加料装置。
背景技术
现如今，大多数的单晶炉都采用一次性向石英坩埚投料的方法，而很多时候石英坩埚都未能加满，而单晶炉生产需要很多的热能，这无疑造成了很多能源浪费。而单晶炉多数是通过直拉单晶炉生产的，在生产过程中，通常是生产一炉后，等单晶炉的温度冷却后，适宜于人操作时，再进行装料工作，这样不仅浪费了时间，而且单晶炉的热场系统要反复冷却加热，严重影响了热场系统的使用寿命，大大增加了单晶硅生产企业的成本。
发明内容
本发明主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供了一种更为便捷、精确地给单晶炉加料的单晶炉加料装置。
本发明的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：
一种单晶炉加料装置，包括真空泵、加料器、加料连接筒、漏斗、内管、内管支撑件、外管、外管支撑、转动电机和线性移动导轨，所述的加料器上部通过真空管与真空泵连接，加料连接筒上下两端各设有一个真空密封连接法兰，加料连接筒上端通过真空密封连接法兰与加料器连接，转动电机设于加料连接筒上侧且与线性移动导轨同轴驱动，漏斗上端固定于加料连接筒上部内侧，漏斗下端与内管连接，内管支撑件一端固定于加料连接筒上部内侧，内管支撑件另一端固定于内管上部外侧，外管支撑件一端与线性移动导轨连接，另一端固定于外管上部外侧，所述的外管套接与内管外侧。所述的线性移动导轨外侧设有螺纹。所述的外管支撑件与线性移动导轨连接的一端内侧设有内螺纹。所述的外管支撑件与线性移动导轨螺接。
本发明的有益效果在于：通过转动电机和线性移动导轨的控制，使加料更为精确、便捷，为不同型号、大小的单晶炉石英坩埚进行加料，避免能源浪费。
附图说明
图1是本发明的整体结构示意图；
图2是本发明加料连接筒的结构示意图。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对发明的技术方案作进一步具体的说明。
实施例1
如图1所示，一种单晶炉加料装置，包括真空泵1、加料器2、加料连接筒3、漏斗4、内管5、内管支撑件6、外管7、外管支撑件8、转动电机9和线性移动导轨10，所述的加料器2上部通过真空管与真空泵1连接，加料连接筒3上下两端各设有一个真空密封法兰，加料连接筒3上端通过真空密封法兰11与加料器2连接，转动电机9设于加料连接筒3上侧且与线性移动导轨10同轴驱动，漏斗4上端固定于加料连接筒3上部内侧，漏斗4下端与内管5连接，内管支撑件6一端固定于加料连接筒3上部内侧，内管支撑件6另一端固定于内管5上部外侧，外管支撑件8一端与线性移动导轨10连接，另一端固定于外管7上部外侧，所述的外管7套接与内管5外侧，所述的线性移动导轨10外侧设有螺纹，所述的外管支撑件8与线性移动导轨10连接的一端内侧设有内螺纹，所述的外管支撑件8与线性移动导轨10螺接，加料连接筒3下端设有真空密封法兰12。通过线性移动导轨10，将外管7伸入至炉腔内，进行加料操作。
Claims (4)
1.一种单晶炉加料装置，其特征在于：包括真空泵、加料器、加料连接筒、漏斗、内管、内管支撑件、外管、外管支撑、转动电机和线性移动导轨，所述的加料器上部通过真空管与真空泵连接，加料连接筒上下两端各设有一个真空密封连接法兰，加料连接筒上端通过真空密封连接法兰与加料器连接，转动电机设于加料连接筒上侧且与线性移动导轨同轴驱动，漏斗上端固定于加料连接筒上部内侧，漏斗下端与内管连接，内管支撑件一端固定于加料连接筒上部内侧，内管支撑件另一端固定于内管上部外侧，外管支撑件一端与线性移动导轨连接，另一端固定于外管上部外侧，所述的外管套接与内管外侧。
2.根据权利要求1所述的单晶炉加料装置，其特征在于：所述的线性移动导轨外侧设有螺纹。
3.根据权利要求1所述的单晶炉加料装置，其特征在于：所述的外管支撑件与线性移动导轨连接的一端内侧设有内螺纹。
4.根据权利要求1所述的单晶炉加料装置，其特征在于：所述的外管支撑件与线性移动导轨螺接。
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|---|---|---|---|---|
| CN102618919A (zh) * | 2012-03-13 | 2012-08-01 | 杭州奔博科技有限公司 | 一种单晶炉加料装置 |
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| CN108385159A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-08-10 | 峨眉山市元素新材料科技有限公司 | 一种侧面加样的单晶炉加样装置 |
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