CN202428571U - 具有除污冷却结构的线切方机主轴及线切方机 - Google Patents

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狄寿刚
康锋
周凯平
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Abstract

一种具有除污冷却结构的线切方机主轴,包括机座板、轴承座、轴承、主轴、轴头、锁紧螺母、轴承压盖、气路端盖、水路夹道;轴承座固定在机座板的固定孔中,且轴承座的两端从固定孔中伸出,轴承安装在轴承座内;主轴的一端与轴头的一端固定连接;轴头外圆表面上设置环形定位部,且环形定位部靠近轴头与主轴连接的一端;轴头的另一端穿过轴承并安装锁紧螺母;轴承压盖固定在轴承座的一端,气路端盖固定在轴承座的另一端,且轴承压盖、气路端盖与轴承的外圈的两端相抵接,其中,轴承压盖套在锁紧螺母上,气路端盖套在环形定位部上;水路夹道套装在轴承座上,且靠近气路端盖并与机座板固定连接。本实用新型还提供了一种线切方机。

Description

具有除污冷却结构的线切方机主轴及线切方机
技术领域:
本实用新型涉及晶硅切割设备,特别涉及一种具有除污冷却结构的线切方机主轴及线切方机。
背景技术:
线切方机作为晶硅加工的关键设备,它极大地提高了晶硅的加工效率。线切方机在切割晶硅时,主轴和导线轮做高速旋转运动,带动金刚石切割线做高速直线往复运动,最终保证了线切方机较高的加工性能。
线切方机在工作过程中,含有磨料的切削液喷淋到金刚石钢线上,当钢线做高速直线往复运动时,附着在钢线上的磨料形成锯牙对工件进行切割。基于晶硅特殊的物理性能以及线切方机特有的加工方式,含有磨料、晶硅粉末的切割液会溅入主轴轴承,进而造成主轴轴承磨损,旋转精度降低。
发明内容
有鉴于此,有必要提供一种具有除污冷却结构的线切方机主轴。
还有必要提供一种线切方机。
一种具有除污冷却结构的线切方机主轴,其包括机座板、轴承座、轴承、主轴、轴头、锁紧螺母、轴承压盖、气路端盖、水路夹道。轴承座固定在机座板的固定孔中,且轴承座的两端从固定孔中伸出,轴承安装在轴承座内。主轴的一端与轴头的一端固定连接。轴头外圆表面上设置环形定位部,且环形定位部靠近轴头与主轴连接的一端。轴头的另一端穿过轴承并安装锁紧螺母,以使环形定位部、锁紧螺母分别与轴承的内圈的两端部相抵接。轴承压盖固定在轴承座的一端,气路端盖固定在轴承座的另一端,且轴承压盖、气路端盖与轴承的外圈的两端相抵接,其中,轴承压盖套在锁紧螺母上,气路端盖套在环形定位部上。水路夹道套装在轴承座上,且靠近气路端盖并与机座板固定连接。
优选的,气路端盖的内圆周面有两个环形槽,靠近轴承侧的环形槽为气路通道,另一环形槽内装有气路密封圈;气路端盖的外圆周面上开有进气口和出气口。
优选的,水路夹道内圆周面有三个环形槽,中间为冷却水道,前后两个环形槽内各装有一个水路密封圈;水路夹道的外圆周面上开有进水口和出水口。
优选的,轴承压盖、气路端盖与轴承座固定方式为:螺钉固连。
一种线切方机,其包括机座板、轴承座、轴承、主轴、轴头、锁紧螺母、轴承压盖、气路端盖、水路夹道、导线轮。轴承座固定在机座板的固定孔中,且轴承座的两端从固定孔中伸出,轴承安装在轴承座内。主轴的一端与轴头的一端固定连接,主轴上安装导线轮。轴头外圆表面上设置环形定位部,且环形定位部靠近轴头与主轴连接的一端。轴头的另一端穿过轴承并安装锁紧螺母,以使环形定位部、锁紧螺母分别与轴承的内圈的两端部相抵接。轴承压盖固定在轴承座的一端,气路端盖固定在轴承座的另一端,且轴承压盖、气路端盖与轴承的外圈的两端相抵接,其中,轴承压盖与锁紧螺母套接,气路端盖与环形定位部套接。水路夹道套装在轴承座上,且靠近气路端盖并与机座板固定连接。
优选的,气路端盖的内圆周面有两个环形槽,靠近轴承侧的环形槽为气路通道,另一环形槽内装有气路密封圈;气路端盖的外圆周面上开有进气口和出气口。
优选的,水路夹道内圆周面有三个环形槽,中间为冷却水道,前后两个环形槽内各装有一个水路密封圈;水路夹道的外圆周面上开有进水口和出水口。
优选的,轴承压盖、气路端盖与轴承座固定方式为:螺钉固连。
本实用新型提供的具有除污冷却结构的线切方机主轴及线切方机,主轴的一端与轴头的一端固定连接,主轴上安装导线轮,通过环形定位部、锁紧螺母分别与轴承的内圈的两端部相抵接的形式及轴承压盖固定在轴承座的一端,气路端盖固定在轴承座的另一端,且轴承压盖、气路端盖与轴承的外圈的两端相抵接的形式将轴头与轴承固定、轴承与轴承座固定,利用气路端盖中的压缩空气带走溅入主轴轴头圆周面上的切割液,利用装在轴承座上的水路夹道中的冷却水带走主轴轴承因高速旋转而产生的大部分热量,避免了主轴轴承磨损及旋转精度降低的情况发生。
附图说明:
附图1是一较佳实施方式的具有除污冷却结构的线切方机主轴的结构示意图。
附图2是图1中具有除污冷却结构的线切方机主轴的应用示意图。
图中:具有除污冷却结构的线切方机主轴10、机座板11、固定孔111、轴承座12、轴承13、内圈131、外圈132、主轴14、轴头15、环形定位部151、锁紧螺母16、轴承压盖17、气路端盖18、环形槽181、气路密封圈182、进气口183、出气口184、水路夹道19、环形槽191、水路密封圈192、进水口193、出水口194
具体实施方式:
请同时参看图1,具有除污冷却结构的线切方机主轴10包括机座板11、轴承座12、轴承13、主轴14、轴头15、锁紧螺母16、轴承压盖17、气路端盖18、水路夹道19。
轴承座12固定在机座板11的固定孔111中,且轴承座12的两端从固定孔111中伸出,轴承13安装在轴承座12内。
主轴14的一端与轴头15的一端固定连接。轴头15外圆表面上设置环形定位部151,且环形定位部151靠近轴头15与主轴14连接的一端。轴头15的另一端穿过轴承13并安装锁紧螺母16,以使环形定位部151、锁紧螺母16分别与轴承13的内圈131的两端部相抵接。
轴承压盖17固定在轴承座13的一端,气路端盖18固定在轴承座13的另一端,且轴承压盖17、气路端盖18与轴承13的外圈132的两端相抵接,其中,轴承压盖17套在锁紧螺母16上,气路端盖18套在环形定位部151上。在本实施方式中,气路端盖18的内圆周面有两个环形槽181,靠近轴承13侧的环形槽为气路通道,另一环形槽内装有气路密封圈182;气路端盖18的外圆周面上开有进气口183和出气口184;轴承压盖、气路端盖与轴承座固定方式为:螺钉固连。
水路夹道19套装在轴承座13上,且靠近气路端盖18并与机座板11固定连接。在本实施方式中,水路夹道19内圆周面有三个环形槽191,中间为冷却水道,前后两个环形槽内各装有一个水路密封圈192,水路夹道19的外圆周面上开有进水口193和出水口194。
上述具有除污冷却结构的线切方机主轴10应用于线切方机中,以下描述具有除污冷却结构的线切方机主轴10实现除污、冷却的过程,请同时参看图2:
具有除污冷却结构的线切方机主轴10上安装导线轮20,导线轮20的个数可以通过实际生产需求设置多个,主轴14在高速旋转时,具有一定压力的压缩空气持续地从进气口183吹入气路端盖18,带走溅入轴头15圆周面上的切割液后从环形槽气道的排气口184吹出,从而有效地避免了含有磨料、晶硅粉末的切割液溅入轴承13,最终为主轴14持续顺畅地工作提供可靠保障,此外在工作中,具有一定压力的冷却水持续地从进水口193流入水路夹道19,带走轴承13因高速旋转而产生的大部分热量后从环形槽水道的出水口194流出,进而为主轴14高精度地旋转创造有利条件。
本实用新型提供的具有除污冷却结构的线切方机主轴10不但避免主轴轴承磨损及旋转精度降低的情况发生,而且装配形式及零件结构比较简单。

Claims (8)

1.一种具有除污冷却结构的线切方机主轴,其特征在于:其包括机座板、轴承座、轴承、主轴、轴头、锁紧螺母、轴承压盖、气路端盖、水路夹道;轴承座固定在机座板的固定孔中,且轴承座的两端从固定孔中伸出,轴承安装在轴承座内;主轴的一端与轴头的一端固定连接;轴头外圆表面上设置环形定位部,且环形定位部靠近轴头与主轴连接的一端;轴头的另一端穿过轴承并安装锁紧螺母,以使环形定位部、锁紧螺母分别与轴承的内圈的两端部相抵接;轴承压盖固定在轴承座的一端,气路端盖固定在轴承座的另一端,且轴承压盖、气路端盖与轴承的外圈的两端相抵接,其中,轴承压盖套在锁紧螺母上,气路端盖套在环形定位部上;水路夹道套装在轴承座上,且靠近气路端盖并与机座板固定连接。
2.根据权利要求1所述的具有除污冷却结构的线切方机主轴,其特征在于:气路端盖的内圆周面有两个环形槽,靠近轴承侧的环形槽为气路通道,另一环形槽内装有气路密封圈;气路端盖的外圆周面上开有进气口和出气口。
3.根据权利要求1所述的具有除污冷却结构的线切方机主轴,其特征在于:水路夹道内圆周面有三个环形槽,中间为冷却水道,前后两个环形槽内各装有一个水路密封圈;水路夹道的外圆周面上开有进水口和出水口。
4.根据权利要求1所述的具有除污冷却结构的线切方机主轴,其特征在于:轴承压盖、气路端盖与轴承座固定方式为:螺钉固连。
5.一种线切方机,其特征在于:其包括机座板、轴承座、轴承、主轴、轴头、锁紧螺母、轴承压盖、气路端盖、水路夹道、导线轮;轴承座固定在机座板的固定孔中,且轴承座的两端从固定孔中伸出,轴承安装在轴承座内;主轴的一端与轴头的一端固定连接,主轴上安装导线轮;轴头外圆表面上设置环形定位部,且环形定位部靠近轴头与主轴连接的一端;轴头的另一端穿过轴承并安装锁紧螺母,以使环形定位部、锁紧螺母分别与轴承的内圈的两端部相抵接;轴承压盖固定在轴承座的一端,气路端盖固定在轴承座的另一端,且轴承压盖、气路端盖与轴承的外圈的两端相抵接,其中,轴承压盖与锁紧螺母套接,气路端盖与环形定位部套接;水路夹道套装在轴承座上,且靠近气路端盖并与机座板固定连接。
6.根据权利要求5所述的线切方机,其特征在于:气路端盖的内圆周面有两个环形槽,靠近轴承侧的环形槽为气路通道,另一环形槽内装有气路密封圈;气路端盖的外圆周面上开有进气口和出气口。
7.根据权利要求5所述的线切方机,其特征在于:水路夹道内圆周面有三个环形槽,中间为冷却水道,前后两个环形槽内各装有一个水路密封圈;水路夹道的外圆周面上开有进水口和出水口。
8.根据权利要求5所述的线切方机,其特征在于:轴承压盖、气路端盖与轴承座固定方式为:螺钉固连。
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