CN202361084U - 管路漏液监控装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种管路漏液监控装置，其包括下列构件：承接容器环绕管路，承接容器的下部与管路密合，且位于下部上方的承接容器与管路之间形成盛液空间。监控容器与承接容器连通。干射薄膜设置于监控容器内，且干射薄膜于干燥时具有第一光穿透率，且与漏液接触后具有第二光穿透率，且第二光穿透率不同于第一光穿透率。光源发射照射到干射薄膜的光线。反射镜设置于监控容器内，且在光线的光行进路线上干射薄膜设置于反射镜与光源之间。光检测器接收来自反射镜的反射光。警报器接收来自光检测器的信号，信号强度符合设定条件时，警报器发报信息。

Description

管路漏液监控装置

技术领域

本实用新型涉及一种监控系统，且特别是涉及一种管路漏液监控装置。

背景技术

目前半导体厂为了产量效能的提升，其设备安置的设计多采高密度的安排。因此，输送各式各样化学液体的管路及各种设备交错设置，若输送液体的管路不慎泄漏液体至半导体机台中，对半导体的生产会造成相当严重的影响。

举例来说，光致抗蚀剂涂布机的光致抗蚀剂输送管需包覆用以控温的循环水管，当管路老化耗损后发生破裂、渗漏，常造成芯片缺陷及良率损失。然而，由于光致抗蚀剂涂布机的内部环境必须避免电气接触易燃液体(如光致抗蚀剂)，故对管路漏液的检测形成限制。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种管路漏液监控装置，其可即时进行管路的漏液检测及监控。

本实用新型的另一目的在于提供一种管路漏液监控装置，其可有效地防止工安问题的产生。

为达到上述目的，本实用新型提出一种管路漏液监控装置，其用以监控管路的漏液，且包括承接容器、监控容器、干射薄膜、光源、反射镜、光检测器及警报器。承接容器环绕管路，承接容器的下部与管路密合，且位于下部上方的承接容器与管路之间形成盛液空间。监控容器与承接容器连通。干射薄膜设置于监控容器内，且干射薄膜于干燥时具有第一光穿透率，且与漏液接触后具有第二光穿透率，且第二光穿透率不同于第一光穿透率。光源发射照射到干射薄膜的光线。反射镜设置于监控容器内，且在光线的光行进路线上干射薄膜设置于反射镜与光源之间。光检测器接收来自反射镜的反射光。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当光源位于监控容器外部时，监控容器例如是具有透光壁，以使光线穿透透光壁而照射到干射薄膜。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，警报器耦接于光检测器，且接收来自光检测器的触发信号，当反射光的强度改变时，警报器发出警报信号。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，警报器例如是光警报器、声音警报器或上述警报器的组合。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，警报器还包括将反馈信号发送至监控主机。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，反馈信号例如是正向反馈信号或反向反馈信号。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，监测容器例如是设置于承接容器上或与承接容器分离。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当监测容器设置于承接容器上时，承接容器上例如是具有通道，通道导引漏液进入监测容器。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当监测容器与承接容器分离时，更包括导管，导管导引漏液进入监测容器。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，承接容器例如是一体成型或由多个部件组成。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当承接容器由多个部件组成时，承接容器更包括结合装置，用以组合部件。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，承接容器例如是设置于管路的末端，末端例如是位于管路的低位处。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，光源与光检测器例如是一体成型或为互相分离的装置。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，管路例如是用以包覆液体输送管的控温管。

依照本实用新型的一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，干射薄膜的材料例如是与该漏液接触后会改变光穿透率的材料或与该漏液接触后会溶解的材料。

本实用新型另提出一种管路漏液监控装置，其用以监控管路的漏液，且包括承接容器、监控容器、干射薄膜、光源及光检测器。承接容器环绕管路，承接容器的下部与管路密合，且位于下部上方的承接容器与管路之间形成盛液空间。监控容器与承接容器连通。干射薄膜设置于监控容器内，且干射薄膜于干燥时具有第一光穿透率，且与漏液接触后具有第二光穿透率，且第二光穿透率不同于第一光穿透率。光源发射照射到干射薄膜的光线。光检测器接收穿透干射薄膜的穿透光。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当光源位于监控容器外部时，监控容器例如是具有透光壁，以使光线穿透透光壁而照射到干射薄膜。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，更包括警报器，耦接于光检测器，且接收来自光检测器的触发信号，当反射光的强度改变时，警报器发出警报信号。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，警报器例如是光警报器、声音警报器或上述警报器的组合。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，警报器更包括将反馈信号发送至监控主机。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，反馈信号例如是正向反馈信号或反向反馈信号。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，监测容器例如是设置于承接容器上或与承接容器分离。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当监测容器设置于承接容器上时，承接容器上例如是具有通道，通道导引漏液进入监测容器。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当监测容器与承接容器分离时，更包括导管，导管导引漏液进入监测容器。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，承接容器例如是一体成型或由多个部件组成。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，当承接容器由多个部件组成时，承接容器更包括结合装置，用以组合部件。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，承接容器例如是设置于管路的末端，末端例如是位于管路的低位处。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，光源与光检测器例如是一体成型或为互相分离的装置。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，管路例如是用以包覆液体输送管的控温管。

依照本实用新型的另一实施例所述，在上述的管路漏液监控装置中，干射薄膜的材料例如是与该漏液接触后会改变光穿透率的材料或与该漏液接触后会溶解的材料。

本实用新型的优点在于，基于上述，在使用本实用新型所提出的管路漏液监控装置时，当管路产生漏液时，流入盛液空间中的漏液会流入监测容器中，因此可防止漏液自承接容器中溢出。

此外，流入监测容器的漏液会润湿干射薄膜，而改变干射薄膜的光穿透率，所以光检测器会检测到反射光或穿透光的强度改变，由此可得知管路发生漏液的情况，因此可即时进行管路的漏液检测及监控。

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图作详细说明如下。

附图说明

图1为本实用新型的第一实施例的管路漏液监控装置于未产生漏液时的示意图；

图2为本实用新型的第一实施例的管路漏液监控装置于产生漏液时的示意图；

图3为本实用新型的另一实施例的套管的示意图；

图4为本实用新型的一实施例的管路漏液监控装置应用于光致抗蚀剂涂布机的示意图；

图5为本实用新型的第二实施例的管路漏液监控装置的示意图；

图6为本实用新型的第三实施例的管路漏液监控装置于未产生漏液时的示意图；

图7为图6中的干射薄膜与光检测器的放大示意图；

图8为本实用新型的第三实施例的管路漏液监控装置于产生漏液时的示意图；

图9为图8中的干射薄膜与光检测器的放大示意图；

图10为本实用新型的第四实施例的管路漏液监控装置的示意图。

主要元件符号说明

1000、6000、7000、8000：管    1260：反射光路漏液监控装置                    1280：警报器

1020：套管                    1300：监控主机

1020a：下部                   1320：穿透光

1040、6040、8040：监控容器    2000：管路

1040a：凹部                   2020：末端

1040b：盖板                   3000：漏液

1060：干射薄膜                4000：光致抗蚀剂管路

1080：光源                    4020：光致抗蚀剂输送管

1100：反射镜                  4040：控温管

1120、1120a：光检测器         4060：转接环

1140：盛液空间                5000：光致抗蚀剂涂布机

1160、1180：部件              5020：机械手臂

1200：结合装置                5040：喷嘴

1220：通道                    6040a、8040a：透光壁

1240：光线                    6220、8220：导管

具体实施方式

图1所绘示为本实用新型的第一实施例的管路漏液监控装置于未产生漏液时的示意图。图2所绘示为本实用新型的第一实施例的管路漏液监控装置于产生漏液时的示意图。图3所绘示为本实用新型的另一实施例的套管的示意图。

请同时参照图1及图2，管路漏液监控装置1000用以监控管路2000的漏液3000。管路漏液监控装置1000包括承接容器1020、监控容器1040、干射薄膜1060、光源1080、反射镜1100、及光检测器1120。管路2000例如是液体输送管。

承接容器1020环绕管路2000，承接容器1020的下部1020a与管路2000密合，且位于下部1020a上方的承接容器1020与管路2000之间形成盛液空间1140，用以盛装管路2000所产生的漏液3000。在此实施例中，承接容器1020是以环绕一个管路2000为例进行说明，但本实用新型并不以此为限。在其他实施例中，承接容器1020也可环绕多个管路。

承接容器1020的材料例如是耐腐蚀材料，如聚乙烯(polyethylene，PE)、高密度聚乙烯(high-density polyethylene，HDPE)、聚丙烯(polypropylene，PP)、聚氯乙烯(polyvinylchloride，PVC)或高聚合度聚氯乙烯(high polymerizationdegree of polyvinylchloride，HPVC)。承接容器1020的材料可依据所要盛装的漏液3000的成份而进行材料的选择。承接容器1020例如是设置于管路2000的末端2020，此末端2020位于该管路2000的低位处，以使得漏液3000可通过重力沿着管路2000的外壁流入盛液空间1140中。此外，在承接容器1020延伸方向上的高度可依据实际需求进行调整，以控制盛液空间1140的高度。

承接容器1020例如是一体成型或由多个部件组成。在此实施例中，承接容器1020是以一体成型为例进行说明。在其他实施例中，承接容器1020也可由多个部件组成。以图3为例，承接容器1020例如是由两个部件1160、1180组成，但本实用新型并不以此为限，承接容器1020更可由三个以上的部件所组成。此外，承接容器1020更包括结合装置1200，用以组合部件1160、1180。在此实施例中，结合装置1200例如是螺丝组，但本实用新型并不以此为限。

请继续参照图1及图2，监控容器1040与承接容器1020连通。在此实施例中，监测容器1040例如是由承接容器1020外壁上的凹部1040a与盖板1040b所形成，而设置在承接容器1020上。在此实施例中，监测容器1040是以嵌入于承接容器102中进行说明，但本实用新型并不限于此。在其他实施例中，监测容器1040也可凸出于承接容器102的外壁。

当监测容器1040设置于承接容器1020上时，承接容器1020上例如是具有通道1220，通道1220导引漏液3000进入监测容器1040。在此实施例中，虽然通道1220是位于干射薄膜1060上方，但本实用新型并不限于此。在其他实施例中，通道1220也可位于干射薄膜1060下方。亦即，通道1220的位置只要是可以连通承接容器1020与监控容器1040即属于本实用新型所保护的范围。

干射薄膜1060设置于监控容器1040内，且干射薄膜1060于干燥时具有第一光穿透率，且与漏液3000接触后具有第二光穿透率，且第二光穿透率不同于第一光穿透率。

干射薄膜1060的材料例如是与漏液3000接触后会改变光穿透率的材料。第一光穿透率例如是小于50％。第二光穿透率例如是大于或等于50％。举例来说，当干射薄膜1060于干燥时的第一光穿透率为0％时，干射薄膜1060例如是不透光薄膜或有色薄膜(在图1中，以干射薄膜1060加上剖面线表示″不透光″或″有色″的状态)，光线1240无法穿透干射薄膜1060。当干射薄膜1060与漏液3000接触后的第二光穿透率约为100％时，干射薄膜1060为可透光薄膜(在图2中，以干射薄膜1060不加上剖面线表示″可透光″的状态)，光线1240几乎可完全穿透干射薄膜1060。此外，干射薄膜1060的材料也可为与漏液3000接触后会溶解的材料，所以在干射薄膜1060与漏液3000接触后的第二光穿透率会逐渐增加。在此实施例中，是以第二光穿透率大于第一穿透率为例进行说明，但本实用新型并不以此为限。在其他实施例中，依据不同材料的选择，第二光穿透率也可小于第一穿透率。

光源1080例如是面向反射镜1100进行设置，用以发射照射到干射薄膜1060的光线1240。光源1080例如是激光光源或红外线等可供检测的光源，但本实用新型并不以此为限。当光源1080位于监控容器1040外部时，监控容器1040例如是具有透光壁(在此实施例中的透光壁为盖板1040b)，以使光线1240穿透透光壁而照射到干射薄膜1060，但本实用新型并不以此为限。在其他实施例中，光源1080也可位于监控容器1040内部。

反射镜1100设置于监控容器1040内，且在光线1240的光行进路线上干射薄膜1060设置于反射镜1100与光源1080之间。在此实施例中，反射镜1100例如是设置于监控容器1040内的承接容器1020的外壁上，用以反射光源1080所产生的光线1240。反射镜1100的材料例如是金属或镀有反射膜的玻璃或平板。此外，在此实施例中，是以干射薄膜1060完全覆盖反射镜1100为例来进行说明。然而，在其他实施例中，干射薄膜1060也可仅覆盖部分反射镜1100，只要反射镜1100在干射薄膜1060于干燥状态及湿润状态所产生的反射光强度不同即可。

光检测器1120例如是面向反射镜1100进行设置，用以接收来自反射镜1100的反射光1260。光源1080与光检测器1120例如是一体成型或为互相分离的装置。在此实施例中，是以光源1080与光检测器1120为一体成型进行说明，但本实用新型并不以此为限。

此外，管路漏液监控装置1000更可选择性地包括警报器1280，耦接于光检测器1120，且接收来自光检测器1120的触发信号，当反射光1260的强度改变时，警报器发出警报信号。警报器1280例如是光警报器、声音警报器或上述警报器的组合。另外，警报器1280更包括将反馈信号发送至监控主机1300而由监控主机1300控制是否将机台锁定，停止机台的运作。反馈信号例如是正向反馈信号或反向反馈信号。

以下，举例说明管路漏液监控装置1000的监控方法。

请同时参照图1及图2，首先，进行步骤S100，以光源1080所产生的光线1240照射干射薄膜1060。在此实施例中，干射薄膜1060于干燥时的第一光穿透率是以0％为例，所以覆盖于反射镜1100上的干射薄膜1060为不透光且可遮蔽光源1080所发出的光线1240，亦即光线1240无法照射到反射镜1100，所以不会产生反射光1260(如图1所示)。

接着，进行步骤S102，利用光检测器1120检测反射光1260。当发生管路2000产生漏液3000时，干射薄膜1060与漏液3000接触后的第二光穿透率不同于第一光穿透率。在此实施例中，是以第二光穿透率大于第一光穿透率为例进行说明。其中，第二光穿透率是以约100％为例，所以干射薄膜1060会转变成可透光薄膜。因此，光线1240会穿过干射薄膜1060而照射到反射镜1100，进而产生反射光1260，而使得光检测器1120检测到反射光1260(如图2所示)。

然后，进行步骤S104，当光检测器1120检测到反射光1260的强度改变时，将机台锁定(lock)，停止机台的运作。在此实施例中，是以干射薄膜1060在干燥状态及湿润状态时分别为「不透光」及「完全透光」为例来进行说明，所以所检测到反射光1260的强度增强。亦即，此处反射光1260的强度增加的情况是指从「无」反射光1260到「有」反射光1260的情况，但本实用新型并不限于此。

在其他实施例中，干射薄膜1060例如是在干燥状态及湿润状态时均可透光的薄膜，且利用干射薄膜1060由干燥状态变成湿润状态时的光穿透率改变的特性，可造成反射光1260的强度改变。举例来说，反射光1260的强度增加的情况例如是指从「弱」反射光1260到「强」反射光1260的情况。

此外，更可选择性地进行步骤S106，当光检测器1120检测到反射光1260的强度改变时，耦接于光检测器1120的警报器1280接收来自光检测器1120的触发信号，而发出警报信号。警报器1280例如是发出光信号、声音信号或上述信号的组合，以引起操作人员的注意。其中，步骤S106与步骤S104并无特定顺序，步骤S106可在步骤S104之前或之后进行、或与步骤S104同时进行。

另外，当机台是由监控主机1300所控制时，警报器1280可将反馈信号发送至监控主机1300，而由监控主机1300控制是否将机台锁定，停止机台的运作。

基于上述实施例可知，在利用管路漏液监控装置1000进行管路漏液监控时，当管路2000产生漏液3000时，流入盛液空间1140中的漏液3000会流入监测容器1040中，因此可防止漏液3000自承接容器1020中溢出。

此外，流入监测容器1040的漏液3000会润湿干射薄膜1060，而改变干射薄膜1060的光穿透率，所以光检测器1120会检测到反射光1260的强度改变，由此可得知管路2000产生漏液3000，因此可即时进行管路2000的漏液检测及监控。

此外，由于管路漏液监控装置1000所进行的漏液检测为非接触式检测方式，因此可防止电气接触易燃液体所产生的工安问题。

图4所绘示为本实用新型的一实施例的管路漏液监控装置应用于光致抗蚀剂涂布机的示意图。

请参照图4，管路漏液监控装置1000设置于光致抗蚀剂涂布机5000中，用以检测光致抗蚀剂管路4000的漏液。光致抗蚀剂管路4000包括光致抗蚀剂输送管4020、控温管4040及转接环4060。控温管4040用以包覆光致抗蚀剂输送管4020，可作为循环水管。控温管4040例如是蛇管。转接环4060将光致抗蚀剂输送管4020连接至光致抗蚀剂涂布机5000中位于机械手臂5020上的喷嘴5040。

在此实施例中，管路漏液监控装置1000中的承接容器1020环绕光致抗蚀剂管路4000，承接容器1020的下部1020a与控温管4040及转接环4060密合，且位于下部1020a上方的承接容器1020与光致抗蚀剂管路4000之间形成盛液空间1140，用以盛装光致抗蚀剂管路4000所产生的漏液。此外，管路漏液监控装置1000中的其他构件的材料、配置方式及功能已于上文中的实施例进行详尽地说明，故于此不再赘述。

由上述实施例可知，在利用管路漏液监控装置1000进行管路漏液监控时，当管路2000产生漏液3000时，盛液空间1140及监测容器1040可防止漏液3000自承接容器1020中溢出。

此外，在利用管路漏液监控装置1000进行管路漏液监控时，会以光源1080产生的光线1240照射干射薄膜1060。当光致抗蚀剂管路4000产生漏液时，利用干射薄膜1060由干燥状态转变为湿润状态所产生的光穿透率改变的特性，而使得由光检测器1120所检测到的反射光1260的强度改变。通过光检测器1120检测到反射光1260的强度改变，可得知光致抗蚀剂管路4000产生漏液，因此可即时进行光致抗蚀剂管路4000的漏液检测及监控。

此外，由于管路漏液监控装置1000所进行的漏液检测为非接触式检测方式，因此可避免电气接触光致抗蚀剂漏液所造成的火灾。

虽然，上述实施例中的管路漏液监控装置1000是以应用于光致抗蚀剂管路，然而本实用新型并不限于此。在其他实施例中，管路漏液监控装置1000对于各种不同类型管路皆可进行客制化设计及安装。

图5所绘示为本实用新型的第二实施例的管路漏液监控装置的示意图。

请同时参照图1及图5，第二实施例的管路漏液监控装置6000与第一实施例的管路漏液监控装置1000的差异在于：管路漏液监控装置6000中的监测容器6040是与承接容器1020分离。当监测容器6040与承接容器1020分离时，管路漏液监控装置6000更包括导管6220，导管6220导引漏液3000进入监测容器6040。同样地，当光源1080位于监控容器6040外部时，监控容器6040例如是具有透光壁6040a，以使光线1240穿透透光壁6040a而照射到干射薄膜1060，但本实用新型并不以此为限。管路漏液监控装置6000与管路漏液监控装置1000相同的构件使用相同的标号表示，且这些构件的材料、配置方式及功能已于上文中的实施例进行详尽地说明，故于此不再赘述。

图6所绘示为本实用新型的第三实施例的管路漏液监控装置于未产生漏液时的示意图。图7所绘示为图6中的干射薄膜与光检测器的放大示意图。图8所绘示为本实用新型的第三实施例的管路漏液监控装置于产生漏液时的示意图。图9所绘示为图8中的干射薄膜与光检测器的放大示意图。

请同时参照图1、图2及图6至图9，第三实施例的管路漏液监控装置7000与第一实施例的管路漏液监控装置1000的差异在于：管路漏液监控装置7000中的光检测器1120a是用以接收穿透干射薄膜1060的穿透光1320，因此管路漏液监控装置7000可不需具有管路漏液监控装置1000中的反射镜1100。光检测器1120a例如是设置于干射薄膜1060的光出射侧，如设置于干射薄膜1060与承接容器1020之间。管路漏液监控装置7000与管路漏液监控装置1000相同的构件使用相同的标号表示，且这些构件的材料、配置方式及功能已于上文中的实施例进行详尽地说明，故于此不再赘述。

以下，请同时参照图6至图9。在此实施例中，干射薄膜1060于干燥时的第一光穿透率是以0％为例，所以干射薄膜1060为不透光且可遮蔽光源1080所发出的光线1240，亦即光线1240无法穿透干射薄膜1060，所以不会产生穿透光1320。其中，以干射薄膜1060加上剖面线表示″不透光″或″有色″的状态。(请参照图6及图7)

当发生管路2000产生漏液3000时，干射薄膜1060与漏液3000接触后的第二光穿透率不同于第一光穿透率。在此实施例中，是以第二光穿透率大于第一光穿透率为例进行说明。其中，第二光穿透率是以约100％为例，所以干射薄膜1060会转变成可透光薄膜。因此，光线1240会穿过干射薄膜1060产生穿透光1320，而使得光检测器1120检测到穿透光1320。其中，以干射薄膜1060不加上剖面线表示″可透光″的状态。(请参照图8及图9)

当光检测器1120检测到穿透光1320的强度改变时，将机台锁定(lock)，停止机台的运作。在此实施例中，是以干射薄膜1060在干燥状态及湿润状态时分别为「不透光」及「完全透光」为例来进行说明。亦即，此处穿透光1320的强度增加的情况是指从「无」穿透光1320到「有」穿透光1320的情况，但本实用新型并不限于此。

在其他实施例中，干射薄膜1060例如是在干燥状态及湿润状态时均可透光的薄膜，且利用干射薄膜1060由干燥状态变成湿润状态时的光穿透率改变的特性，可造成穿透光1320的强度改变。举例来说，穿透光1320的强度增加的情况是指从「弱」穿透光1320到「强」穿透光1320的情况。

此外，当光检测器1120检测到穿透光1320的强度改变时，耦接于光检测器1120的警报器1280接收来自光检测器1120的触发信号，而发出警报信号。警报器1280例如是发出光信号、声音信号或上述信号的组合，以引起操作人员的注意。其中，机台锁定的步骤与发出警报信号的步骤并无特定顺序，机台锁定的步骤可在发出警报信号的步骤之前或之后进行、或与发出警报信号的步骤同时进行。当机台是由监控主机1300所控制时，警报器1280可将反馈信号发送至监控主机1300，而由监控主机1300控制是否将机台锁定，停止机台的运作。

基于上述实施例可知，在利用管路漏液监控装置7000进行管路漏液监控时，当管路2000产生漏液3000时，由盛液空间1140中流出的漏液3000会润湿干射薄膜1060，而改变干射薄膜1060的光穿透率，所以光检测器1120会检测到的穿透光1320的强度改变，由此可得知管路2000产生漏液3000，因此可即时进行管路2000的漏液检测及监控。

图10所绘示为本实用新型的第四实施例的管路漏液监控装置的示意图。

请同时参照图6及图10，第三实施例的管路漏液监控装置7000与第四实施例的管路漏液监控装置8000的差异在于：管路漏液监控装置8000中的监测容器8040是与承接容器1020分离。当监测容器8040与承接容器1020分离时，管路漏液监控装置8000更包括导管8220，导管8220导引漏液3000进入监测容器8040。同样地，当光源1080位于监控容器8040外部时，监控容器8040例如是具有透光壁8040a，以使光线1240穿透透光壁8040a而照射到干射薄膜1060，但本实用新型并不以此为限。管路漏液监控装置8000与管路漏液监控装置7000相同的构件使用相同的标号表示，且这些构件的材料、配置方式及功能已于上文中的实施例进行详尽地说明，故于此不再赘述。

综上所述，上述实施例至少具有下列优点：

1.上述实施例的管路漏液监控装置可防止漏液自承接容器中溢出。

2.通过上述实施例的管路漏液监控装置可即时进行管路的漏液检测及监控。

3.上述实施例的管路漏液监控装置采用非接触式检测方式，因此可防止电气接触易燃液体所产生的工安问题。

Claims (30)

1.一种管路漏液监控装置，其用以监控一管路的一漏液，其特征在于，该管路漏监控装置包括：

承接容器，环绕该管路，该承接容器的一下部与该管路密合，且位于该下部上方的该承接容器与该管路之间形成一盛液空间；

监控容器，与该承接容器连通；

干射薄膜，设置于该监控容器内，且该干射薄膜于干燥时具有第一光穿透率，且与该漏液接触后具有第二光穿透率，且该第二光穿透率不同于该第一光穿透率；

光源，发射照射到该干射薄膜的一光线；

反射镜，设置于该监控容器内，且在该光线的光行进路线上该干射薄膜设置于该反射镜与该光源之间；以及

光检测器，接收来自该反射镜的一反射光。

2.如权利要求1所述的管路漏液监控装置，其特征在于，当该光源位于该监控容器外部时，该监控容器具有透光壁，以使该光线穿透该透光壁而照射到该干射薄膜。

3.如权利要求1所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该管路漏监控装置还包括警报器，耦接于该光检测器，且接收来自该光检测器的一触发信号，当该反射光的强度改变时，该警报器发出一警报信号。

4.如权利要求3所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该警报器包括光警报器、声音警报器或上述警报器的组合。

5.如权利要求3所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该警报器还包括将一反馈信号发送至一监控主机。

6.如权利要求5所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该反馈信号包括正向反馈信号或反向反馈信号。

7.如权利要求1所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该监测容器设置于该承接容器上或与该承接容器分离。

8.如权利要求7所述的管路漏液监控装置，其特征在于，当该监测容器设置于该承接容器上时，该承接容器上具有通道，该通道导引该漏液进入该监测容器。 

9.如权利要求7所述的管路漏液监控装置，其特征在于，当该监测容器与该承接容器分离时，还包括导管，该导管导引该漏液进入该监测容器。

10.如权利要求1所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该承接容器为一体成型或由多个部件组成。

11.如权利要求10所述的管路漏液监控装置，其特征在于，当该承接容器由该些部件组成时，该承接容器还包括结合装置，用以组合该些部件。

12.如权利要求1所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该承接容器设置于该管路的一末端，该末端位于该管路的低位处。

13.如权利要求1所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该光源与该光检测器为一体成型或为互相分离的装置。

14.如权利要求1所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该管路包括用以包覆一液体输送管的一控温管。

15.如权利要求1所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该干射薄膜的材料包括与该漏液接触后会改变光穿透率的材料或与该漏液接触后会溶解的材料。

16.一种管路漏液监控装置，其用以监控一管路的一漏液，其特征在于该管路漏监控装置包括：

承接容器，环绕该管路，该承接容器的一下部与该管路密合，且位于该下部上方的该承接容器与该管路的间形成一盛液空间；

监控容器，与该承接容器连通；

干射薄膜，设置于该监控容器内，且该干射薄膜于干燥时具有第一光穿透率，且与该漏液接触后具有第二光穿透率，且该第二光穿透率不同于该第一光穿透率；

光源，发射照射到该干射薄膜的一光线；以及

光检测器，接收穿透该干射薄膜的一穿透光。

17.如权利要求16所述的管路漏液监控装置，其特征在于，当该光源位于该监控容器外部时，该监控容器具有透光壁，以使该光线穿透该透光壁而照射到该干射薄膜。

18.如权利要求16所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该管路漏监控装置还包括警报器，耦接于该光检测器，且接收来自该光检测器的一触发信号，当该反射光的强度改变时，该警报器发出一警报信号。 

19.如权利要求18所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该警报器包括光警报器、声音警报器或上述警报器的组合。

20.如权利要求18所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该警报器还包括将一反馈信号发送至一监控主机。

21.如权利要求20所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该反馈信号包括正向反馈信号或反向反馈信号。

22.如权利要求16所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该监测容器设置于该承接容器上或与该承接容器分离。

23.如权利要求22所述的管路漏液监控装置，其特征在于，当该监测容器设置于该承接容器上时，该承接容器上具有通道，该通道导引该漏液进入该监测容器。

24.如权利要求22所述的管路漏液监控装置，其特征在于，当该监测容器与该承接容器分离时，还包括导管，该导管导引该漏液进入该监测容器。

25.如权利要求16所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该承接容器为一体成型或由多个部件组成。

26.如权利要求25所述的管路漏液监控装置，其特征在于，当该承接容器由该些部件组成时，该承接容器还包括结合装置，用以组合该些部件。

27.如权利要求16所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该承接容器设置于该管路的一末端，该末端位于该管路的低位处。

28.如权利要求16所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该光源与该光检测器为一体成型或为互相分离的装置。

29.如权利要求16所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该管路包括用以包覆一液体输送管的一控温管。

30.如权利要求16所述的管路漏液监控装置，其特征在于，该干射薄膜的材料包括与该漏液接触后会改变光穿透率的材料或与该漏液接触后会溶解的材料。 

Images