CN202329131U - 一种实验用小型电子束熔炼炉 - Google Patents

一种实验用小型电子束熔炼炉 Download PDF

Info

Publication number
CN202329131U
CN202329131U CN2011205068163U CN201120506816U CN202329131U CN 202329131 U CN202329131 U CN 202329131U CN 2011205068163 U CN2011205068163 U CN 2011205068163U CN 201120506816 U CN201120506816 U CN 201120506816U CN 202329131 U CN202329131 U CN 202329131U
Authority
CN
China
Prior art keywords
heater
electron beam
crucible
furnace according
seal ring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN2011205068163U
Other languages
English (en)
Inventor
孙照富
尹中荣
魏中青
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
GRIMN Engineering Technology Research Institute Co Ltd
Original Assignee
Beijing General Research Institute for Non Ferrous Metals
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing General Research Institute for Non Ferrous Metals filed Critical Beijing General Research Institute for Non Ferrous Metals
Priority to CN2011205068163U priority Critical patent/CN202329131U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202329131U publication Critical patent/CN202329131U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)

Abstract

一种实验用小型电子束熔炼炉，它包括一个炉体以及设置在该炉体上方的电子枪；该炉体两端分别设有炉门和接口，该炉体一侧设有观察窗，该炉体内部设有坩埚，所述炉门采用内密封圈和外密封圈的双密封圈密封，并在两个密封圈之间设有开槽，并对该开槽抽真空使内密封圈两侧形成压差。本实用新型功能多样，结构简单，操作方便，可实验范围广泛，因此其可广泛应用于科研院所实验室。

Description

一种实验用小型电子束熔炼炉
技术领域
本实用新型涉及一种电子束熔炼炉，特别是一种实验用小型电子束熔炼炉。
背景技术
电子束熔炼炉是由电子枪产生高能电子束用来冶炼物料工艺所需要一种真空设备，其电子枪能产生具有一定方向和光斑直径大小的电子束，电子束具有熔区窄、能量密度高以及熔区内平均温度梯度大等优点，已被成功地用于W、Mo、Ta、Nb等难熔金属、合金及其化合物和复合材料进行熔炼，以达到提纯的目的。目前随着电子束熔炼多晶硅工艺的日渐成熟，电子束熔炼炉也越来越多的被用于太阳能行业的多晶硅的提纯中。
目前的电子束熔炼炉主要用在在工业化大生产，其一般工业用电子束熔炼炉主要包括以下几个主要部分：产生高能电子束的电子枪、熔炼用坩埚、冷却系统、进料系统、拉锭装置、出料系统和真空系统以及与之相配套配套的高压电源、低压电源和操作控制系统等组成，其中就控制系统包括各种联锁装置：真空联锁、多处行程联锁、水压联锁、流量联锁、主高压放电联锁和副高压放电联锁等。目前，随着大工业化生产的需要，电子束炉的结构变得越来越大，功率也越来越大。可以看出工业用电子束熔炼炉一般都结构复杂，占用空间相对较庞大，且配备的是大功率的电子枪，因此造成设备的造价高，占用空间大，不便于一些实验室和科研单位的使用。
目前虽有极少数小型电子束熔炼炉，但一般功能单一，且因结构设计方面而造成极限真空达不到诸多实验的要求。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种实验用小型电子束熔炼炉，可以克服现有电子束熔炼炉的缺陷，为实验室和科研提供一种使用方便、功能齐全的实验用小型化的电子束熔炼炉。
为实现上述目的，本实用新型采取以下技术方案：
一种实验用小型电子束熔炼炉，它包括一个炉体以及设置在该炉体上方的电子枪；该炉体两端分别设有炉门和接口，该炉体一侧设有观察窗，该炉体内部设有坩埚，所述炉门采用内密封圈和外密封圈的双密封圈密封，并在两个密封圈之间设有开槽，并对该开槽抽真空使内密封圈两侧形成压差。
所述电子枪额定功率为100KW。
所述坩埚为水平方坩埚或者圆坩埚，在所述炉体内装有可快换该两种坩埚的快接装置，且该两种坩埚的冷却水路连接可以互换。
所述炉体底部至所述炉门处安装有轨道，在所述炉体外设与所述炉体内的轨道对接的轨道小车。
所述炉体设有充氩真空接口，且配有充氩自动控制系统。
所述观察窗为闪频观察窗。
所述电子枪上设有摄像头。
所述电子枪配有于所述水平方坩埚或者圆坩埚相应的低压扫描电源。
用机械泵对所述的开槽抽真空。
本实用新型的优点是：功能多样，结构简单，操作方便，可实验范围广泛，因此其可广泛应用于科研院所实验室，做难熔金属、稀土和多晶硅等材料的熔炼和提纯，节约能源，成本低廉。
附图说明
图1为本实用新型小型电子束熔炼炉结构示意图（主视图）。
图2为本实用新型小型电子束熔炼炉结构示意图（左视图）。
图3为炉门双密封圈结构示意放大图。
具体实施方式
如图1和图2所示，本实用新型实验用小型电子束熔炼炉包括炉体2，电子枪1，电子枪设于炉体上方。
本实用新型实验用小型电子束熔炼炉炉体采用小型炉体2，该炉体2内部设有坩埚3，坩埚3根据试验工艺的需要设计为两种，一种是水平方坩埚，一种是圆坩埚。炉体2内装有可快换该两种坩埚的快接装置10，坩埚3所需的冷却水从炉体2的底部引入，坩埚3对冷却水管的连接采用快捷连接，且两种坩埚的冷却水路连接可以互换。对应于两种坩埚，电子枪1配有两种低压扫描电源，一种是方扫描电源，一种是圆扫描电源。该炉体2一侧设有观察窗9，用于观察炉内坩埚3的熔炼状况，观察窗9为闪频观察窗。该炉体2两端分别设有炉门4和装有真空系统的接口7，分子泵真空系统与接口7相连以对炉体2提供真空环境。炉门4主要用于装卸坩埚3和出料，如图3所示，炉门4上的密封采用内密封圈14和外密封圈15的双密封圈密封I，在两个密封圈之间设有开槽12，并对该开槽12用机械泵抽真空，使内密封圈14两侧形成不足1Pa的压差，从而对炉门4的密封效果大大提高。
炉体2上设有充氩真空接口11，且配有充氩自动控制系统。为便于出料、拆卸和安装坩埚3，炉体2底部至炉门4处安装有轨道5，在炉体2外设有与炉体2内轨道5对接的轨道小车6。电子枪1采用了额定功率为100KW的小功率电子枪，电子枪1上可以装有摄像头，以观看到拦孔处的聚焦情况。炉体2被安置在架体13上，架体13跟机械基础采用调整螺栓8连接，方便安装调试和维修。
本实用新型的优点在于：
1.炉门采用内密封圈和外密封圈的双密封圈密封，在两个密封圈之间设有开槽，用机械泵对开槽抽真空，使内密封圈两侧形成不足1Pa的压差，从而对炉门的密封效果大大提高，对炉体的压升率的有明显降低，使炉子能在超过真空下使用提供了保证。
2.采用双坩埚，且二者的冷却水路连接具有互换性，满足了实验的多样性功能，使实验范围扩大一倍左右，既可以铸锭出棒材（棒材的直径也可根据实验工艺的需要而定），又可以铸锭出板材，铸出的板材也可根据实验工艺的需要切割成各种尺寸。
3.炉体底部至炉门处安装有轨道，在炉体外有与炉内轨道对接的轨道小车。便于拆卸和安装坩埚。因为实验的类型各异，需经常更换坩埚，避免了采用人力搬动，劳动强度大大降低。

Claims (9)

1. 一种实验用小型电子束熔炼炉，它包括一个炉体以及设置在该炉体上方的电子枪；该炉体两端分别设有炉门和接口，该炉体一侧设有观察窗，该炉体内部设有坩埚，其特征在于：所述炉门采用内密封圈和外密封圈的双密封圈密封，并在两个密封圈之间设有开槽，并对该开槽抽真空使内密封圈两侧形成压差。
2. 根据权利要求1所述的电子束熔炼炉，其特征在于：所述电子枪额定功率为100KW。
3. 根据权利要求1或2所述的电子束熔炼炉，其特征在于：所述坩埚为水平方坩埚或者圆坩埚，在所述炉体内装有可快换该两种坩埚的快接装置，且该两种坩埚的冷却水路连接可以互换。
4. 根据权利要求3所述的电子束熔炼炉，其特征在于：所述炉体底部至所述炉门处安装有轨道，在所述炉体外设与所述炉体内的轨道对接的轨道小车。
5. 根据权利要求1或4所述的电子束熔炼炉，其特征在于：所述炉体设有充氩真空接口，且配有充氩自动控制系统。
6. 根据权利要求5所述的电子束熔炼炉，其特征在于：所述观察窗为闪频观察窗。
7. 根据权利要求6所述的电子束熔炼炉，其特征在于：所述电子枪上设有摄像头。
8. 根据权利要求7所述的电子束熔炼炉，其特征在于：所述电子枪配有于所述水平方坩埚或者圆坩埚相应的低压扫描电源。
9. 根据权利要求1所述的电子束熔炼炉，其特征在于：用机械泵对所述的开槽抽真空。
CN2011205068163U 2011-12-07 2011-12-07 一种实验用小型电子束熔炼炉 Expired - Lifetime CN202329131U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011205068163U CN202329131U (zh) 2011-12-07 2011-12-07 一种实验用小型电子束熔炼炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011205068163U CN202329131U (zh) 2011-12-07 2011-12-07 一种实验用小型电子束熔炼炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202329131U true CN202329131U (zh) 2012-07-11

Family

ID=46441112

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011205068163U Expired - Lifetime CN202329131U (zh) 2011-12-07 2011-12-07 一种实验用小型电子束熔炼炉

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN202329131U (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103882509A (zh) * 2012-12-19 2014-06-25 北京有色金属研究总院 一种对物料进行悬浮区域提纯的电子束区熔炉及方法
CN105779781A (zh) * 2014-12-17 2016-07-20 北京有色金属研究总院 一种大型电子束冷床炉的移动门装置
CN108085507A (zh) * 2016-11-23 2018-05-29 攀枝花市九鼎智远知识产权运营有限公司 一种基于电子束冷床炉的进料系统
CN111206160A (zh) * 2020-01-09 2020-05-29 有研工程技术研究院有限公司 一种电子束水平炉

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103882509A (zh) * 2012-12-19 2014-06-25 北京有色金属研究总院 一种对物料进行悬浮区域提纯的电子束区熔炉及方法
CN103882509B (zh) * 2012-12-19 2016-12-28 北京有色金属研究总院 一种对物料进行悬浮区域提纯的电子束区熔炉及方法
CN105779781A (zh) * 2014-12-17 2016-07-20 北京有色金属研究总院 一种大型电子束冷床炉的移动门装置
CN108085507A (zh) * 2016-11-23 2018-05-29 攀枝花市九鼎智远知识产权运营有限公司 一种基于电子束冷床炉的进料系统
CN111206160A (zh) * 2020-01-09 2020-05-29 有研工程技术研究院有限公司 一种电子束水平炉

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN202329131U (zh) 一种实验用小型电子束熔炼炉
CN209078013U (zh) 预抽真空氩气保护三枪式等离子焊箱
US20070246368A1 (en) Electrolysis Cell for Producing Alkali Metal
CN103834969B (zh) 熔盐电解装置
CN105202908A (zh) 真空自耗电弧炉
FI81839C (fi) Anlaeggning foer elektrolytisk framstaellning av reaktiva metaller i smaelta saltbad.
CN201373663Y (zh) 聚束极和加速阳极相互位置可调的电子束区熔炉
CN103807456B (zh) 双向侧拉式真空插板阀
WO2006029807A3 (de) Elektrolysevorrichtung zur herstellung von alkalimetall
CN203768482U (zh) 一种新型真空电子束熔炼炉
CN105140607A (zh) 适用于大功率微波加热设备的水冷式微波波导
CN204185541U (zh) 一种双工位移动结晶器真空电渣炉
CN203820870U (zh) 电子束冷床炉
CN201255574Y (zh) 电子束熔炼设备
CN204905403U (zh) 适用于大功率微波加热设备的水冷式微波波导
CN101469373B (zh) 一种制锂装置
CN102312289B (zh) 多晶铸锭炉二次加料的装置
CN202955252U (zh) 双向侧拉式真空插板阀
CN202730269U (zh) 一种熔盐电解精炼设备用隔热阀
CN202770175U (zh) 矿热炉电极握持装置
CN218349223U (zh) 一种实验用小型电子束炉
CN101334236A (zh) 电子束熔炼设备
CN215983920U (zh) 一种真空感应熔炼炉直线移动装置
US11952674B2 (en) Systems and methods for recovery of molten metal
CN205382197U (zh) 电子束熔炼炉

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20190621

Address after: 101407 No. 11 Xingke East Street, Yanqi Economic Development Zone, Huairou District, Beijing

Patentee after: Research Institute of engineering and Technology Co., Ltd.

Address before: No. 2, Xinjie street, Xicheng District, Beijing, Beijing

Patentee before: General Research Institute for Nonferrous Metals

CX01 Expiry of patent term
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20120711