CN202279374U - 光罩盒存放柜 - Google Patents
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Abstract
本实用新型的光罩盒存放柜包括：柜体，设置于所述柜体内的进气夹层，和排气管；其中，所述进气夹层设有进气端和通孔，所述进气端与一气体供应设备连接；所述排气管设有排气端，所述排气端伸出所述柜体，所述排气管的管壁上设有多个通孔。本实用新型的光罩盒存放柜其柜内环境达到光罩存放要求，使置于该光罩盒存放柜内的光罩盒内外环境均符合光罩存放要求，能有效防止光罩出现阴霾。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种光罩盒存放柜。
背景技术
半导体光刻技术中，要复制到晶圆上的电路结构以图形形式制作在光罩(reticle)上，光罩的质量对半导体器件制作的成败起着至关重要的作用。光罩的存放对存放环境有比较严格的要求，例如，存放环境的湿度要控制在5％以内，存放环境中 
的浓度要小于1ppb，NH3的浓度要小于1.8ppbv，CL2的浓度要小于1ng/L，F2的浓度要小于1ng/L， 
的浓度要小于2ng/L等，若存放环境达不到要求，光罩容易出现阴霾(haze)，导致光罩不能使用。
光罩通常存放于光罩盒中，所述光罩盒设有进气口和出气口，所述进气口用于向所述光罩盒内充氮气(N2)，所述出气口用于将盒内的气体排出盒外，所述进气口和出气口均设有密封膜，所述密封膜可密封住所述进气口和出气口，使所述光罩盒内的环境处于密封状态。为保证所述光罩盒内的环境达到存放要求，利用超洁净干燥空气(XCDA)系统对所述光罩盒进行充气、排气，使所述光罩盒内的光罩处于氮气环境中，达到存放要求。当所述光罩盒内的环境达到存放要求后，超洁净干燥空气系统停止对所述光罩盒进行充气、排气，密封膜密封住所述进气口和出气口，然后将光罩盒置于工作间环境中。但是，只依靠密封膜是无法完全隔开盒内环境与盒外环境的，而工作间的环境不符合光罩存放要求，一段时间后，一些盒外气体进入盒内，使盒内环境不再符合存放要求。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种光罩盒存放柜，柜内环境达到光罩存放要求，使置于该光罩盒存放柜内的光罩盒内外环境均符合光罩存放要求，能有效防止光罩出现阴霾。
为了达到上述的目的，本实用新型提供一种光罩盒存放柜，包括：柜体，设置于所述柜体内的进气夹层，和排气管；其中，所述进气夹层设有进气端和通孔，所述进气端与一气体供应设备连接；所述排气管设有排气端，所述排气端伸出所述柜体，所述排气管的管壁上设有多个通孔。
上述光罩盒存放柜，其中，所述光罩盒存放柜还包括设置于所述柜体外的第一流量控制阀和第二流量控制阀，所述进气端通过所述第一流量控制阀与所述气体供应设备连接，所述排气端与所述第二流量控制阀连接。
上述光罩盒存放柜，其中，所述通孔为螺丝通孔，所述螺丝通孔的孔径大小可调。
上述光罩盒存放柜，其中，所述柜体被分隔成多个相互独立的存放单元，所述进气夹层与每个所述存放单元均连接，且所述排气管与每个所述存放单元均连接。
上述光罩盒存放柜，其中，每个所述存放单元均呈长方体状，所述存放单元包括门、第一侧面板、后面板、第二侧面板、上面板和下面板，所述上面板与下面板平行，所述第一侧面板、后面板和第二侧面板固定设置在所述上面板与下面板之间，且均垂直于所述上面板和下面板，所述后面板与所述第一侧面板相连，所述第二侧面板与所述后面板相连，且所述第一侧面板与所述第二侧面板平行，所述门的一侧边与所述第一侧面板铰链接，当所述门关闭时，所述门的另一侧边与所述第二侧面板吸合，且所述门平行于所述后面板。
上述光罩盒存放柜，其中，所述第一侧面板和第二侧面板的内壁上设有第一L型导轨。
上述光罩盒存放柜，其中，所述存放单元内设有第一支撑杆和第二支撑杆，所述第一支撑杆和第二支撑杆均垂直设置在所述上面板与所述下面板之间，所述第一支撑杆和第二支撑杆的一端与所述上面板连接，所述第一支撑杆和第二支撑杆的另一端与所述下面板连接，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆之间设有第二L型导轨。
上述光罩盒存放柜，其中，所述第一支撑杆到所述第一侧面板的距离等于所述第一支撑杆到所述第二侧面板的距离。
上述光罩盒存放柜，其中，所述第一L型导轨和第二L型导轨上均设有挡 板。
上述光罩盒存放柜，其中，所述进气夹层包括第一夹层板和第二夹层板，所述第一夹层板和第二夹层板均平行于所述后面板，所述第一夹层板到所述后面板的距离小于所述第二夹层板到所述后面板的距离，在沿垂直于所述第一侧面板的方向上，所述第一夹层板的长度比所述第二夹层板的长度长，在所述第一夹层板和第二夹层板的两侧各形成一斜缝隙。
上述光罩盒存放柜，其中，所述门上设有透视窗口和把手。
上述光罩盒存放柜，其中，所述光罩盒存放柜还包括设置于所述柜体外的第三流量控制阀，所述排气管还设有出口端，所述出口端与所述第三流量控制阀连接。
本实用新型的光罩盒存放柜通过进气夹层往柜体内输送惰性气体，通过排气管将柜体内的酸根离子排出柜体外，使柜体内的环境达到光罩存放要求，置于所述光罩盒存放柜内的光罩盒由于盒内外环境都符合光罩存放要求，无论放置多久，都能有效防止光罩出现阴霾。
附图说明
本实用新型的光罩盒存放柜由以下的实施例及附图给出。
图1是本实用新型一实施例中光罩盒存放柜的主视图。
图2是图1中的A-A剖视图。
图3是本实用新型一实施例中存放单元内部结构(未示进气夹层和排气管)的立体图。
图4是本实用新型一实施例中存放单元内部结构(未示排气管)的主视图。
图5是本实用新型一实施例中存放单元内部结构(未示排气管)的侧视图。
具体实施方式
以下将结合图1～图5对本实用新型的光罩盒存放柜作进一步的详细描述。
本实用新型的光罩盒存放柜包括一柜体，设置于所述柜体内的进气夹层，以及排气管；
所述进气夹层用于向所述柜体内输送惰性气体，所述进气夹层设有进气端 和通孔，所述进气端通过流量控制阀与气体供应设备连接，由所述进气夹层传输的惰性气体通过所述通孔进入所述柜体内；
所述排气管用于将所述柜体内的气体排出柜体外，所述排气管设有排气端，所述排气端与一流量控制阀连接，所述排气管的管壁上设有多个通孔，所述通孔的孔径大小可调，所述柜体内的气体通过所述多个通孔进入所述排气管内，再通过所述排气端排出所述柜体外。
本实用新型的光罩盒存放柜通过进气夹层往柜体内输送惰性气体，通过排气管将柜体内的酸根离子(如 
NH3、CL2、F2、 
等)排出柜体外，使柜体内的环境达到光罩存放要求，置于所述光罩盒存放柜内的光罩盒由于盒内外环境都符合光罩存放要求，无论放置多久，都能有效防止光罩出现阴霾。
现以具体实施例更详细的说明本实用新型的光罩盒存放柜。
参见图1，本实施例的光罩盒存放柜包括一长方体状的柜体1，在本实施例中该柜体1共具有4个水平层，同一水平层上有两个存放单元10，即，所述柜体1被分隔成8个相互独立的存放单元10；
参见图2，所述柜体1内设有进气夹层30，所述进气夹层30与每个存放单元10均连接，即每个所述存放单元10内均有部分所述进气夹层30，所述进气夹层30设有进气端31，所述进气端31通过一流量控制阀(图2中未示)与气体供应设备连接，位于各个所述存放单元10内的进气夹层30上均设有通孔32，气体供应设备提供的惰性气体通过所述进气端31进入所述进气夹层30内，再由所述通孔32进入各个存放单元10内，采用进气夹层30输送气体可保证每个所述存放单元10内的气压均衡；
继续参见图2，所述柜体1内设有排气管20，所述排气管20位于同一水平层的两个存放单元10之间，且与每个存放单元10均连接，即每个存放单元10内均有部分排气管20的管壁，位于各个存放单元10内的排气管20的管壁上均设有多个通孔21，所述多个通孔21用于排气，所述通孔21例如为螺丝通孔，其孔径大小是可调的，改变所述通孔21的孔径可改变所述存放单元10的排气量，以保证每个所述存放单元10的排气量均衡；
较佳地，每个所述存放单元10内，所述排气管20的管壁上设有10～16个 通孔21；
继续参见图1，所述排气管20的一端设有排气端22，所述排气端22伸出所述柜体1外，且与一流量控制阀(图1中未示)连接，所述流量控制阀可关闭所述排气端22，所述存放单元10内的气体可通过所述排气端22排出柜体外；
较佳地，所述排气管20的另一端设有出口端23，所述出口端23伸出所述柜体1外，且与一流量控制阀(图1中未示)连接，所述流量控制阀可关闭所述出口端23，所述出口端23用于与其它光罩盒存放柜的进气夹层的进气端连接。
当需要存放的光罩较多时，需要多个所述光罩盒存放柜来存放这些光罩，此时可利用所述出口端23将多个所述光罩盒存放柜串联起来，即将前一个所述光罩盒存放柜的出口端23与后一个所述光罩盒存放柜的进气端31连接起来。
继续参见图1，所述存放单元10包括一门101，所述门101上设有透视窗口111和把手112，通过所述透视窗口111可从所述存放单元10的外部观察所述存放单元10的内部情况，所述把手112用于打开或关闭所述门101。
参见图3和图4，较佳地，每个所述存放单元10均呈长方体状，所述存放单元10还包括第一侧面板102、后面板103、第二侧面板104、上面板105和下面板106，所述上面板105与下面板106平行，所述第一侧面板102、后面板103和第二侧面板104固定设置在所述上面板105与下面板106之间，且均垂直于所述上面板105和下面板106，所述后面板103与所述第一侧面板102相连，所述第二侧面板104与所述后面板103相连，且所述第一侧面板102与所述第二侧面板104平行，所述门101的一侧边与所述第一侧面板102铰链接，当所述门101关闭时，所述门101的另一侧边与所述第二侧面板104吸合，此时所述门101平行于所述后面板103；打开所述门101时，所述门101绕其与所述第一侧面板102铰链接的侧边旋转，旋转角度最大可达90°，可保证无阻碍地将光罩盒放置到存放单元10内，并可无阻碍地将光罩盒取出存放单元10外。
所述第一侧面板102和第二侧面板104的内壁上设有L型导轨107，所述L型导轨107用于支撑光罩盒，即一个光罩盒支撑在两根所述L型导轨107上。
本实施例中，每个所述存放单元10可存放4个光罩盒，4个光罩盒分两层放置，每一层放置两个光罩盒；所述存放单元10内设有第一支撑杆108和第二支撑杆109，所述第一支撑杆108和第二支撑杆109均垂直设置在所述上面板 105与所述下面板106之间，所述第一支撑杆108和第二支撑杆109的一端与所述上面板105连接，所述第一支撑杆108和第二支撑杆109的另一端与所述下面板106连接，且所述第一支撑杆108到所述第一侧面板102的距离等于所述第一支撑杆108到所述第二侧面板104的距离，所述第二支撑杆109到所述第一侧面板102的距离等于所述第二支撑杆109到所述第二侧面板104的距离，所述第一支撑杆108靠近所述后面板103，所述第二支撑杆109靠近所述门101；所述第一支撑杆108与所述第二支撑杆109之间设有L型导轨107。
放置光罩盒时，光罩盒是沿所述L型导轨107的长度方向推进所述存放单元10内的，如图5所示，为防止光罩盒40在推进过程中碰撞所述后面板103，所述L型导轨107上设有挡板110，所述挡板110靠近所述后面板103，所述挡板110用于阻止所述光罩盒40进一步往内推，可防止所述光罩盒40碰撞所述后面板103。
较佳地，每个所述存放单元10的体积大于4个所述光罩盒40的体积，即所述存放单元10留有一定的维护空间。
继续参见图2，较佳地，每个所述存放单元10内，所述进气夹层30靠近所述后面板103，所述进气夹层30包括第一夹层板33和第二夹层板34，所述第一夹层板33和第二夹层板34均平行于所述后面板103，所述第一夹层板33到所述后面板103的距离小于所述第二夹层板34到所述后面板103的距离，在沿垂直于所述第一侧面板102的方向上，所述第一夹层板33的长度比所述第二夹层板34的长度长，在所述第一夹层板33和第二夹层板34的两侧各形成一斜缝隙，所述斜缝隙即为通孔32，惰性气体通过所述进气端31进入所述第一夹层板33与第二夹层板34之间，再通过所述斜缝隙进入所述存放单元10内；
较佳地，每个所述存放单元10内，所述排气管20垂直于所述下面板106，且位于所述第二侧面板104与门101的交汇处。
较佳地，本实施例中惰性气体采用价格便宜的氮气。
较佳地，所述柜体1采用不锈钢材料制成，所述透视窗口111采用透明有机玻璃制成。
本实施例的光罩盒存放柜中各个部件之间的连接尽量不采用焊接方式，所述进气夹层30和排气管20均需采用电子抛光技术进行处理，以防止材料释放 含酸根离子的气体。
本实施例的光罩盒存放柜在最底层的一个存放单元10内安装压力表头和湿度表头，用于实时检测所述光罩盒存放柜内部环境的湿度及压力，以实时监测所述光罩盒存放柜的内部环境是否符合光罩存放要求。
本实施例的光罩盒存放柜接地，具有防静电功能。
显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。
Claims (12)
1.一种光罩盒存放柜，其特征在于，包括：柜体，设置于所述柜体内的进气夹层，和排气管；其中，所述进气夹层设有进气端和通孔，所述进气端与一气体供应设备连接；所述排气管设有排气端，所述排气端伸出所述柜体，所述排气管的管壁上设有多个通孔。
2.如权利要求1所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述光罩盒存放柜还包括设置于所述柜体外的第一流量控制阀和第二流量控制阀，所述进气端通过所述第一流量控制阀与所述气体供应设备连接，所述排气端与所述第二流量控制阀连接。
3.如权利要求1或2所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述通孔为螺丝通孔，所述螺丝通孔的孔径大小可调。
4.如权利要求1所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述柜体被分隔成多个相互独立的存放单元，所述进气夹层与每个所述存放单元均连接，且所述排气管与每个所述存放单元均连接。
5.如权利要求4所述的光罩盒存放柜，其特征在于，每个所述存放单元均呈长方体状，所述存放单元包括门、第一侧面板、后面板、第二侧面板、上面板和下面板，所述上面板与下面板平行，所述第一侧面板、后面板和第二侧面板固定设置在所述上面板与下面板之间，且均垂直于所述上面板和下面板，所述后面板与所述第一侧面板相连，所述第二侧面板与所述后面板相连，且所述第一侧面板与所述第二侧面板平行，所述门的一侧边与所述第一侧面板铰链接，当所述门关闭时，所述门的另一侧边与所述第二侧面板吸合，且所述门平行于所述后面板。
6.如权利要求5所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述第一侧面板和第二侧面板的内壁上设有第一L型导轨。
7.如权利要求6所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述存放单元内设有第一支撑杆和第二支撑杆，所述第一支撑杆和第二支撑杆均垂直设置在所述上面板与所述下面板之间，所述第一支撑杆和第二支撑杆的一端与所述上面板连接，所述第一支撑杆和第二支撑杆的另一端与所述下面板连接，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆之间设有第二L型导轨。
8.如权利要求7所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述第一支撑杆到所述第一侧面板的距离等于所述第一支撑杆到所述第二侧面板的距离。
9.如权利要求7所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述第一L型导轨和第二L型导轨上均设有挡板。
10.如权利要求5所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述进气夹层包括第一夹层板和第二夹层板，所述第一夹层板和第二夹层板均平行于所述后面板，所述第一夹层板到所述后面板的距离小于所述第二夹层板到所述后面板的距离，在沿垂直于所述第一侧面板的方向上，所述第一夹层板的长度比所述第二夹层板的长度长，在所述第一夹层板和第二夹层板的两侧各形成一斜缝隙。
11.如权利要求5所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述门上设有透视窗口和把手。
12.如权利要求1或2所述的光罩盒存放柜，其特征在于，所述光罩盒存放柜还包括设置于所述柜体外的第三流量控制阀，所述排气管还设有出口端，所述出口端与所述第三流量控制阀连接。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Owner name: SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (BEIJING Free format text: FORMER OWNER: SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (SHANGHAI) CORPORATION Effective date: 20130422 |
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| COR | Change of bibliographic data |
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| TR01 | Transfer of patent right |
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| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20120620 |