CN202265607U - 电阻化学气相沉积炉引电极密封装置 - Google Patents
电阻化学气相沉积炉引电极密封装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202265607U CN202265607U CN2011204076656U CN201120407665U CN202265607U CN 202265607 U CN202265607 U CN 202265607U CN 2011204076656 U CN2011204076656 U CN 2011204076656U CN 201120407665 U CN201120407665 U CN 201120407665U CN 202265607 U CN202265607 U CN 202265607U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- insulation covering
- ring
- sealing
- vapor deposition
- chemical vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，包括安装在引电极上的上绝缘套和位于上绝缘套下方的下绝缘套，所述上绝缘套和下绝缘套均位于炉底盘和引电极之间，所述上绝缘套和下绝缘套之间设置有绝缘环，所述上绝缘套和绝缘环之间设置有密封圈一，所述下绝缘套和绝缘环之间设置有密封圈二，所述上绝缘套和密封圈一之间设置有防护套。该电阻化学气相沉积炉引电极密封装置的结构简单，高温时的密封效果显著提高，延长了使用寿命，便于推广应用。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种密封装置，特别是涉及一种电阻化学气相沉积炉引电极密封装置。
背景技术
电阻式化学气相沉积炉是制备炭/炭复合材料的主要装备之一。中国实用新型专利ZL200620079416.8公开了一种电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，在引电体与炉底盘之间装置上、下绝缘套和绝缘环，在上绝缘套与绝缘环之间及绝缘环与下绝缘套之间装置两道密封圈，通常情况下，该装置密封效果良好。但由于其使用在高温设备上，设备在反复升温过程中，上绝缘套易开裂，导致密封圈失效，严重影响密封效果。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述现有技术中的不足，提供一种电阻化学气相沉积炉引电极密封装置。该密封装置的结构简单，高温时的密封效果显著提高，延长了使用寿命，便于推广应用。
为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，包括安装在引电极上的上绝缘套和位于上绝缘套下方的下绝缘套，所述上绝缘套和下绝缘套均位于炉底盘和引电极之间，所述上绝缘套和下绝缘套之间设置有绝缘环，所述上绝缘套和绝缘环之间设置有密封圈一，所述下绝缘套和绝缘环之间设置有密封圈二，其特征在于：所述上绝缘套和密封圈一之间设置有防护套。
上述的电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，其特征在于：所述引电极上位于下绝缘套的下方设置有紧固下绝缘套的锁紧螺母。
上述的电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，其特征在于：所述上绝缘套和下绝缘套均为由夹布胶木制成的绝缘套。
上述的电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，其特征在于：所述密封圈一和密封圈二均为硅橡胶密封圈。
上述的电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，其特征在于：所述锁紧螺母为紫铜锁紧螺母。
本实用新型与现有技术相比具有以下优点：
1、本实用新型的结构简单，设计新颖合理，易于安装。
2、本实用新型通过在上绝缘套和密封圈一之间设置防护套，使密封圈一处于温度相对较低的区域，有效提高密封圈一使用寿命，上绝缘套一旦出现裂纹后无法延伸至密封圈一处，防止密封圈一在高温下未压紧而出现影响密封效果的情况，明显的提高了该密封装置的使用寿命。
3、本实用新型的实现成本低，使用效果好，便于推广使用。
综上所述，本实用新型结构简单，易于安装，设计新颖合理，工作可靠性高，使用寿命长，高温时的密封效果显著提高，便于推广应用。
下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图。
附图标记说明：
1-引电极； 2-锁紧螺母；3-下绝缘套；
4-炉底盘； 5-上绝缘套；6-防护套；
7-密封圈一；8-绝缘环； 9-密封圈二。
具体实施方式
如图1所示的一种电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，包括安装在引电极1上的上绝缘套5和位于上绝缘套5下方的下绝缘套3，所述引电极1穿过炉底盘4，所述上绝缘套5和下绝缘套3均位于炉底盘4和引电极1之间，所述上绝缘套5和下绝缘套3之间设置有绝缘环8，所述上绝缘套5和绝缘环8之间设置有密封圈一7，密封圈一7起第一重密封作用，所述下绝缘套3和绝缘环8之间设置有密封圈二9，密封圈二9第二重密封作用，所述上绝缘套5和密封圈一7之间设置有防护套6。该电阻化学气相沉积炉引电极密封装置通过在上绝缘套5和密封圈一7之间设置防护套6，使密封圈一7处于温度相对较低的区域，有效提高密封圈一7使用寿命，上绝缘套5一旦出现裂纹后无法延伸至密封圈一7处，防止密封圈一7在高温下未压紧而出现影响密封效果的情况，明显的提高了该密封装置的使用寿命。
如图1所示，所述引电极1上位于下绝缘套3的下方设置有紧固下绝缘套3的锁紧螺母2。所述上绝缘套5和下绝缘套3均为由夹布胶木制成的绝缘套。所述密封圈一7和密封圈二9均为硅橡胶密封圈。所述锁紧螺母2为紫铜锁紧螺母。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型作任何限制，凡是根据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变换，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。
Claims (5)
1.电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，包括安装在引电极(1)上的上绝缘套(5)和位于上绝缘套(5)下方的下绝缘套(3)，所述上绝缘套(5)和下绝缘套(3)均位于炉底盘(4)和引电极(1)之间，所述上绝缘套(5)和下绝缘套(3)之间设置有绝缘环(8)，所述上绝缘套(5)和绝缘环(8)之间设置有密封圈一(7)，所述下绝缘套(3)和绝缘环(8)之间设置有密封圈二(9)，其特征在于：所述上绝缘套(5)和密封圈一(7)之间设置有防护套(6)。
2.根据权利要求1所述的电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，其特征在于：所述引电极(1)上位于下绝缘套(3)的下方设置有紧固下绝缘套(3)的锁紧螺母(2)。
3.根据权利要求1或2所述的电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，其特征在于：所述上绝缘套(5)和下绝缘套(3)均为由夹布胶木制成的绝缘套。
4.根据权利要求1或2所述的电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，其特征在于：所述密封圈一(7)和密封圈二(9)均为硅橡胶密封圈。
5.根据权利要求2所述的电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，其特征在于：所述锁紧螺母(2)为紫铜锁紧螺母。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011204076656U CN202265607U (zh) | 2011-10-24 | 2011-10-24 | 电阻化学气相沉积炉引电极密封装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011204076656U CN202265607U (zh) | 2011-10-24 | 2011-10-24 | 电阻化学气相沉积炉引电极密封装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202265607U true CN202265607U (zh) | 2012-06-06 |
Family
ID=46156414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011204076656U Expired - Lifetime CN202265607U (zh) | 2011-10-24 | 2011-10-24 | 电阻化学气相沉积炉引电极密封装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202265607U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111740372A (zh) * | 2020-07-11 | 2020-10-02 | 肖备 | 一种特高压避雷器 |
-
2011
- 2011-10-24 CN CN2011204076656U patent/CN202265607U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111740372A (zh) * | 2020-07-11 | 2020-10-02 | 肖备 | 一种特高压避雷器 |
| CN111740372B (zh) * | 2020-07-11 | 2021-08-06 | 恒大电气有限公司 | 一种特高压避雷器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2011062457A3 (ko) | 유기-무기 하이브리드 태양전지 및 그 제조방법 | |
| CN202265607U (zh) | 电阻化学气相沉积炉引电极密封装置 | |
| MX2016003460A (es) | Tubo calentable. | |
| CN203247225U (zh) | 一种看火孔盖 | |
| CN203278167U (zh) | 一种新型加强型绝缘封帽 | |
| CN203209183U (zh) | 一种电捕焦油器用绝缘子装置 | |
| CN200940159Y (zh) | 电阻化学气相沉积炉引电极的密封装置 | |
| CN103377803A (zh) | 多功能变压器油箱 | |
| CN202267378U (zh) | 电阻炉引电极防热绝缘装置 | |
| CN205938353U (zh) | 一种蒸汽管隔热弹簧支座 | |
| CN203248238U (zh) | 用于发动机的垫片及发动机 | |
| CN202487557U (zh) | 一种功率二极管的安装结构 | |
| CN204942879U (zh) | 钢塑转换连接结构 | |
| CN202917268U (zh) | 可调式绝缘子避雷器 | |
| CN202218096U (zh) | 高压电动机的轴承绝缘结构 | |
| CN201315280Y (zh) | 一种真空断路器固封极柱 | |
| CN103615891B (zh) | 一种真空气氛高压碳板炉 | |
| CN202930649U (zh) | 一种氧传感器线束连接器 | |
| CN203273944U (zh) | 点火针组件 | |
| CN203605711U (zh) | 一种真空气氛高压碳板炉 | |
| CN201577250U (zh) | 一种防雨水防护罩 | |
| CN205911094U (zh) | 一种密封绝缘套管 | |
| CN202258572U (zh) | 一种绝缘结构 | |
| CN205354939U (zh) | 闸刀开关的新型耐热结构 | |
| CN203039315U (zh) | 一种耐张线夹 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20120606 |
|
| CX01 | Expiry of patent term |