CN202231301U - 谐振腔装置及激光器 - Google Patents

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张广水
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Abstract

本实用新型提供一种谐振腔装置及激光器。谐振腔装置,包括全反射镜和耦合输出镜,所述全反射镜位于所述耦合输出镜的一侧,所述耦合输出镜的内端面为平面结构,外端面为凸面结构。通过将耦合输出镜设置为具有一定焦距的薄凸透镜结构,平凹谐振腔耦合振荡输出的激光束透过薄凸透镜结构进行聚焦,从而减小激光束在长距离传输过程中的发散趋势,确保激光束为一近似平行光传输,避免了激光束聚焦光斑随传输距离增大而发生变化,使工件的热处理效果更加均匀,实现提高了工件的激光加工质量。

Description

谐振腔装置及激光器
技术领域
本实用新型涉及光电设备,尤其涉及一种谐振腔装置及激光器。
背景技术
随着激光加工在金属、非金属切割、焊接和表面热处理等领域的广泛应用,激光束的传输、整形等课题逐渐受到人们重视,如何得到能量集中或均匀分布的聚焦光斑、如何保证加工过程中光束的聚焦光斑大小恒定以保证加工效果一致,这些都是亟待解决的问题。激光器输出的激光由谐振腔装置产生,现有技术中的谐振腔装置包括全反射镜和耦合输出镜,全反射镜位于耦合输出镜的一侧,耦合输出镜通常采用双平镜或平凹镜。激光器输出的激光光斑将随着传输距离的增大而逐渐发散,使激光聚焦光斑大小和位置发生变化,工件的热处理效果参差不齐,导致工件的激光加工质量较差。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种谐振腔装置及激光器,解决现有技术中的激光加工工件的质量较差的缺陷,实现提高激光器加工工件的质量。
本实用新型提供的技术方案是,一种谐振腔装置,包括全反射镜和耦合输出镜,所述全反射镜位于所述耦合输出镜的一侧,所述耦合输出镜的内端面为平面结构,外端面为凸面结构。
本实用新型提供的谐振腔装置,通过将耦合输出镜的内端面设置为平面结构,外端面设置为凸面结构,谐振腔耦合输出的激光束透过薄凸透镜结构进行聚焦,从而减小激光束在长距离传输过程中光束发散过大,确保激光束为一近似平行光传输,避免激光聚焦光斑的大小和位置随传输距离而发生变化,使工件的热处理效果更加均匀,实现提高了工件的激光加工质量。
如上所述的谐振腔装置,所述耦合输出镜的凸面结构的曲率半径不小于5米。
如上所述的谐振腔装置,所述全反射镜的内表面为球面并镀有增反膜。
如上所述的谐振腔装置,所述全反射镜的内表面为球面并镀有增反膜,所述耦合输出镜的内端面为平面并镀有部分増反膜,所述耦合输出镜的外端面为凸面并镀有增透膜。
如上所述的谐振腔装置,其特征在于,所述全反射镜与所述耦合输出镜共同组成的谐振腔结构的腔长为1米~10米。
本实用新型提供的技术方案是,一种激光器,包括激光器主体,还包括如上所述的谐振腔装置,所述谐振腔装置固设在所述激光器主体中。
本实用新型提供的激光器,通过将耦合输出镜的内端面设置为平面结构,外端面设置为凸面结构,谐振腔耦合输出的激光束透过薄凸透镜结构进行聚焦,从而减小激光束在长距离传输过程中光束发散过大,确保激光束为一近似平行光传输,避免激光聚焦光斑的大小和位置随传输距离而发生变化,使工件的热处理效果更加均匀,实现提高了工件的激光加工质量。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型谐振腔装置实施例的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
图1为本实用新型谐振腔装置实施例的结构示意图。如图1所示,本实施例谐振腔装置,包括全反射镜1和耦合输出镜2,耦合输出镜2的内端面为平面结构21,外端面为凸面结构22。
具体而言,本实施例谐振腔装置中的耦合输出镜2采用平凸结构,即耦合输出镜2的内端面为平面结构21,外端面为凸面结构22,其中,平面结构21朝向全反射镜1,本实施例谐振腔装置耦合输出光束具有较大的发散角,通过凸面结构22进行聚焦变换,从而使从本实施例谐振腔装置中输出的激光能够近似于平行光输出,减少激光因长距离传输而出现光束发散的现象。其中,本实施例中的凸面结构22的曲率半径可以不小于5米。本实施例中的全反射镜1的内表面11可以为球面并镀有增反膜(未图示),全反射镜1的内表面11的曲率半径可以为5米~50米。另外,本实施例中的全反射镜1与耦合输出镜2组成的谐振腔装置的腔长距离可以为1米~10米。
本实施例谐振腔装置,通过将耦合输出镜的内端面设置为平面结构,外端面设置为凸面结构,谐振腔装置耦合输出光束具有较大的发散角,通过凸面结构进行聚焦变换,从而减小激光束在长距离传输过程中光束发散过大,确保激光束为一近似平行光传输,避免激光聚焦光斑的大小和位置随传输距离而发生变化,使工件的热处理效果更加均匀,实现提高了工件的激光加工质量。
本实用新型还提供一种激光器,包括激光器主体,还包括谐振腔装置,谐振腔装置固设在激光器主体中。
具体而言,本实施例激光器中的谐振腔装置可以采用本实用新型谐振腔装置实施例激光器中的谐振腔装置,其具体结构可以参见本实用新型谐振腔装置实施例以及图1的记载,在此不再赘述。
本实施例激光器,通过将耦合输出镜的内端面设置为平面结构,外端面设置为凸面结构,谐振腔装置耦合输出光束透过薄凸透镜结构进行聚焦,从而减小激光束在长距离传输过程中光束发散过大,确保激光束为一近似平行光从谐振腔装置中输出,避免激光聚焦光斑的大小和位置随传输距离而发生变化,使工件的热处理效果更加均匀,实现提高了工件的激光加工质量。
最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (6)

1.一种谐振腔装置,包括全反射镜和耦合输出镜,所述全反射镜位于所述耦合输出镜的一侧,其特征在于,所述耦合输出镜的内端面为平面结构,外端面为凸面结构。
2.根据权利要求1所述的谐振腔装置,其特征在于,所述耦合输出镜的凸面结构的曲率半径不小于5米。
3.根据权利要求1所述的谐振腔装置,其特征在于,所述全反射镜的内表面为球面并镀有增反膜,所述耦合输出镜的内端面为平面并镀有部分増反膜,所述耦合输出镜的外端面为凸面并镀有增透膜。
4.根据权利要求1所述的谐振腔装置,其特征在于,所述全反射镜的内表面的曲率半径为5米~50米。
5.根据权利要求1所述的谐振腔装置,其特征在于,所述全反射镜与所述耦合输出镜共同组成的谐振腔结构的腔长为1米~10米。
6.一种激光器,包括激光器主体,其特征在于,还包括如权利要求1-5任一所述的谐振腔装置,所述谐振腔装置固设在所述激光器主体中。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107589084A (zh) * 2017-08-15 2018-01-16 中国科学院合肥物质科学研究院 一种基于自会聚镜片的离轴积分腔吸收光谱气体探测装置

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