CN202226909U - 真空镀膜装载装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空镀膜装载装置，包括调速电机、底盘、悬吊梁、顶盘和支承轴，所述底盘一侧轴心处连接调速电机输出轴端，所述底盘另一侧设有顶盘，顶盘与底盘相对设置，底盘和顶盘上分别设有一一对应的孔，底盘和顶盘上对应的孔内设有悬吊梁；所述顶盘与底盘之间设有支承轴。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空镀膜辅助设备技术领域，尤其是一种真空镀膜装载装置。
背景技术
Parylene真空镀膜的基本工艺为白色颗粒或粉末状parylene(聚对二甲苯基)材料在蒸发室被加热到摄氏150-180度，直接升华为无色二聚体分子，进入裂解室被加热到摄氏650-700度后产生裂解反应生成单分子状态的对二甲基苯，然后高温气态的对二甲基苯在压差作用下进入沉积室，在室温条件下，对二甲苯基开始重新键结成为高分子形态的聚对二甲苯并附着与被涂产品及腔体的全部裸露表面上。
涂覆产品时，其沉积腔室多采用立式结构，将某些产品(PCB板等)利用挂钩悬吊在腔室内的支撑架上，涂覆后，除吊点外的其他部分因充分暴露于充满parylene(聚对二甲苯基)单体分子的空间中而形成完整均匀的镀膜；吊点处成为镀膜盲点，但因该盲点多位于没有保护必要的产品边缘处，所以此种方式尚能满足产品的镀膜保护需求。
但针对另一类环状、管状产品，比如环形线圈、铁氧体环形磁芯等成同心圆结构的器件，因无特殊的抓点、吊点，故无法用钩挂的方式实现无盲点的吊装涂覆。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种真空镀膜装载装置，解决了现有技术的上述不足。
为了达到上述设计目的，本实用新型采用的技术方案如下：
一种真空镀膜装载装置，包括调速电机、底盘、悬吊梁、顶盘和支承轴，所述底盘一侧轴心处连接调速电机输出轴端，所述底盘另一侧设有顶盘，顶盘与底盘相对设置，底盘和顶盘上分别设有一一对应的孔，底盘和顶盘上对应的孔内设有悬吊梁；所述顶盘与底盘之间设有支承轴。
所述支承轴两端分别固定在顶盘与底盘轴心处。
所述调速电机输出轴端穿套在底盘的轴心处，且固定支承轴一端。
所述悬吊梁两端分别插入底盘和顶盘上对应的孔内。
所述悬吊梁一端螺纹固定在顶盘的孔内。
本实用新型所述的真空镀膜装载装置的有益效果是：环状物内径内各点暴露时间一致，即内壁各点涂覆厚度均匀一致，与外壁差别可忽略不计；调速电机可控制转盘缓慢旋转，使悬吊梁在产品内壁相对移动时，无滑动摩擦产生，不损害产品内壁，使各点涂覆均匀。
附图说明
图1为本实用新型实施例所述的真空镀膜装载装置的示意图；
图2为本实用新型实施例所述的真空镀膜装载装置的侧视图；
图3为本实用新型实施例所述的真空镀膜装载装置的局部示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的最佳实施方案作进一步的详细的描述。
如图1-3所示，本实用新型实施例所述的真空镀膜装载装置，包括调速电机1、底盘2、悬吊梁3、顶盘4和支承轴6，所述底盘2以不锈钢、合金或高强非金属材料制成的具有一定厚度、直径的圆盘，竖直使用，底盘2一侧轴心连接调速电机1输出轴端，所述底盘2另一侧设有顶盘4，顶盘4与底盘2相对设置，底盘2和顶盘4上分别设有一一对应的孔5，底盘2和顶盘4上对应的孔5内设有悬吊梁3；所述顶盘4与底盘2之间设有支承轴6，支承轴6两端分别固定在顶盘4与底盘2轴心处。
所述调速电机1输出轴端穿套在底盘2的轴心处，且固定支承轴6一端。
所述悬吊梁3两端分别插入底盘2和顶盘4上对应的孔5内；所述悬吊梁3一端螺纹固定在顶盘4的孔5内，悬吊梁3另一端插套在与所述顶盘4的孔5对应底盘2上的孔5内。
所述悬吊梁3以不锈钢、合金或高强非金属材料制成的截面为标准圆形的细长圆杆，悬吊梁有各种尺寸直径，但长度均与支撑轴6等长。
所述顶盘4与底盘2材质相同，钻有与底盘2相同的孔5；与底盘2相配装于悬吊梁3组两端，将其支撑、固定成为一个整体。使其在电机带动下流畅旋转。
原理：利用被涂产品的重力作用与环内悬吊梁3的向心公转运动相结合，使悬吊梁3与环状物内壁产生相对运动，形成环状物在悬吊梁上匀速滚动的效果。
所述的Parylene(聚对二甲苯基)真空镀膜装载装置使用时：
1选择悬吊梁3，为实现相对移动效应，使用时要求悬吊梁3外径均小于圆环内径，故依每次所涂圆环不同，所选择的的悬吊梁3也可能不同。
2在底盘2上对应的孔5中插入或旋入悬吊梁3，组成悬吊梁组(各悬吊梁外径不一定相同)。
3将所涂产品(线圈、磁环等)陆续串入悬吊梁3，然后在顶端装上与底盘2结构一致的顶盘4，用于固定各悬吊梁3。
4试验前，将该装载机构横置，即底盘2、顶盘4呈竖直状态，盘上套有产品的各悬吊梁3呈水平状态，装入卧式沉积室内，底盘2固定于电机转盘上。
5试验时，可调速电机1带动底盘2，从而带动整个装载机构缓慢匀速旋转，使圆环在悬吊梁3上相对滚动，产品各点均匀暴露在涂覆环境中，实现了镀膜的一致性。
本具体实施方式只本实用新型的优选实施例，并不能对本实用新型进行限定，具体各项权利保护范围由权利要求书限定。
Claims (5)
1.一种真空镀膜装载装置，其特征在于：包括调速电机、底盘、悬吊梁、顶盘和支承轴，所述底盘一侧轴心处连接调速电机输出轴端，所述底盘另一侧设有顶盘，顶盘与底盘相对设置，底盘和顶盘上分别设有一一对应的孔，底盘和顶盘上对应的孔内设有悬吊梁；所述顶盘与底盘之间设有支承轴。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜装载装置，其特征在于：所述支承轴两端分别固定在顶盘与底盘轴心处。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜装载装置，其特征在于：所述调速电机输出轴端穿套在底盘的轴心处，且固定支承轴一端。
4.根据权利要求1或2或3所述的真空镀膜装载装置，其特征在于：所述悬吊梁两端分别插入底盘和顶盘上对应的孔内。
5.根据权利要求1或2或3所述的真空镀膜装载装置，其特征在于：所述悬吊梁一端螺纹固定在顶盘的孔内。
Priority Applications (1)
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| CN201120299261XU CN202226909U (zh) | 2011-08-17 | 2011-08-17 | 真空镀膜装载装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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| CN202226909U true CN202226909U (zh) | 2012-05-23 |
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| CN (1) | CN202226909U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112342518A (zh) * | 2020-10-21 | 2021-02-09 | 派珂纳米科技(苏州)有限公司 | 一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机 |
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2011
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| CN112342518A (zh) * | 2020-10-21 | 2021-02-09 | 派珂纳米科技(苏州)有限公司 | 一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机 |
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