CN202220216U - 坩埚手动装置及采用坩埚手动装置的单晶炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种坩埚手动装置及采用坩埚手动装置的单晶炉,坩埚手动装置包括手轮、手轮支架、手轮轴、轴承、轴承座、传动部件、减速机和输出装置,手轮安装于手轮轴的一端,手轮轴另一端上固定安装轴承,轴承安装于轴承座内,轴承座安装于手轮支架上;传动部件包括主动同步带轮、同步带、从动同步带轮、主动同步带轮通过键配合安装在手轮轴上,从动同步带轮安装在减速机上,同步带连接主动同步带轮和从动同步带轮;本实用新型的有益效果在于:在单晶炉拉晶过程中,采用单晶炉的坩埚手动装置,降低了生产成本;通过传动部件,方便操作,彻底解决了原技术作业产生的晶棒未及时脱离而结晶的现象,便于维修。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种单晶硅生产设备技术领域,特别涉及一种坩埚手动装置及采用坩埚手动装置的单晶炉。
背景技术
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
在硅单晶拉制过程中,遇突然断电时,需手动操作使坩埚下降,防止坩埚内硅液与晶棒接触,带来更大的损失,现有技术中常见的坩埚手动装置,都是将手轮直接安装在减速机上,而减速机位于炉体的下部,因此操作不方便,同时操作也不灵活,且维修复杂。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术中的一些技术问题,提供一种控制和执行动作准确、灵敏、可靠性高、且容易维修的坩埚手动装置。
还有必要提供一种采用坩埚手动装置的单晶炉。
为解决上述技术问题,本实用新型提供了如下技术方案:坩埚手动装置包括手轮、手轮支架、手轮轴、轴承、轴承座、传动部件、减速机和输出装置,手轮安装于手轮轴的一端,手轮轴另一端上固定安装轴承,轴承安装于轴承座内,轴承座安装于手轮支架上;传动部件包括主动同步带轮、同步带、从动同步带轮、主动同步带轮通过键配合安装在手轮轴上,从动同步带轮安 装在减速机上,同步带连接主动同步带轮和从动同步带轮。
本实用新型的有益效果在于:在单晶炉拉晶过程中,采用坩埚手动装置,降低了生产成本;通过传动部件,方便操作,彻底解决了原技术作业产生的晶棒未及时脱离而结晶的现象,且维修方便。
附图说明:
图1是本实用新型坩埚手动装置及采用坩埚手动装置的单晶炉前视图;
图2是本实用新型坩埚手动装置及采用坩埚手动装置的单晶炉右视图。
图中:
坩埚手动装置10、手轮1、手轮支架2、手轮轴3、轴承4、轴承座5、传动部件6、主动同步带轮61、同步带62、从动同步带轮63、减速机7、输出装置8
具体实施方式:
本实用新型在单晶炉上设置坩埚手动装置,请参看图1、图2,坩埚手动装置10包括手轮1、手轮支架2、手轮轴3、轴承4、轴承座5、传动部件6、减速机7和输出装置8,手轮1安装于手轮轴3的一端,手轮轴3另一端上固定安装轴承4,轴承4安装于轴承座5内,轴承座5安装于手轮支架2上;传动部件6包括主动同步带轮61、同步带62和从动同步带轮63、主动同步带轮61通过键配合安装在手轮轴3上,从动同步带轮63安装在减速机7上,同步带62连接主动同步带轮61和从动同步带轮63。
以下描述坩埚手动装置10的工作过程:工人转动手轮1,带动主动同步带轮61转动,从而带动从动同步带轮63转动,进一步带动减速机7工作,减速机7带动输出装置8移动,从而将安装于输出装置8上的坩埚移动。
Claims (1)
1.一种坩埚手动装置及采用坩埚手动装置的单晶炉,其特征在于:坩埚手动装置包括手轮、手轮支架、手轮轴、轴承、轴承座、传动部件、减速机和输出装置,手轮安装于手轮轴的一端,手轮轴另一端上固定安装轴承,轴承安装于轴承座内,轴承座安装于手轮支架上;传动部件包括主动同步带轮、同步带、从动同步带轮、主动同步带轮通过键配合安装在手轮轴上,从动同步带轮安装在减速机上,同步带连接主动同步带轮和从动同步带轮。
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CN2011202783597U CN202220216U (zh) | 2011-08-02 | 2011-08-02 | 坩埚手动装置及采用坩埚手动装置的单晶炉 |
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CN2011202783597U Expired - Lifetime CN202220216U (zh) | 2011-08-02 | 2011-08-02 | 坩埚手动装置及采用坩埚手动装置的单晶炉 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107762329A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-06 | 深圳市门老爷科技有限公司 | 一种超重型平滑自动门和重型塞拉自动门的手动启闭机构 |
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2011
- 2011-08-02 CN CN2011202783597U patent/CN202220216U/zh not_active Expired - Lifetime
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GR01 | Patent grant | ||
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