CN202202017U - 一种直拉单晶直脚石墨加热器 - Google Patents

一种直拉单晶直脚石墨加热器 Download PDF

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詹国彬
黄建明
朱心怡
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Shanghai Toyo Tanso Co Ltd
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Shanghai Toyo Tanso Co Ltd
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Abstract

本实用新型一种直拉单晶直脚石墨加热器,包括:圆形鸟笼状石墨加热装置,圆形壁上开有槽;以及支脚;其特征在于:所述支脚为圆形鸟笼状结构侧壁向下延伸形成的支脚。本实用新型直脚石墨加热器的设计,有效的提高了材料的利用率,同时增加了石墨加热器的强度,延长了石墨加热器寿命。

Description

一种直拉单晶直脚石墨加热器
技术领域
    本实用新型涉及石墨加热器技术领域,特别是涉及一种适用于所有型号直拉单晶炉用的石墨加热器。
背景技术
随着绿色能源、可再生能源的发展,太阳能成为绿色、可再生能源的主流。世界大多数国家踊跃参与以至在全球范围掀起了太阳能开发利用的“绿色能源热”,一个广泛的大规模的利用太阳能的时代正在来临,太阳能级单晶硅产品也将因此炙手可热。硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。生产单晶硅的设备单晶炉的需求也是与日俱增,需求量巨大。石墨加热器是单晶炉的加热器装置,石墨加热器采用等静压石墨电热体,具有耐高温、容易加工,价格比钨、钼、钽便宜的优点。
石墨加热器的电阻率虽比纯金属高,但是出于强度方面考虑,截面积作的不能太小,故整个石墨加热器的电阻很小,所以采用低电压,大电流的加热方式。石墨的性能差别很大,而总的电阻值又很小,因此常将石墨加热器进行再加工,以达到电阻要求。
由于加热器采用大电流,低电压,电流密度大,因此需要采用开槽的方法既满足电阻的要求,同时满足强度和过载能力。通常石墨加热器为鸟笼状,侧面进行开槽,根据材料的电阻率进行计算得出合适的外径和开槽数量、槽宽,从而使电阻满足要求。石墨加热器的固定支撑是通过下面的两个支脚,如图1所示。两个支脚沿加热器壁向下延伸,并弯折成水平状,水平部分开有一个或多个固定孔。这种支脚浪费材料,同时弯折部分容易破损,减少加热器寿命。
发明内容
本实用新型的目的在于改进现有石墨加热器的支脚结构,提高石墨材料的利用率,同时增加石墨加热器的强度。
本实用新型一种直拉单晶直脚石墨加热器,包括:圆形鸟笼状石墨加热装置,圆形壁上开有槽;以及支脚;其特征在于:所述支脚为圆形鸟笼状结构侧壁向下延伸形成的支脚。
其中,所述支脚外侧面及内侧面均加工出平面。
其中,所述圆形壁上的开槽为偶数个,槽宽6-12mm。
其中,所述支脚的宽度小于同侧开槽面的两个槽之间距离。
其中,所述支脚上开有一个或多个固定孔。
其中,所述加热器支脚可以为2个或4个。
本实用新型直脚石墨加热器的设计,有效的提高了材料的利用率,同时增加了石墨加热器的强度,延长了石墨加热器寿命。
附图说明
图1为现有石墨加热器结构示意图;
图2为本实用新型石墨加热器结构示意图;
图3为本实用新型石墨加热器A-A剖视图;
图4为本实用新型石墨加热器局部放大示意图。
具体实施方式
如图2-4所示,本实用新型石墨加热器包括石墨加热装置1,为圆形鸟笼状结构,圆形壁上开槽2。槽2为偶数个,槽宽6-12mm。还包括支脚5,支脚5为圆形鸟笼状结构侧壁向下延伸形成,没有弯折部分,不容易损坏。支脚5外侧面及内侧面均加工出平面4,平面度0.1mm,粗糙度Ra3.2μm以内,增加安装时接触的紧密性,从而避免接触不良造成的异常放电现象,从而降低了加热器脚部的损坏可能,提高加热器的寿命。支脚5的宽度小于同侧开槽面的两个槽之间距离,且开有一个或多个固定孔3。支脚5可以为2个或4个。
本说明书中所述的只是本发明的较佳具体实施例,以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明的限制。凡本领域技术人员依本发明的构思通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案,皆应在本发明的范围之内。

Claims (6)

1.一种直拉单晶直脚石墨加热器,包括:圆形鸟笼状石墨加热装置,圆形壁上开有槽;以及支脚;其特征在于:所述支脚为圆形鸟笼状结构侧壁向下延伸形成的支脚。
2.如权利要求1所述石墨加热器,其特征在于所述支脚外侧面及内侧面均加工出平面。
3.如权利要求1所述石墨加热器,其特征在于所述圆形壁上的开槽为偶数个,槽宽6-12mm。
4.如权利要求1所述石墨加热器,其特征在于所述支脚的宽度小于同侧开槽面的两个槽之间距离。
5.如权利要求1所述石墨加热器,其特征在于所述支脚上开有一个或多个固定孔。
6.如权利要求1所述石墨加热器,其特征在于所述加热器支脚可以为2个或4个。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104178803A (zh) * 2014-09-04 2014-12-03 南京晶升能源设备有限公司 用于蓝宝石单晶炉的变径钨杆加热器

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