CN202189757U - 一种硅片的粘接设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片的粘接设备，该粘接设备包括粘接平台、在粘接平台上设置有位于同一水平面上的加热台和加压台，在加压台的上端设置有由气缸以与固定在气缸杆下端的压盘构成的施压装置，加热台包括隔热板、设置在隔热板上的加热板以及设置在加热板上端的台板构成，在粘接平台上还设置有由手柄、推板和导轨构成的推送装置，推板设置在加热台的侧端，导轨设置在加热台的两侧，推板和手柄为可拆卸式连接，推板设置在加热台上并可在导轨上滑动，推动手柄可将加热台上的硅片盘移动到加压台上。该粘接台利用推板将加热后的载片盘和硅片沿导轨推至加压台，避免了人工直接对晶片的接触和搬运，能够减少对硅片的损伤。
Description
技术领域
本实用新型涉硅片加工设备，具体涉及一种硅片的粘接设备。
背景技术
在太阳能硅片加工行业，大多硅片制造厂商对硅片蜡粘接流程是用加热和加压粘接两个工作台来进行的：涂蜡的硅片盘在加热台被加热后，将硅片轻附于软化的蜡上，然后用人工将其转移至加压台进行冷却加压，最后将硅片牢牢粘在载物盘上，操作工序繁锁，硅片在两个工作台搬运转移的过程中，极易遭到损伤。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供一种方便、简单、易于操作、能够减少对硅片损伤的硅片粘接设备。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案是设计一种硅片的粘接设备，其特征在于，所述粘接设备包括粘接平台、在所述粘接平台上设置有位于同一水平面上的加热台和加压台，在所述加压台的上端设置有由气缸以与固定在气缸杆下端的压盘构成的施压装置，所述的加热台包括隔热板、设置在隔热板上的加热板以及设置在加热板上端的台板构成，在所述粘接平台上还设置有由手柄、推板和导轨构成的推送装置，所述的推板设置在加热台的侧端，导轨设置在加热台的两侧，推板和手柄为可拆卸式连接，推板设置在加热台上并可在导轨上滑动，推动手柄可将加热台上的硅片盘移动到加压台上。
作为优选的技术方案，在所述加压台上设置有用于固定硅片盘位置的限位销钉。
作为优选的技术方案，所述加热板为电加热版。
本实用新型的优点和有益效果在于：在硅片加工的多个工艺流程中，都需要进行硅片的粘接环节，本实用新型粘接台利用推板将加热后的载片盘和硅片沿导轨推至加压台，避免了人工直接对晶片的接触和搬运，能够减少对硅片的损伤。本实用新型易于操作，并可有益提高工作效率。
附图说明
图1为本实用新型硅片的粘接设备的结构示意图；
图2为本实用新型硅片的粘接设备的俯视结构示意图；
图3为本实用新型硅片的粘接设备中硅片加热状态示意图；
图4为本实用新型硅片的粘接设备中硅片推送状态示意图；
图5为本实用新型硅片的粘接设备中硅片加压状态示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
如图1-5所示，本实用新型提供了一种集硅片的加热和加压为一体的粘接台。本实用新型粘接台主要由加热台3、加压台8、施压装置和载盘推送装置组成。如附图1、2所示，本实用新型加热台3由电热板10(不锈钢云母电加热板)、隔热板12和台板9组成；推送装置由手柄1、推板2和导轨11组成，加压台8上固定有两个限位销钉7，保证载片盘13的准确定位；施压装置由气缸4和固定在气缸杆5下端的压盘6组成。如附图3、4所示，使用本实用新型，将涂有固体蜡的载片盘13放置在加热台3上进行定时加热，达到一定温度，待蜡完全融化后，然后将各硅片14粘附在载片盘13相应的位置。操作手柄1通过推板2将载片盘13沿导轨11从加热台3上推至冷却加压台8，通过限位销钉7起到限位作用，如附图5所示，然后启动汽缸4通过压盘6向下施加一定的压力，将硅片14粘接在载片盘13上，完成操作过程。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (3)
1.一种硅片的粘接设备，其特征在于，所述粘接设备包括粘接平台、在所述粘接平台上设置有位于同一水平面上的加热台和加压台，在所述加压台的上端设置有由气缸以与固定在气缸杆下端的压盘构成的施压装置，所述的加热台包括隔热板、设置在隔热板上的加热板以及设置在加热板上端的台板构成，在所述粘接平台上还设置有由手柄、推板和导轨构成的推送装置，所述的推板设置在加热台的侧端，导轨设置在加热台的两侧，推板和手柄为可拆卸式连接，推板设置在加热台上并可在导轨上滑动，推动手柄可将加热台上的硅片盘移动到加压台上。
2.如权利要求1所述的硅片的粘接设备，其特征在于，在所述加压台上设置有用于固定硅片盘位置的限位销钉。
3.如权利要求1所述的硅片的粘接设备，其特征在于，所述加热板为电加热版。
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| CN 201120261378 CN202189757U (zh) | 2011-07-22 | 2011-07-22 | 一种硅片的粘接设备 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN202189757U true CN202189757U (zh) | 2012-04-11 |
Family
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Country Status (1)
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2011
- 2011-07-22 CN CN 201120261378 patent/CN202189757U/zh not_active Expired - Fee Related
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