CN202144891U - 防倒流装置及排气装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种防倒流装置，设于泵和反应腔之间的连接管内，所述防倒流装置包括一阀座体和若干单向阀，所述若干单向阀设置于阀座体上。本实用新型还公开了一种排气装置，用于对反应腔进行排气，包括泵和连接管，所述泵通过连接管和反应腔连接，还包括如上所述的防倒流装置，所述防倒流装置设于所述连接管内。本实用新型通过在连接管上设置防倒流装置，一方面，所述若干单向阀可以保证反应腔内的气体流入到泵中；另一方面，所述若干单向阀可以防止泵中的带颗粒物质的气体倒流到反应腔内，保证反应腔内的气体洁净度，确保工艺的稳定性，最终提高产品良率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种防倒流装置及排气装置。
背景技术
目前，在半导体生产中很多工艺需要在真空环境下进行，因此，所需的反应腔需要排气装置进行抽气以形成真空。
现有的排气装置通常包括泵和连接管，所述泵通过所述连接管和反应腔连接，所述泵不断抽取来自反应腔的气体，使得反应腔形成真空。
在使用过程中发现，正常工作情况下，所述泵不停地从所述反应腔中抽气并排放，一旦当泵出现故障，泵四周的空气会进入泵内，由于反应腔处于真空状态，因此，反应腔中的气体压力远低于泵中的气体压力，由此，泵中的气体会倒流到反应腔内。但是泵中气体夹带着很多颗粒物质，当带有大量颗粒物质的气体涌入反应腔后，会严重影响反应腔内气体的洁净度，这些被带入的颗粒物质会吸附到待反应的晶圆上，会影响产品质量，严重时就会导致大量产品报废。
由此可见，如何提供一种防止泵内的气体倒流到反应腔的防倒流装置及排气装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种防倒流装置及排气装置，可以防止泵中的带颗粒物质的气体倒流到反应腔内，保证反应腔内的气体洁净度，确保工艺的稳定性。
为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种防倒流装置，设于泵和反应腔之间的连接管内，所述防倒流装置包括一阀座体和若干单向阀，所述若干单向阀设置于所述阀座体上。
在上述的防倒流装置中，每个单向阀包括阀球和阀孔，所述阀孔设置于所述阀座体，所述阀孔是孔径由大至小渐变的通孔，所述阀孔的大开口端设有一镂空挡板，所述阀孔的大开口端和小开口端分别与所述泵和所述反应腔相对，所述阀球位于所述阀孔内，所述阀球的直径小于所述阀孔的小开口端的内径。
在上述的防倒流装置中，所述连接管横向设置，所述阀孔横向设置。
在上述的防倒流装置中，所述连接管竖向设置，所述阀孔竖向设置。
在上述的防倒流装置中，所述镂空挡板是一圆形板，所述圆形板上开有一中心孔和若干通气孔，所述若干通气孔环绕设置于所述中心孔的四周，所述中心孔的直径小于阀球的直径。
在上述的防倒流装置中，所述连接管包括第一连接分管和第二连接分管，所述第一连接分管和第二连接分管的相对端分别设有第一法兰和第二法兰，所述第一连接管和第二连接管的另一端分别与泵或反应腔连接。
在上述的防倒流装置中，所述防倒流装置还包括若干螺栓组件，所述阀座体的周向设有向外凸出的凸部，所述凸部上均匀设置有若干螺钉孔，所述凸部设于所述第一法兰和第二法兰之间，所述阀座体的一部分位于所述第一连接分管内，所述阀座体的另一部分位于所述第二连接分管内，所述第一法兰、所述凸部和第二法兰经所述若干螺栓组件连接。
在上述的防倒流装置中，所述若干单向阀均匀设置于所述阀座体上。
本实用新型还公开了一种排气装置，用于对反应腔进行排气，包括泵和连接管，所述泵通过连接管和反应腔连接，还包括如上所述的防倒流装置，所述防倒流装置设于所述连接管内。
本实用新型的有益效果如下：
本实用新型在连接管上设置防倒流装置，所述防倒流装置包括一阀座体和若干单向阀，所述若干单向阀设置于所述阀座体上。一方面，所述若干单向阀可以保证反应腔内的气体流入到泵中；另一方面，所述若干单向阀可以防止泵中的带颗粒物质的气体倒流到反应腔内，保证反应腔内的气体洁净度，确保工艺的稳定性，最终提高产品良率。
附图说明
本实用新型的防倒流装置及排气装置由以下的实施例及附图给出。
图1为本实用新型的排气装置及其防倒流装置的结构示意图；
图2为本实用新型的设有若干单向阀的阀座体的结构示意图；
图3为本实用新型的单个单向阀在气流正常流动时的结构示意图；
图4为本实用新型的单个单向阀在气流异常流动时的结构示意图；
图5为本实用新型的镂空挡板的结构示意图。
具体实施方式
以下将对本实用新型的防倒流装置及排气装置的作进一步的详细描述。
下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
请参阅图1至图5，其中，图1为本实用新型的排气装置及其防倒流装置的结构示意图；图2为本实用新型的设有若干单向阀的阀座体的结构示意图；图3为本实用新型的单个单向阀在气流正常流动时的结构示意图；图4为本实用新型的单个单向阀在气流异常流动时的结构示意图；图5为本实用新型的镂空挡板的结构示意图。
本实用新型实施例提供的排气装置，用于对反应腔(未图示)进行排气，包括泵(未图示)和连接管，所述泵通过连接管和反应腔连接，还包括防倒流装置，所述防倒流装置设于所述连接管内。所述防倒流装置包括一阀座体20和若干单向阀30，所述若干单向阀30设置于所述阀座体20上。
优选的，所述若干单向阀30均匀设置于所述阀座体20上，从而使得气流经过所述防倒流装置时更加均匀。
重点参考图3，本实施例中，每个单向阀30包括阀球32和阀孔31，所述阀孔31设置于所述阀座体20，所述阀孔31是孔径由大至小渐变的通孔，所述阀孔31的大开口端设有一镂空挡板33，所述阀孔31的大开口端和小开口端分别与所述泵和所述反应腔相对，所述阀球32位于所述阀孔31内，所述阀球32的直径小于所述阀孔31的小开口端的内径。
其中，所述连接管根据实际情况可以横向设置，所述阀孔31横向设置，或者，所述连接管也可以竖向设置，所述阀孔31竖向设置。本实施例中，所述连接管是竖向设置的，所述阀孔31竖向设置。
重点参考图5，所述镂空挡板33是一圆形板，所述圆形板上开有一中心孔331和若干通气孔332，所述若干通气孔332环绕设置于所述中心孔331的四周，所述中心孔331的直径小于阀球32的直径。所述镂空挡板33的作用是将阀球32挡在阀孔31内，防止阀球32脱离阀孔31。
如图1所示，本实施例中，所述连接管包括第一连接分管11和第二连接分管12，所述第一连接分管11和第二连接分管12的相对端分别设有第一法兰13和第二法兰14，所述第一连接管11和第二连接管12的另一端分别与泵或反应腔连接。所述防倒流装置还包括若干螺栓组件40。所述阀座体20的周向设有向外凸出的凸部21，所述凸部21上均匀设置有若干螺钉孔211，所述凸部21设于所述第一法兰13和第二法兰14之间，所述阀座体20的一部分位于所述第一连接分管11内，所述阀座体20的另一部分位于所述第二连接分管12内，所述若干螺栓组件40将所述第一法兰13、凸部21和第二法兰14依次连接，从而实现将所述防倒流装置设置于泵和反应腔之间的连接管中。
综上所述，本实用新型在连接管上设置防倒流装置，所述防倒流装置包括一阀座体和若干单向阀，所述若干单向阀设置于所述阀座体上。一方面，所述若干单向阀可以保证反应腔内的气体流入到泵中；另一方面，所述若干单向阀可以防止泵中的带颗粒物质的气体倒流到反应腔内，保证反应腔内的气体洁净度，确保工艺的稳定性，最终提高产品良率。
显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (9)
1.一种防倒流装置，设于泵和反应腔之间的连接管内，其特征在于，所述防倒流装置包括一阀座体和若干单向阀，所述若干单向阀设置于所述阀座体上。
2.根据权利要求1所述的防倒流装置，其特征在于，每个单向阀包括阀球和阀孔，所述阀孔设置于所述阀座体，所述阀孔是孔径由大至小渐变的通孔，所述阀孔的大开口端设有一镂空挡板，所述阀孔的大开口端和小开口端分别与所述泵和所述反应腔相对，所述阀球位于所述阀孔内，所述阀球的直径小于所述阀孔的小开口端的内径。
3.根据权利要求2所述的防倒流装置，其特征在于，所述连接管横向设置，所述阀孔横向设置。
4.根据权利要求2所述的防倒流装置，其特征在于，所述连接管竖向设置，所述阀孔竖向设置。
5.根据权利要求1所述的防倒流装置，其特征在于，所述镂空挡板是一圆形板，所述圆形板上开有一中心孔和若干通气孔，所述若干通气孔环绕设置于所述中心孔的四周，所述中心孔的直径小于所述阀球的直径。
6.根据权利要求1所述的防倒流装置，其特征在于，所述连接管包括第一连接分管和第二连接分管，所述第一连接分管和第二连接分管的相对端分别设有第一法兰和第二法兰，所述第一连接管和第二连接管的另一端分别与泵或反应腔连接。
7.根据权利要求6所述的防倒流装置，其特征在于，所述防倒流装置还包括若干螺栓组件，所述阀座体的周向设有向外凸出的凸部，所述凸部上均匀设置有若干螺钉孔，所述凸部设于所述第一法兰和第二法兰之间，所述阀座体的一部分位于所述第一连接分管内，所述阀座体的另一部分位于所述第二连接分管内，所述第一法兰、所述凸部和第二法兰经所述若干螺栓组件连接。
8.根据权利要求1所述的防倒流装置，其特征在于，所述若干单向阀均匀设置于所述阀座体上。
9.一种排气装置，用于对反应腔进行排气，包括泵和连接管，所述泵通过连接管和所述反应腔连接，其特征在于，还包括如权利要求1-8中任意一项所述的防倒流装置，所述防倒流装置设于所述连接管内。
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