CN202120860U - 一种用于扫描电镜样品台上的试样固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于扫描电镜样品台上固定试样的固定装置，特别是一种用于扫描电镜样品台上的试样固定装置，在中心基座的下端固接着试样夹持爪，在中心基座的周边上均布固接着呈放射状的夹紧弹片，在每只夹紧弹片的外端部分别固接着弹圈限位杆，弹圈限位杆由相互呈90°折弯的水平杆和垂直杆构成，每只夹紧弹片的外端部分别固接着每只弹圈限位杆的水平杆，每只弹圈限位杆的垂直杆外端部分别均布固接在具有开口的固定弹圈上。本实用新型结构合理，操作简便，固定试样的稳定性好，可以确保试样在样品台移动过程中保持静止不动，简化试样的准备程序，方便对试样进行扫描电镜分析。
Description
技术领域
本实用新型属于扫描电镜样品台上固定试样的固定装置，特别是一种用于扫描电镜样品台上的试样固定装置。
背景技术
扫描电镜是失效机理分析的重要手段，二次电子成像可以直接观察断裂类型和断裂源。从（准）解理断裂、韧窝断裂以及其他显微断口特征形貌可以推断失效是否来源于晶界缺陷、夹杂物以及氢致裂纹（HIC），所以，扫描电镜在高质量等级品种钢开发的过程中扮演着重要的角色。
扫描电镜样品台为圆形，靠马达带动可以实现X、Y、Z向的步进式移动以及转动。失效分析试样的种类繁多，形状各异，单纯依靠导电双面胶将试样固定在样品台上，固定不牢，因为导电双面胶与试样和样品台的粘合度不高，在样品台移动过程中，样品易脱落，对扫描电镜分析造成诸多不便。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种用于扫描电镜样品台上的试样固定装置，其结构合理，操作简便，固定试样的稳定性好，可以确保试样在样品台移动过程中保持静止不动，简化试样的准备程序，方便对试样进行扫描电镜分析。
本实用新型的目的是这样实现的：一种用于扫描电镜样品台上的试样固定装置，在中心基座的下端固接着试样夹持爪，在中心基座的周边上均布固接着呈放射状的夹紧弹片，在每只夹紧弹片的外端部分别固接着弹圈限位杆，弹圈限位杆由相互呈90°折弯的水平杆和垂直杆构成，每只夹紧弹片的外端部分别固接着每只弹圈限位杆的水平杆，每只弹圈限位杆的垂直杆外端部分别均布固接在具有开口的固定弹圈上。
本实用新型由固定弹圈、弹圈限位杆、夹紧弹片及其端部试样夹持爪组成，试样夹持爪由条弧形弹片组成，弹片末端连线形状为圆形，夹紧试样时，试样夹持爪弹片张开，对于任何形状、尤其是薄片状试样可以实现牢固夹紧。
扫描电镜样品台为圆柱体，固定弹圈开口，使其能够张紧套在样品台上，结合弹圈限位杆，实现试样固定装置与样品台的紧密配合和固定。夹紧弹片固定在弹圈限位杆上，在自由状态时汇聚在一起，汇聚点投影落在样品台中心。夹紧弹片端部为试样夹持爪，试样夹持爪所用材料同样是弹性的，可以实现夹持爪与试样的大面积稳定接触和夹紧。
在扫描电镜实验开始前放置试样时，首先将试样固定装置加装在样品台上，然后将夹紧弹片掰开，放入试样后放手，实现试样的夹紧。节省了导电胶等扫描电镜耗材，简化了试样准备流程，提高了试样稳定性，减少了试样掉落的潜在风险。
本实用新型结构合理，操作简便，固定试样的稳定性好，确保了试样在样品台移动过程中保持静止不动，简化了试样的准备程序，方便了对试样进行扫描电镜分析。
附图说明
下面将结合附图对本实用新型作进一步的描述，附图1为本实用新型立体结构示意图。
具体实施方式
一种用于扫描电镜样品台上的试样固定装置，如附图所示，在中心基座1的下端固接着试样夹持爪2，在中心基座1的周边上均布固接着呈放射状的夹紧弹片3，在每只夹紧弹片3的外端部分别固接着弹圈限位杆4，弹圈限位杆4由相互呈90°折弯的水平杆和垂直杆构成，每只夹紧弹片3的外端部分别固接着每只弹圈限位杆4的水平杆，每只弹圈限位杆4的垂直杆外端部分别均布固接在具有开口的固定弹圈5上。试样夹持爪2的结构为以中心基座1下端面中心为基点固接在中心基座1下端呈圆周均布的弧形弹片，试样弧形爪的爪尖指向圆心。夹紧弹片3与中心基座1的轴线夹角呈锐角。夹紧弹片3的数量为4—8只。
Claims (4)
1.一种用于扫描电镜样品台上的试样固定装置，其特征是：在中心基座（1）的下端固接着试样夹持爪（2），在中心基座（1）的周边上均布固接着呈放射状的夹紧弹片（3），在每只夹紧弹片（3）的外端部分别固接着弹圈限位杆（4），弹圈限位杆（4）由相互呈90°折弯的水平杆和垂直杆构成，每只夹紧弹片（3）的外端部分别固接着每只弹圈限位杆（4）的水平杆，每只弹圈限位杆（4）的垂直杆外端部分别均布固接在具有开口的固定弹圈（5）上。
2.根据权利要求1所述的一种用于扫描电镜样品台上的试样固定装置，其特征是：试样夹持爪（2）的结构为以中心基座（1）下端面中心为基点固接在中心基座（1）下端呈圆周均布的弧形弹片，试样弧形爪的爪尖指向圆心。
3.根据权利要求1所述的一种用于扫描电镜样品台上的试样固定装置，其特征是：夹紧弹片（3）与中心基座（1）的轴线夹角呈锐角。
4.根据权利要求1所述的一种用于扫描电镜样品台上的试样固定装置，其特征是：夹紧弹片（3）的数量为4—8只。
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Cited By (3)
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| CN107991512A (zh) * | 2017-11-09 | 2018-05-04 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 基于原子力显微镜的检测平台 |
| CN108896595A (zh) * | 2018-06-15 | 2018-11-27 | 昆明理工大学 | 一种保护探头的扫描电镜试样台 |
| CN109425315A (zh) * | 2017-08-31 | 2019-03-05 | 长鑫存储技术有限公司 | 半导体结构的测试载具及测试方法 |
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2011
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