CN202119077U

CN202119077U - 回绕式辐射热补偿保护加热器

Info

Publication number: CN202119077U
Application number: CN2011201438000U
Authority: CN
Inventors: 卜繁生; 李美庆
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2011-05-06
Filing date: 2011-05-06
Publication date: 2012-01-18
Anticipated expiration: 2021-05-06

Abstract

本实用新型提供一种回绕式辐射热补偿保护加热器，包含：一石英管体，该石英管体设有至少一第一流道，该石英管体设有至少一第二流道，该第二流道与第一流道相贯通，该石英管体设有第一中空部；一第一加热装置，该第一加热装置设于该石英管体其第一中空部内，又该第一加热装置的材质为碳化硅、氧化锌或氧化锡；通过本实用新型其第一加热装置的材质为碳化硅、氧化锌、氧化锡或导热金属材料，而可稳定对该石英管体加热，以避免现有易因过热对石英管体表面造成毛细孔洞，而造成金属污染及石英管体寿命降低的缺失，同时可使本实用新型以较短时间达到供应制程所需稳定温度，进而使本实用新型可达到提升生产效率及增加石英管体使用寿命的目的。

Description

回绕式辐射热补偿保护加热器

技术领域

本实用新型是一种回绕式辐射热补偿保护加热器，尤指一种可避免现有加热器易因过热而造成金属污染及石英管体寿命降低的缺失，同时可使本实用新型以较短时间达到供应制程所需温度，进而使本实用新型可达到提升生产效率与增加石英管体及加热装置使用寿命的目的。

背景技术

一般的加热器，请参阅图1所示，其经常使用于半导体制程如湿式蚀刻(wetetching)的加热，其包含：一石英管体1，该石英管体1设有内流道11与外流道13，该内流道11与外流道13相贯通，该内流道11设有入水口12，该外流道13设有出水口15，又该石英管体1设有中空部14，该中空部14位于外流道13与内流道11之间；一加热管体2，该加热管体2设于该中空部14内，该加热管体2设有二导电端点21、22；当该加热管体2其二导电端点21、22连接电源而电气导通时，该加热管体2即可对进入该石英管体1内的液体加热，进而使该加热器可达到加热液体的功效。

该现有的加热器虽可达到加热液体的功效，但该加热器使用的加热管体2多为电热丝管或卤素丝灯管，其产生的高集热点容易对该石英管体1的表面造成毛细孔洞或电流热击穿电极，进而造成被加热流体的金属污染及该石英管体1的寿命降低，造成产品安全性危害，请再参阅第二图所示为现有加热器的温控曲线图，由该温控曲线图可知，现有加热器其温控曲线的震荡幅度较大，也即其加热的功率及输出较不稳定，因此容易造成制程温度品质波动，进而导致生产效率降低及产品品质不稳定。

因此，如何将上述等缺失加以摒除，即为本案创作人所欲解决的技术困难点之所在。

发明内容

有鉴于现有的加热器，因其产生的高热容易对石英管体的表面造成毛细孔洞，进而造成金属污染及该石英管体寿命降低，又其加热的功率及输出较不稳定，因此达到制程温度所需时间较久，进而导致生产效率降低及使用上的不便，因此本实用新型的目的在于提供一种回绕式辐射热补偿保护加热器，通过本实用新型其第一加热装置的材质为碳化硅或为氧化锌或为氧化锡或为导热金属材料，而可稳定对该石英管体加热，以避免现有加热器易因过热而对石英管体表面造成毛细孔洞或电流热击穿电极，而造成金属污染及石英管体寿命降低的缺失，同时可使本实用新型以较短时间达到供应制程所需稳定温度，进而使本实用新型可达到提升生产效率及增加石英管体使用寿命的目的。

为达成以上的目的，本实用新型提供了一种回绕式辐射热补偿保护加热器，其包含：

一石英管体，该石英管体设有至少一第一流道，该石英管体设有至少一第二流道，该第二流道与该第一流道相贯通，该石英管体设有第一中空部；

一第一加热装置，该第一加热装置设于该石英管体的第一中空部内，又该第一加热装置的材质为碳化硅、氧化锌、氧化锡或导热金属材料，该第一加热装置设有第一导电端点与第二导电端点。

实施时，该第一加热装置为管状、片状或镀膜。

实施时，该石英管体外包围设有壳体组件，又该壳体组件设有壳体、第一盖体及第二盖体，该第一盖体与该壳体一侧相固设，该第二盖体与该壳体另一侧相固设。

实施时，该壳体为高耐温防酸碱材质。

本实用新型还提供了一种回绕式辐射热补偿保护加热器，其包含：

一石英管体，该石英管体设有至少一第一流道，该石英管体设有至少一第二流道，该第二流道与第一流道相贯通，该石英管体设有第一中空部，又该石英管体一侧设有至少一第一感测器；

一第一加热装置，该第一加热装置设于该石英管体的第一中空部内，又该第一加热装置设有第一导电端点与第二导电端点。

实施时，该第一感测器为漏液感知器、流量计或测温装置。

实施时，该第一加热装置的材质为碳化硅、氧化锌、氧化锡或导热金属材料。

一石英管体，该石英管体设有至少一第一流道，该石英管体设有至少一第二流道，又该第一流道与第二流道之间设有至少一第三流道，该石英管体设有第一中空部，又该石英管体设有至少一第二中空部；

一第一加热装置，该第一加热装置设于该石英管体的第一中空部内，该第一加热装置设有第一导电端点与第二导电端点；

至少一第二加热装置，该第二加热装置设于该石英管体的第二中空部内，该第二加热装置设有第三导电端点与第四导电端点。

实施时，该第一加热装置与第二加热装置的材质为碳化硅、氧化锌、氧化锡或导热金属材料。

实施时，该第一加热装置与该第二加热装置分别使用不同电压系统的电源。

本实用新型提供一种回绕式辐射热补偿保护加热器，其包含：

一石英管体，该石英管体设有至少一第一流道，该石英管体设有至少一第二流道，该第二流道与第一流道相贯通，该石英管体设有第一中空部；

一第一加热装置，该第一加热装置设于该石英管体其第一中空部内，又该第一加热装置的材质为碳化硅、氧化锌、氧化锡或导热金属材料，该第一加热装置可为管状、片状或镀膜，该第一加热装置设有第一导电端点与第二导电端点；

通过本实用新型其第一加热装置的材质为碳化硅或为氧化锌或为氧化锡或为导热金属材料，而可稳定对该石英管体加热，以避免现有加热器易因过热对石英管体表面造成毛细孔洞，而造成金属污染及石英管体寿命降低的缺失，同时可使本实用新型以较短时间达到供应制程所需稳定温度，进而使本实用新型可达到提升生产效率及增加石英管体使用寿命的目的。

附图说明

图1是现有的立体分解示意图。

图2是现有的加热器温控曲线示意图。

图3是本实用新型的立体分解示意图。

图4是本实用新型的组合示意图。

图5是本实用新型的加热器温控曲线示意图。

图6是本实用新型的第二盖体的阀体可增加散热效果的示意图。

图7是本实用新型的第三实施例的分解示意图。

图8是本实用新型的第三实施例的第一感测器可提升安全性的示意图。

图9是本实用新型的第二实施例的分解示意图。

图10是本实用新型的第二实施例可提升加热效率的示意图。

附图标记说明：1-石英管体；11-内流道；12-入水口；13-外流道；14-中空部；15-出水口；2-加热管体；21-导电端点；22-导电端点；3-壳体组件；31-壳体；311-容置空间；35-第一盖体；351-第一透孔；352-第二透孔；353-第三透孔；36-第二盖体；361-阀体；4-石英管体；41-第一流道；411-入水口；42-第二流道；421-出水口；43-第三流道；44-第一中空部；45-第二中空部；46-第一感测器；461-第五导线；5-第一加热装置；51-第一导电端点；511-第一导线；52-第二导电端点；521-第二导线；6-第二加热装置；61-第三导电端点；611-第三导线；62-第四导电端点；621-第四导线；7-被加热流体；8-电子式温度控制器；9-电源开关。

具体实施方式

为使贵审查员方便简捷了解本实用新型的其他特征内容与优点及其所达成的功效能够更为显现，兹将本实用新型配合附图，详细说明如下：

请参阅图3、图4所示，本实用新型提供一种回绕式辐射热补偿保护加热器，其包含：

一石英管体4，该石英管体4设有至少一第一流道41，该第一流道41设有入水口411，该石英管体4设有至少一第二流道42，该第二流道42与第一流道41相贯通，又该第二流道设有出水口421，该石英管体4设有第一中空部44，该第一中空部44位于该第一流道41与第二流道42之间；

一第一加热装置5，该第一加热装置5设于该石英管体4其第一中空部44内，该第一加热装置5的材质可为碳化硅、氧化锌、氧化锡或导热金属材料，又该第一加热装置5可为管状、片状或、为镀膜，该第一加热装置5设有第一导电端点51，该第一导电端点51设有第一导线511，又该第一加热装置5设有第二导电端点52，该第二导电端点52设有第二导线521；

一壳体组件3，该壳体组件3包围设于该石英管体4外，该壳体组件3可为圆筒状，或请再配合参阅图9所示，该壳体组件3也可为长方体状，该壳体组件3设有壳体31，该壳体31设有容置空间311，该石英管体4位于该壳体31的容置空间311内，又该壳体3可为高耐温防酸碱材质，该壳体组件3设有第一盖体35，该第一盖体35与壳体31一侧相固设，又该第一盖体35与壳体31之间可为密闭或部份开放，该第一盖体35设有至少一第一透孔351，该第一透孔351与石英管体4其第一流道41的入水口411相穿设，该第一盖体35设有至少一第二透孔352，该第二透孔352与石英管体4其第二流道42的出水口421相穿设，该第一盖体35设有至少一第三透孔353，通过该第一盖体35设有至少一第三透孔353，而使该第三透孔353可供该第一加热装置5其第一导线511与第二导线521相穿设，而如图4所示，使该第一导线511与第二导线521可与外部的电源或控制器相连接，该壳体组件3设有第二盖体36，该第二盖体36与壳体3另一侧相固设，该第二盖体36与壳体31之间可为密闭或部份开放，又该第二盖体36设有至少一阀体361，该阀体361可为散热阀；

请参阅图3、图5所示，通过本实用新型其第一加热装置5的材质可为碳化硅或为氧化锌或为氧化锡或为导热金属材料，而可以稳定的功率及输出对该石英管体4加热，以避免现有加热器易因过热对石英管体1表面造成毛细孔洞或电流热击穿电极，而造成金属污染及石英管体1寿命降低的缺点，同时也可使本实用新型其温控曲线较为稳定而如图5所示，也即达到供应制程所需稳定温度的时间较短，进而使本实用新型可达到提升生产效率与增加石英管体及第一加热装置使用寿命的目的。

请再参阅图3、图6所示，通过该壳体组件3其第二盖体36设有至少一阀体361，又该阀体361可为散热阀，而可将该石英管体4于壳体31内产生的热气排出，以避免该石英管体4与第一加热装置5过热造成安全性的问题，进而使本实用新型兼具提升散热及安全性的效果。

请再参阅图7所示为本实用新型的第二实施例，其中该石英管体4一侧可设有至少一第一感测器46，该第一感测器46设有第五导线461，该第一感测器46可为漏液感知器(leak sensor)或为流量计(flow meter)或为测温装置如热电偶(thermalcouple)，请再配合参阅图8所示，当该石英管体4其第一感测器46的第五导线461与电子式温度控制器8电气连接，通过该第一感测器46可为漏液感知器、流量计或测温装置，而使本实用新型于流量不足或过温时可由该电子式温度控制器8控制电源开关9，以进行断电或停止加热的保护动作；又，当该被加热流体7外漏时，该第一感测器46也可侦测得知，而使相关人员可于第一时间处理，进而使本实用新型可达到提升安全性的功效。

请再参阅图9为本实用新型的第三实施例，其中该石英管体4其第一流道41与第二流道42之间可再设有至少一第三流道43，该第三流道43分别与该第一流道41及第二流道42相贯通，且该石英管体4其第一中空部44位于该第一流道41与第三流道43之间，又该石英管体4可再设有至少一第二中空部45，该第二中空部45位于该第三流道43与第二流道42之间，另该第二中空部45内可再设有至少一第二加热装置6，该第二加热装置6的材质可为碳化硅、氧化锌、氧化锡或导热金属材料，又该第二加热装置6可为管状、片状或镀膜，该第二加热装置6设有第三导电端点61，该第三导电端点61设有第三导线611，该第二加热装置6设有第四导电端点62，该第四导电端点62设有第四导线621，又，本实用新型其第一加热装置5与第二加热装置6可依照材质特性与需求而分别使用不同电压系统的电源，而使该第一加热装置5与第二加热装置6可分别以不同功率对该被加热流体7加热，而使本实用新型可达到更精密的补偿加热与温度控制的功效，请再配合参阅图10所示，当被加热流体7由该第一流道41的入水口411进入该石英管体4时，通过本实用新型其石英管体4的第一流道41与第二流道42之间设有至少一第三流道43，该第二中空部45内设有至少一第二加热装置6，而可增加该被加热流体7的加热路径与加热面积，进而使本实用新型可达到更佳加热效率的功效。

为使本实用新型更加显现出其进步性与实用性，兹与现有作一比较分析如下：

现有技术：

1、造成石英管体因过热受损，导致石英管体的使用寿命降低。

2、加热功率不稳定，达到制程温度的时间较长，生产效率较低。

本实用新型优点：

1、加热器可稳定加热，可提升石英管体及加热装置的使用寿命。

2、加热功率稳定，达到制程温度的时间较短，生产效率较高。

以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离所附权利要求所限定的精神和范围的情况下，可做出许多修改，变化或等效，但都将落入本实用新型的保护范围内。

Claims

1.一种回绕式辐射热补偿保护加热器，其特征在于，其包含：

2.如权利要求1所述的回绕式辐射热补偿保护加热器，其特征在于，该第一加热装置为管状、片状或镀膜。

3.如权利要求1所述的回绕式辐射热补偿保护加热器，其特征在于，该石英管体外包围设有壳体组件，又该壳体组件设有壳体、第一盖体及第二盖体，该第一盖体与该壳体一侧相固设，该第二盖体与该壳体另一侧相固设。

4.如权利要求3所述的回绕式辐射热补偿保护加热器，其特征在于，该壳体为高耐温防酸碱材质。

5.一种回绕式辐射热补偿保护加热器，其特征在于，其包含：

6.如权利要求5所述的回绕式辐射热补偿保护加热器，其特征在于，该第一感测器为漏液感知器、流量计或测温装置。

7.如权利要求5所述的回绕式辐射热补偿保护加热器，其特征在于，该第一加热装置的材质为碳化硅、氧化锌、氧化锡或导热金属材料。

8.一种回绕式辐射热补偿保护加热器，其特征在于，其包含：

9.如权利要求8所述的回绕式辐射热补偿保护加热器，其特征在于，该第一加热装置与第二加热装置的材质为碳化硅、氧化锌、氧化锡或导热金属材料。

10.如权利要求8所述的回绕式辐射热补偿保护加热器，其特征在于，该第一加热装置与该第二加热装置分别使用不同电压系统的电源。