CN201994345U - 一种压电陶瓷马达驱动的位移平台 - Google Patents
一种压电陶瓷马达驱动的位移平台 Download PDFInfo
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Abstract
一种压电陶瓷马达驱动的位移平台,涉及一种电动位移平台。提供一种尺寸小、重量轻、集成化程度高、精度高的压电陶瓷马达驱动的位移平台。设有压板、导轨、滑块和至少1个压电陶瓷马达;滑块与导轨滑动配合,导轨设有马达放置槽,压电陶瓷马达安装于马达放置槽内,压电陶瓷马达的驱动足与滑块触接,压板固于导轨上端。或设有压板、导轨、滑块和至少1个压电陶瓷马达;滑块与导轨滑动配合,滑块设有马达放置槽,压电陶瓷马达安装于马达放置槽内,压电陶瓷马达的驱动足与导轨触接,压板固于滑块上端。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种电动位移平台,尤其是涉及一种压电陶瓷马达驱动的位移平台。
背景技术
传统的电动位移平台一般由步进电机、基台、驱动螺杆和滑块几大部件组成。由于普通步进电机体积的限制,一般置于基台的外部,导致较大的体积。另外,步进电机和螺杆的重量较重,当由线性位移平台叠加组合而成的二维或三维平台时,由于位移平台整体重量较大,因此位移平台的运动和加速受到限制。压电陶瓷马达作为一种全新的驱动器,以低速大转矩、大静态保持力矩、响应速度快、体积小重量轻,纳米量级的分辨率以及无磁场干扰等优点受到国内外的广泛关注,并在众多领域(如电镜光学)得到了应用。通常,压电陶瓷马达可以分为直线型和旋转型。直线压电陶瓷马达中的动子作直线运动;而旋转压电陶瓷马达中的动子作旋转运动。当压电陶瓷马达用于平台驱动时,可直接驱动平台的滑块,而不需要普通电磁马达驱动所用的驱动螺杆,同时由于压电陶瓷马达的重量较轻,使整体平台重量大为减小。
发明内容
本实用新型的目的是克服传统电动位移平台的缺点,提供一种尺寸小、重量轻、集成化程度高、精度高的压电陶瓷马达驱动的位移平台。
本实用新型的技术方案之一:
一种压电陶瓷马达驱动的位移平台,设有压板、导轨、滑块和至少1个压电陶瓷马达;滑块与导轨滑动配合,导轨设有马达放置槽,压电陶瓷马达安装于马达放置槽内,压电陶瓷马达的驱动足与滑块触接,压板固于导轨上端。
所述至少1个压电陶瓷马达可为2个压电陶瓷马达,2个压电陶瓷马达并联设于导轨内,2个压电陶瓷马达驱动足均与滑块触接,这样可增加驱动力(推力)。
所述压电陶瓷马达最好设有定子套和预紧弹簧片,定子套卡套在定子上,预紧弹簧片与定子套连接。
所述压电陶瓷马达的定子最好为柱状或管状定子,这样更便于安装在导轨内的有限空间中。
本实用新型的技术方案之二:
一种压电陶瓷马达驱动的位移平台,设有压板、导轨、滑块和至少1个压电陶瓷马达;滑块与导轨滑动配合,滑块设有马达放置槽,压电陶瓷马达安装于马达放置槽内,压电陶瓷马达的驱动足与导轨触接,压板固于滑块上端。
所述至少1个压电陶瓷马达可为2个压电陶瓷马达,2个压电陶瓷马达并联设于导轨内,2个压电陶瓷马达驱动足均与滑块触接,这样可增加驱动力(推力)。
所述压电陶瓷马达最好设有定子套和预紧弹簧片,定子套卡套在定子上,预紧弹簧片与定子套连接。
所述压电陶瓷马达的定子最好为柱状或管状定子,这样更便于安装在滑块内的有限空间中。
与传统的电动位移平台比较,本实用新型具有如下突出优点:
采用压电陶瓷马达作为驱动器,并将压电陶瓷马达内置于导轨或滑块内,可以制成集成化程度高、体积小巧、重量轻、可高精度控制位移量的位移平台。而且可将2个压电陶瓷马达驱动的位移平台进行组合使用,其中一个用于驱动位移平台沿X轴方向移动,另一个用于驱动位移平台沿Y轴方向移动,这样,就可制成二维运动的位移平台,从而大大拓展了本实用新型的应用范围。若需要加大推力,可增加压电陶瓷马达数量,采用2个或2个以上压电陶瓷马达。
附图说明
图1为本实用新型实施例1的外观结构示意图。
图2为图1的结构分解示意图。
图3为本实用新型实施例2的结构分解示意图。
图4为本实用新型实施例3的结构分解示意图。
图5为本实用新型实施例4的外观结构示意图。
图6为图5的结构分解示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
实施例1
参见图1和2,本实用新型实施例设有压板106、导轨100、滑块104和压电陶瓷马达。滑块104与导轨100滑动配合,导轨100设有马达放置槽1001,压电陶瓷马达安装于马达放置槽1001内。压电陶瓷马达设有定子103和驱动足102,还设有定子套101和预紧弹簧片105。驱动足102与滑块104的中间凹槽1040触接,定子套101卡套在定子103上,预紧弹簧片105固定子套101上,压板106压在预紧弹簧片105上,压板106固于导轨100上端。预紧弹簧片105的作用是对驱动足102施加预紧力。本实施例由于压电陶瓷马达固于导轨100内,滑块104的行程较短(一般小于滑块自身的长度)。使用时,导轨100固定不动(如固定在外部机体上),滑块104在压电陶瓷马达的驱动足102的作用下发生移动。根据实际应用情况,滑块104可直接作为位移平台的台面使用。滑块104也可与外部设备的台面连接联动,共同构成位移平台。
实施例2
参见图3,与实施例1类似,区别在于:滑块200设有马达放置槽2001,压电陶瓷马达安装于马达放置槽2001内。驱动足102与导轨201的中间凹槽2010触接。工作时,导轨201固定不动,滑块200连同压电陶瓷马达一起移动。图3中的其余标号与实施例1对应一致。
实施例3
参见图4,与实施例1类似,区别在于,为了增加对滑块的推力,本实施例设有2个压电陶瓷马达301和302,2个压电陶瓷马达301和302并联,共同设于导轨303上,导轨303设有2个压电陶瓷马达放置槽3031和3032。2个压电陶瓷马达301和302的驱动足均与滑块304的中心凹槽触接。
实施例4
参见图5和6,与实施例3类似,区别在于,为了实现位移平台的二维运动,本实施例将上下2个位移平台进行叠加组合使用(以实施例3所述的位移平台为例)。即将上部位移平台的压板与下部位移平台的滑块固连。由于上位移平台和下位移平台可分别实现整体朝X轴和Y轴两个方向上移动,因此本实施例为二维运动的位移平台。图5和6中的标号与实施例3对应一致。本实施例上位移平台与下位移平台相同(也可不同)。
Claims (8)
1.一种压电陶瓷马达驱动的位移平台,其特征在于设有压板、导轨、滑块和至少1个压电陶瓷马达;滑块与导轨滑动配合,导轨设有马达放置槽,压电陶瓷马达安装于马达放置槽内,压电陶瓷马达的驱动足与滑块触接,压板固于导轨上端。
2.如权利要求1所述的一种压电陶瓷马达驱动的位移平台,其特征在于所述至少1个压电陶瓷马达为2个压电陶瓷马达,2个压电陶瓷马达并联设于导轨内,2个压电陶瓷马达驱动足均与滑块触接。
3.如权利要求1所述的一种压电陶瓷马达驱动的位移平台,其特征在于所述压电陶瓷马达设有定子套和预紧弹簧片,定子套卡套在定子上,预紧弹簧片与定子套连接。
4.如权利要求1所述的一种压电陶瓷马达驱动的位移平台,其特征在于所述压电陶瓷马达的定子为柱状或管状定子。
5.一种压电陶瓷马达驱动的位移平台,其特征在于设有压板、导轨、滑块和至少1个压电陶瓷马达;滑块与导轨滑动配合,滑块设有马达放置槽,压电陶瓷马达安装于马达放置槽内,压电陶瓷马达的驱动足与导轨触接,压板固于滑块上端。
6.如权利要求5所述的一种压电陶瓷马达驱动的位移平台,其特征在于所述至少1个压电陶瓷马达为2个压电陶瓷马达,2个压电陶瓷马达并联设于导轨内,2个压电陶瓷马达驱动足均与滑块触接。
7.如权利要求5所述的一种压电陶瓷马达驱动的位移平台,其特征在于所述压电陶瓷马达设有定子套和预紧弹簧片,定子套卡套在定子上,预紧弹簧片与定子套连接。
8.如权利要求5所述的一种压电陶瓷马达驱动的位移平台,其特征在于所述压电陶瓷马达的定子为柱状或管状定子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011200658751U CN201994345U (zh) | 2011-03-14 | 2011-03-14 | 一种压电陶瓷马达驱动的位移平台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011200658751U CN201994345U (zh) | 2011-03-14 | 2011-03-14 | 一种压电陶瓷马达驱动的位移平台 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN201994345U true CN201994345U (zh) | 2011-09-28 |
Family
ID=44670824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN201994345U (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104656557A (zh) * | 2014-12-17 | 2015-05-27 | 武汉博激世纪科技有限公司 | 一种压电二轴运动系统 |
CN106100228A (zh) * | 2016-05-31 | 2016-11-09 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种压电陶瓷马达推动的旋转驱动装置及其应用 |
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