CN201981253U - 一种矩形平面磁控溅射阴极 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及到一种溅射真空镀膜装置,尤其涉及到一种平面溅射镀膜阴极装置。其采用的技术方案是提供一种矩形平面磁控溅射阴极,包括阴极组件、设置阴极组件上端的支承座、支撑座上端的阴极盖板,其中,所述支承座分为支撑座底板,支撑座中板,支撑座顶板,所述支撑座中板为绝缘体。结构简单,便于装配和拆卸,同时还减少了维修和维护的成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及到一种溅射真空镀膜装置,尤其涉及到一种平面溅射镀膜阴极装置。
背景技术
溅射阴极作为真空镀膜设备的核心部件,目前广泛应用的矩形平面溅射阴极,其在阴极周围设有屏蔽罩,屏蔽罩下端设有阳极框,其中,阳极框、屏蔽罩,与电源正极和地线相连,并与阴极体保持一定距离,零电位的屏蔽罩截获非靶材零件发射的电子,避免氩气电离产生辉光放电,防止靶座等零部件溅射,有效保证镀膜质量。但根据“巴邢定律”,在一定压强下,P×D值小于巴邢曲线的谷底时,不会产生辉光放电,在适合溅射的工艺压强下,这个D值约等于1.5-2mm,而在大面积真空镀膜设备中,靶材长度大都在2500mm以上,在实际加工和装配中要想保证这个尺寸是很困难的,所以很多大型的平面磁控溅射阴极的屏蔽罩和阴极体之间,都有放电的现象,阳极框也常常被溅射,这就严重影响了镀膜质量。尽管有人针对这种情况提出了在外框内侧或外侧加装导磁板,但带有阳极框的溅射装置,经长时间使用,其阳极处溅射产生的微粒沉积到一定程度会出现局部放电,最终溅射阴极装置发生短路,而无法正常工作,另外,其还存在如下缺点:
1、阳极框在长期持续溅射的高温环境下,发生严重变形;
2、阳极框需要经常拆卸清除污垢,减短平面溅射阴极使用寿命,影响生产,增加成本。
实用新型内容
针对上述设有阳极框的溅射阴极的缺点,本实用新型设计出一种新型的矩形平面磁控溅射阴极。
为了达到上述的目的,本实用新型采用的技术方案是提供一种矩形平面磁控溅射阴极,包括阴极组件、设置阴极组件上端的支承座、支撑座上端的阴极盖板,其中,所述支承座分为支撑座底板,支撑座中板,支撑座顶板,所述支撑座中板为绝缘体。
根据上述的溅射阴极,其中,在支撑座中板两侧还设置有支撑座防护罩。
根据上述的溅射阴极,其中,在阴极组件的外围还设有屏蔽罩,所述屏蔽罩通过螺栓与支撑座底板相连。
根据上述的溅射阴极,其中,所述支撑座顶板与阴极盖板通过螺栓相连。
根据上述的溅射阴极,其中,所述支撑座中板通过螺栓与支撑座底板、支撑座顶板相连,所述螺栓为T型槽专用螺栓。
根据上述的溅射阴极,其中,所述支撑座中板的材质为聚甲醛或聚四氟乙烯塑料。
根据上述的溅射阴极,其中,所述防护罩的材质为聚四氟乙烯或PEEK塑料。
本实用新型的技术效果一是取消了阳极框,简化了结构,降低成本,减小加工、装配、维修和维护的难度。二是取消屏蔽罩接地,防止了屏蔽罩与阴极体放电,有效解决防护罩与阴极导通时的短路,造成靶材不能溅射,停止生产的缺点,从而增长了大型矩形平面溅射阴极的使用周期,减少了其维护次数,节约成本。三是结构简单,便于装配和拆卸。
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步说明。
附图说明
图1是本实用新型的结构剖面示意图;
1-屏蔽罩,2-阴极组件,3-支承座下底板,4-支承座中板,5-支承座防护罩、6-支承座顶板,7-阴极盖板。
具体实施方式
本发明保护的是一种矩形平面磁控溅射阴极,只要是本领域技术人员了解本发明实施例,不经过创造性的劳动,仅是同等技术的替换,都属于本发明的保护范围。
如图1所示,屏蔽罩1设置在阴极组件2的外围,支撑座底板3用螺栓与阴极组件2外围的屏蔽罩1相连。支承座中板4通过T型槽专用螺栓分别与支承座下底板3和上顶板6连接,同时上顶板6与阴极盖板7采用螺栓连接。支承座中板4的材质采用聚甲醛或聚四氟乙烯,从而使得支撑座下底板3和支撑座上顶板6相互绝缘,以此保证阴极组件2和阴极盖板7相互绝缘。为防止中板4表面在长期的溅射环境中被镀上导电膜,导致绝缘失效,所以在支撑座中板4外围设置有支承座防护罩5,所述支承座防护罩5下端通过螺栓固定在支撑座底板上,支承座防护罩5的材质宜采用聚四氟乙烯或PEEK,支承座防护罩5与支承座中板4、支承座底板3组成半封闭的空腔,这种结构大大提高了绝缘的可靠性,使支承座防护罩5成为免维护部件,并且对支撑座中板4提供有效保护。
Claims (8)
1.一种矩形平面磁控溅射阴极,包括阴极组件、设置阴极组件上端的支承座、支撑座上端的阴极盖板,其特征在于,所述支承座分为支撑座底板,支撑座中板,支撑座顶板,所述支撑座中板为绝缘体。
2.根据权利要求1所述的溅射阴极,其特征在于,在支撑座中板两侧还设置有支撑座防护罩。
3.根据权利要求1所述的溅射阴极,其特征在于,在阴极组件的外围还设有屏蔽罩,所述屏蔽罩通过螺栓与支撑座底板相连。
4.根据权利要求1所述的溅射阴极,其特征在于,所述支撑座顶板与阴极盖板通过螺栓相连。
5.根据权利要求1所述的溅射阴极,其特征在于,所述支撑座中板通过螺栓与支撑座底板、支撑座顶板相连。
6.根据权利要求5所述的溅射阴极,其特征在于,所述螺栓为T型槽专用螺栓。
7.根据权利要求1所述的溅射阴极,其特征在于,所述支撑座中板的材质为聚甲醛或聚四氟乙烯塑料。
8.根据权利要求1所述的溅射阴极,其特征在于,所述防护罩的材质为聚四氟乙烯或PEEK塑料。
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CN103132038A (zh) * | 2013-02-27 | 2013-06-05 | 蚌埠玻璃工业设计研究院 | 一种消除阴极背面辉光放电装置 |
WO2017133139A1 (zh) * | 2016-02-01 | 2017-08-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 磁控溅射装置 |
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