CN201981110U - 一种用于生产石英玻璃坩埚的电极结构 - Google Patents
一种用于生产石英玻璃坩埚的电极结构 Download PDFInfo
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Abstract
一种用于生产石英玻璃坩埚的电极结构，包括旋转模具和安装在旋转模具上方的若干电极，所述电极排列在以旋转模具旋转轴线为中心的环状结构上，各相邻电极之间的间距均相等。本实用新型结构简单，电极之间可以形成环状电弧，电弧稳定且具有很大加热范围，即使在生产大口径坩埚、电极之间的距离较大的情况下，电弧的稳定性同样良好。
Description
技术领域
本实用新型涉及电极结构，具体为一种用于生产石英玻璃坩埚的电极结构。
背景技术
根据旋转模具法生产石英玻璃坩埚的工艺是这样的：存放在旋转模具内的石英砂粉末通过电弧放电加热和熔化，生产出石英玻璃坩埚，坩埚内侧为透明石英玻璃层，外侧为不透明层，对于传统的形成电弧放电的电极结构，设置有三个电极，三相交流电流过所述三个电极，在电极之间形成等离子电弧放电。
目前，硅单晶生产中对石英坩埚直径的要求越来越大，而这种传电极结构的缺点暴露的也更加明显：当电极之间的距离增加以便扩大加热范围时，电弧变得不稳定而中断，尤其是，对于大尺寸坩埚，由于模具转动在坩埚内造成气流的影响较大，所以传统的电极结构的电弧很容易中断。
实用新型内容
本实用新型所解决的技术问题在于提供一种用于生产石英玻璃坩埚的电极结构，使其即使在电极之间距离增加的情况下也可以保持电弧的稳定，从而解决上述背景技术中的缺点。
本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：
一种用于生产石英玻璃坩埚的电极结构，包括旋转模具和安装在旋转模具上方的若干电极，与传统电极结构的显著区别特征在于，所述电极间隔排列在以旋转模具旋转轴线为中心的环状结构上，各相邻电极之间的间距均相等。
作为一种改进，所述环状结构的圆半径r与所述旋转模具的开口半径R之比为2/5~4/5。
作为一种改进，所述电极至少为四个。
作为一种进一步的改进，所述电极可具有二相交流电的四个电极、三相交流电的六个电极、三相交流电的九个电极或四相交流电的八个电极。
由于采用了以上结构，本实用新型具有以下有益效果：
本实用新型结构简单，电极之间可以形成环状电弧，电弧稳定且具有很大加热范围，即使在生产大口径坩埚、电极之间的距离较大的情况下，电弧的稳定性同样良好。
附图说明
图1为本实用新型实施例的示意图。
图2为本实用新型实施例的电极分布示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
参见图1、图2，一种用于生产石英玻璃坩埚的电极结构，包括旋转模具1和安装在旋转模具1上方的若干电极2，本实施例中电极2具有两相交流电的四个电极，与传统电极结构的显著区别特征在于，所述电极2间隔排列在以旋转模具1旋转轴线为中心的环状结构上，各相邻电极2之间的间距均相等。
作为一种优选方案，本实施例中，所述环状结构的圆半径r与所述旋转模具的开口半径R之比为2/3。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定 
。
Claims (4)
1.一种用于生产石英玻璃坩埚的电极结构，包括旋转模具和安装在旋转模具上方的若干电极，其特征在于：所述电极排列在以旋转模具旋转轴线为中心的环状结构上，各相邻电极之间的间距均相等。
2.根据权利要求1所述的一种用于生产石英玻璃坩埚的电极结构，其特征在于：所述环状结构的圆半径与所述旋转模具的开口半径之比为2/5~4/5。
3.根据权利要求1所述的一种用于生产石英玻璃坩埚的电极结构，其特征在于：所述电极至少为四个。
4.根据权利要求1或3所述的一种用于生产石英玻璃坩埚的电极结构，其特征在于：所述电极可具有两相交流电的四个电极、三相交流电的六个电极、三相交流电的九个电极或四相交流电的八个电极。
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| CN (1) | CN201981110U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108585450A (zh) * | 2018-04-09 | 2018-09-28 | 江阴龙源石英制品有限公司 | 一种6轴联动石英坩埚熔制机及其熔制方法 |
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2011
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| CN108585450A (zh) * | 2018-04-09 | 2018-09-28 | 江阴龙源石英制品有限公司 | 一种6轴联动石英坩埚熔制机及其熔制方法 |
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