CN201926802U

CN201926802U - 棱镜固定装置

Info

Publication number: CN201926802U
Application number: CN2010206443621U
Authority: CN
Inventors: 胡永辉; 程海林
Original assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Priority date: 2010-12-06
Filing date: 2010-12-06
Publication date: 2011-08-10
Anticipated expiration: 2020-12-06

Abstract

本实用新型公开了一种棱镜固定装置，包括粘接有棱镜(100)的固定板(200)，它还包括与固定板(200)活动连接的支架(300)。其优点在于：所述支架(300)用于调节固定板(200)的自由度方向，从而调节粘接在固定板(200)上棱镜(100)的自由度方向。

Description

棱镜固定装置

技术领域

本实用新型涉及一种应用于光刻机离轴对准系统的成像模块的进光棱镜固定装置。

背景技术

应用于光刻机离轴对准系统的成像模块的棱镜，其主要作用是：按照一定的方向反射入射光线的光路。为此，要使用棱镜固定装置将棱镜固定。

现有的棱镜固定装置，采用一块固定板，使用时，将棱镜粘接在固定板的中心，然后采用螺钉再将固定板安装在成像模块的外壳上。此种结构的棱镜固定装置，由于棱镜粘接固定板上，因此棱镜的反射光路的方向是固定不变的。另外，此种结构的棱镜固定装置，是固定安装在成像模块的外壳上的，其在安装时产生的安装误差会使粘接在固定板上的棱镜向X、Y、Z方向中的任何一个或者多个方向偏移。因此，入射光纤装置发射的入射光线照射在棱镜上的入射角就会出现偏差，根据光的反射原理，入射角等于反射角，则经棱镜的反射光路就会出现偏差，从而影响离轴对准系统的精度。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是，克服以上不足，提供了一种可调节的棱镜固定装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种棱镜固定装置，包括粘接有棱镜的固定板，它还包括与固定板活动连接的支架。

进一步的，所述支架包括水平板，所述水平板的左右两侧设置的第一螺纹孔；所述固定板上设置有与第一螺纹孔相配的第一通孔；还包括第一锁紧螺栓，所述第一锁紧螺栓穿过固定板第一通孔紧固连接在水平板的第一螺纹孔内；所述第一通孔的直径大于所述第一锁紧螺栓的螺杆部分直径、小于螺头部分的直径；所述第一锁紧螺栓的周边设置有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔内安装有第一调节螺栓，所述第一调节螺栓穿过第二螺纹孔抵在支架的水平板上。

进一步的，所述支架还包括位于水平板上端的横梁，所述横梁的两端分别设置有U形槽孔，所述的U形槽孔内安装有第二锁紧螺栓；所述U形槽孔的周边至少设置有一个第三螺纹孔，所述的第三螺纹孔内安装有第二调节螺栓。

进一步的，所述固定板的上端面中间部分为弧形面、两端部分为平面，所述固定板的背面中心设置有腰鼓形凸台，所述支架的水平板的中心设置有与所述的凸台相配的第二通孔，所述支架还包括位于水平板上端的横梁，所述固定板的上端面的中间部分顶在所述的横梁上，所述的横梁上设置有两个第四螺纹孔，所述的第四螺纹孔内安装有第三调节螺栓，所述的第三调节螺栓穿过第四螺纹孔抵在固定板的上端面的两端。

进一步的，所述的第三调节螺栓的螺杆部分套有弹簧。

进一步的，所述固定板的背面中心设置的凸台为圆形，所述的支架的中心设置有与所述的凸台相配的第二通孔也为圆形。

进一步的，所述支架还包括位于水平板上端的横梁，所述的横梁上设置有两个第三通孔，所述的第三通孔内均安装有第三调节螺栓，所述的第三调节螺栓与所述固定板上端面的两端设置的第五螺纹孔紧固连接；所述的第三调节螺栓的螺杆部分套有弹簧。

进一步的，所述固定板的正面的中心设置有沉孔，所述沉孔的中心延向固定板的至少一边设置有通光槽。

进一步的，所述固定板和支架的中心延向四边均设置有腰形孔。

进一步的，所述支架的横梁上还设置有定位销，所述的定位销一端固定在横梁上，另一端为自由端。

本实用新型棱镜固定装置，使用时，将棱镜粘接在固定板的正面中心位置，再将棱镜固定装置安装在成像模块的外壳上。

本实用新型棱镜固定装置，由于棱镜是粘接在棱镜固定装置的固定板上，因此，固定板与棱镜同步运动。通过固定板与支架设置的第一锁紧螺栓和第一调节螺栓，可以实现固定板在Ry方向的自由度调节，从而实现棱镜在Ry方向的自由度调节。即先旋松第一锁紧螺栓，再旋紧或旋松第一调节螺栓，调整好位置后，再旋紧第一锁紧螺栓，通过改变第一调节螺栓螺杆部分顶在支架的水平板的长度，改变固定板与水平板之间的间隙，从而实现固定板Ry方向自由度的调节，进而实现棱镜在Ry方向自由度的调节。

本实用新型棱镜固定装置，由于棱镜是粘接在棱镜固定装置的固定板上，因此，固定板与棱镜同步运动。通过支架的横梁两端设置的第二锁紧螺栓和第二调节螺栓，可以实现固定板在Rx方向的自由度调节，从而实现棱镜Rx方向自由度的调节。即先旋松第二锁紧螺栓，再旋紧或旋松第二调节螺栓，调整好位置后，再旋紧第二锁紧螺栓，通过改变第二调节螺栓的螺杆部分抵在成像模块外壳的长度或者旋入成像模块外壳上设置的螺纹孔深度，从而实现固定板Rx方向的自由度的调节，进而实现棱镜Rx方向的自由度的调节。

本实用新型棱镜固定装置，由于棱镜是粘接在棱镜固定装置的固定板上，因此，固定板与棱镜同步运动。通过固定板上端面与支架的横梁两端部分紧固连接的第三调节螺栓，可以实现固定板在Rz方向的自由度调节，从而实现棱镜在Rz方向的自由度调节。即先旋松固定板上的第一锁紧螺栓，再旋紧或者旋松横梁与固定板两端的第三调节螺栓，调整好位置后，再旋紧第一锁紧螺栓，通过改变的第三调节螺栓旋入固定板的深度，使固定板左端或者右端向上或者向下偏移，从而实现固定板在Rz方向自由度的调节，进而实现棱镜在Rz方向自由度的调节。

本实用新型棱镜固定装置，由于棱镜是粘接在棱镜固定装置的固定板上，因此，固定板与棱镜同步运动。通过固定板上端面与支架的横梁两端设置的第三调节螺栓，以及固定板与支架的水平板中心的凸台和第二通孔，也可以实现固定板在Rz方向的自由度调节。即先旋松固定板与支架的水平板固定连接的第一锁紧螺栓，再旋紧或旋松第三调节螺栓，调整好位置后，再旋紧第一锁紧螺栓。通过改变第三调节螺栓抵在固定板上端面的高度，使固定板左端或者右端向上或者向下偏移，从而实现固定板在Rz方向自由度的调节，进而实现棱镜在Rz方向自由度的调节。本技术方案中，由于固定板背面中心设置有凸台和支架的水平板中心相配的第二通孔的作用而使固定板不会从支架上脱落下来。

以上两种Rz自由度调节的技术方案中，由于固定板上的第一通孔的直径大于螺栓的螺杆部分、小于螺栓的螺头部分，因此，固定板在Rz方向上有调整的余地。

附图说明

图1是本实用新型棱镜固定装置的安装位置示意图；

图2是本实用新型棱镜固定装置实施例1的立体结构示意图；

图3是本实用新型棱镜固定装置图2的拆解结构示意图；

图4是本实用新型棱镜固定装置实施例1固定板的结构示意图；

图5是本实用新型棱镜固定装置实施例1的Ry调节状态示意图；

图6是本实用新型棱镜固定装置实施例1支架的立体结构示意图；

图7是本实用新型棱镜固定装置实施列1的固定板正面立体结构示意图；

图8是本实用新型棱镜固定装置实施列1的固定板背面立体结构示意图；

图9是本实用新型棱镜固定装置实施例2的立体结构示意图。

图中所示：100、棱镜，200、固定板，201、凸台，202、第一通孔，203、第二螺纹孔，204、沉孔，205、通光槽，206、腰形孔，206、第五螺纹孔，300、支架，301、第二通孔，302、第一螺纹孔，303、第四螺纹孔，304、U形槽孔，305、第三螺纹孔，306、第三通孔，310、水平板，320、横梁，401、第一锁紧螺栓，402、第一调节螺栓，501、第三调节螺栓，502、弹簧，601、第二锁紧螺栓，602、第二调节螺栓，603、定位销。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细描述：

本实用新型棱镜固定装置，使用时，将棱镜100粘接在固定板200的正面中心位置，再将棱镜固定装置安装在成像模块的外壳上。

实施例1：

如图1、图2、图3、图6、图7、图8所示，本实用新型提供一种棱镜固定装置，包括粘接有棱镜100的固定板200，它还包括与固定板200活动连接的支架300，所述支架300用于调节固定板200的方向，从而调节棱镜100的方向。

所述支架300包括水平板310，所述水平板310的左右两侧设置的第一螺纹孔302；所述固定板200上设置有与第一螺纹孔302相配的第一通孔202；还包括第一锁紧螺栓401，所述第一锁紧螺栓401穿过固定板200第一通孔202紧固连接在水平板310的第一螺纹孔302内；所述第一通孔202的直径大于所述第一锁紧螺栓401的螺杆部分直径、小于螺头部分的直径；所述第一锁紧螺栓401的周边设置有第二螺纹孔203，所述的第二螺纹孔203内安装有第一调节螺栓402，所述的第一调节螺栓402穿过第二螺纹孔203抵在支架300的水平板310上。

此种技术方案中，由于棱镜100是粘接在棱镜固定装置的固定板200上，因此，固定板200与棱镜100同步运动。通过固定板200与支架300设置的第一锁紧螺栓401和第一调节螺栓402，可以实现固定板200在Ry方向的自由度调节，从而实现棱镜在Ry方向的自由度调节。即先旋松第一锁紧螺栓401，再旋紧或旋松第一调节螺栓402，调整好位置后，再旋紧第一锁紧螺栓401，通过改变第一调节螺栓402螺杆部分顶在支架300的水平板310的长度，改变固定板200与水平板310之间的间隙，从而实现固定板200在Ry方向自由度的调节，进而实现棱镜100在Ry方向自由度的调节。

如图2、图3、图6、图9所示，所述支架300还包括位于水平板310上端的横梁320，所述横梁320的两端分别设置有U形槽孔304，所述的U形槽孔304内安装有第二锁紧螺栓601；所述U形槽孔304的周边至少设置有一个第三螺纹孔305，所述的第三螺纹孔305内安装有第二调节螺栓602。

此种技术方案中，由于棱镜100是粘接在棱镜固定装置的固定板200上，因此，固定板200与棱镜100同步运动。通过支架300的横梁两端设置的第二锁紧螺栓601和第二调节螺栓602，可以实现固定板200在Rx方向的自由度调节，从而实现棱镜100在Rx方向自由度的调节。即先旋松第二锁紧螺栓601，再旋紧或旋松第二调节螺栓602，调整好位置后，再旋紧第二锁紧螺栓601，通过改变第二调节螺栓602的螺杆部分抵在成像模块外壳的长度或者旋入成像模块外壳上设置的螺纹孔深度，从而实现固定板200在Rx方向自由度的调节，进而实现棱镜100在Rx方向的自由度的调节。

如图2-5，7-8所示，所述固定板200的上端面中间部分为弧形面、两端部分为平面，所述固定板200的背面中心设置有腰鼓形凸台201，所述支架300的水平板310的中心设置有与所述凸台201相配的第二通孔301，所述支架300还包括位于水平板310上端的横梁320，所述固定板200的上端面的中间部分顶在所述的横梁320上，所述的横梁320上设置有两个第四螺纹孔303，所述的第四螺纹孔303内安装有第三调节螺栓501，所述的第三调节螺栓501穿过第四螺纹孔303抵在固定板200的上端面的两端。

此种技术方案中，由于棱镜100是粘接在棱镜固定装置的固定板200上，因此，固定板200与棱镜100同步运动。通过固定板200上端面与支架300的横梁320两端设置的第三调节螺栓501，以及固定板200与支架300的水平板310中心的凸台201和第二通孔301，也可以实现固定板200在Rz方向的自由度调节。即先旋松固定板200与支架300的水平板310固定连接的第一锁紧螺栓401，再旋紧或旋松第三调节螺栓501，调整好位置后，再旋紧第一锁紧螺栓401。通过改变第三调节螺栓501抵在固定板200上端面的高度，使固定板200左端或者右端向上或者向下偏移，从而实现固定板200在Rz方向自由度的调节，进而实现棱镜100在Rz方向自由度的调节。本技术方案中，由于固定板200背面中心设置有凸台201和支架300的水平板310中心相配的第二通孔301的作用而使固定板200不会从支架300上脱落下来。本实施方案中，第三调节螺栓501的螺杆部分还可以套有弹簧502，弹簧502能增大固定板200与支架300的横梁320之间的作用力。

如图7所示，所述固定板200的正面中心设置有沉孔204，所述沉孔204的中心延向固定板200的至少一边设置有通光槽205。此种方式中，在使用时，可以将棱镜100粘接在固定板200正面中心的沉孔204的中心，可以防止棱镜100被人或其它设备碰掉，起到一种保护作用。

如图2、图3、图6、图7、图8所示，所述固定板200和支架300的中心延向四边均设置有腰形孔206。其优点在于：腰形孔206，是为了使其它光线能穿过棱镜固定装置。

如图3、图9所示，所述支架300的横梁320上还设置有定位销603，所述的定位销603一端固定在横梁320上，另一端为自由端。其优点在于：在棱镜固定装置与成像模块的外壳安装时，所述的定位销603可以实现棱镜固定装置与成像模块的外壳的定位。

以上Rz自由度调节的技术方案中，由于固定板200上的第一通孔202的直径大于第一锁紧螺栓401的螺杆部分直径、小于螺栓的螺头部分直径，因此，固定板200在Rz方向上有调整的余地。

实施例2：

本实施例2与实施例1相比，其技术方案中仅在于棱镜的Rz的调节方案的变化，其它技术方案相同。

如图9所示，所述支架300还包括位于水平板310上端的横梁320，所述的横梁320上设置有两个第三通孔306，所述的第三通孔306内均安装有第三调节螺栓501，所述的第三调节螺栓501与所述固定板200上端面的两端设置的第五螺纹孔207紧固连接。本技术方案中，第三调节螺栓501的螺杆部分还可以套有弹簧502。

此种技术方案中，由于棱镜100是粘接在棱镜固定装置的固定板200上，因此，固定板200与棱镜100同步运动。通过固定板200上端面与支架300的横梁320两端部分紧固连接的第三调节螺栓501，可以实现固定板200在Rz方向的自由度调节，从而实现棱镜100在Rz方向的自由度调节。即先旋松固定板200上的第一锁紧螺栓401，再旋紧或者旋松横梁320与固定板200两端的第三调节螺栓501，调整好位置后，再旋紧第一锁紧螺栓401，通过改变的第三调节螺栓501旋入固定板200的深度，使固定板200左端或者右端向上或者向下偏移，从而实现固定板200在Rz方向自由度的调节，进而实现棱镜在Rz方向自由度的调节。

Claims

1.一种棱镜固定装置，包括粘接有棱镜(100)的固定板(200)，其特征在于：它还包括与固定板(200)活动连接的支架(300)。

2.根据权利要求1所述的棱镜固定装置，其特征在于：所述支架(300)包括水平板(310)，所述水平板(310)的左右两侧设置的第一螺纹孔(302)；所述固定板(200)上设置有与第一螺纹孔(302)相配的第一通孔(202)；还包括第一锁紧螺栓(401)，所述第一锁紧螺栓(401)穿过固定板(200)第一通孔(202)紧固连接在水平板(310)的第一螺纹孔(302)内；所述第一通孔(202)的直径大于所述第一锁紧螺栓(401)的螺杆部分直径、小于螺头部分的直径；所述第一锁紧螺栓(401)的周边设置有第二螺纹孔(203)，所述第二螺纹孔(203)内安装有第一调节螺栓(402)，所述第一调节螺栓(402)穿过第二螺纹孔(203)抵在支架(300)的水平板(310)上。

3.根据权利要求1所述的棱镜固定装置，其特征在于：所述支架(300)还包括位于水平板(310)上端的横梁(320)，所述横梁(320)的两端分别设置有U形槽孔(304)，所述U形槽孔(304)内安装有第二锁紧螺栓(601)；所述U形槽孔(304)的周边至少设置有一个第三螺纹孔(305)，所述第三螺纹孔(305)内安装有第二调节螺栓(602)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的棱镜固定装置，其特征在于：所述固定板(200)的上端面中间部分为弧形面、两端部分为平面，所述固定板(200)的背面中心设置有腰鼓形凸台(201)，所述支架(300)的水平板(310)的中心设置有与所述凸台(201)相配的第二通孔(301)，所述支架(300)还包括位于水平板(310)上端的横梁(320)，所述固定板(200)的上端面的中间部分顶在所述横梁(320)上，所述横梁(320)上设置有两个第四螺纹孔(303)，所述第四螺纹孔(303)内安装有第三调节螺栓(501)，所述第三调节螺栓(501)穿过第四螺纹孔(303)抵在固定板(200)的上端面的两端。

5.根据权利要求4所述的棱镜固定装置，其特征在于：所述第三调节螺栓(501)的螺杆部分套有弹簧(502)。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的棱镜固定装置，其特征在于：所述支架(300)还包括位于水平板(310)上端的横梁(320)，所述横梁(320)上设置有两个第三通孔(306)，所述第三通孔(306)内均安装有第三调节螺栓(501)，所述第三调节螺栓(501)与所述固定板(200)上端面的两端设置的第五螺纹孔(207)紧固连接。

7.根据权利要求6所述的棱镜固定装置，其特征在于：所述第三调节螺栓(501)的螺杆部分套有弹簧(502)。

8.根据权利要求1所述的棱镜固定装置，其特征在于：所述固定板(200)和支架(300)的中心延向四边均设置有腰形孔(206)。

9.根据权利要求8所述的棱镜固定装置，其特征在于：所述固定板(200)的正面中心设置有沉孔(204)，所述沉孔(204)的中心延向固定板(200)的至少一边设置有通光槽(205)。

10.根据权利要求3所述的棱镜固定装置，其特征在于：所述支架(300)的横梁(320)上还设置有定位销(603)，所述定位销(603)一端固定在横梁(320)上，另一端为自由端。