CN201896192U - 一种双向石墨舟 - Google Patents

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Abstract

一种双向石墨舟，含两片及以上的石墨片，所述石墨片两端设置有连接部，处于中间的相邻石墨片之间设置有电极隔块，处于两侧的相邻石墨片之间夹有限位隔块，所述电极隔块和限位隔块夹于相邻连接部中间，电极隔块垂直于石墨片方向的外侧面设置有电极孔。本实用新型每端均可作为前端输送入真空镀膜设备，避免了因送入方向错误造成的石墨舟损坏或设备内电极损坏；镀膜沉积快，生产效率高、效果好。

Description

一种双向石墨舟
技术领域
本实用新型涉及一种工业用周转载物器具，尤其涉及一种石墨舟。
背景技术
在太阳能和半导体生产中，通常采用薄膜沉积工艺进行半导体的镀膜，在进行镀膜时，将待镀膜的硅片插入真空镀膜设备的载片器上，然后将载片器输送入真空镀膜设备内进行放电镀膜，镀膜结束后取出载片器，将镀膜后的硅片从载片器上取下。
目前通常用石墨舟作为载片器，因为在镀膜工艺过程中，需要对待镀膜的硅片放电，因此真空镀膜设备内设置有电极，石墨舟上设置有与电极相配套的电极孔，造成了石墨舟只能单向输送入真空镀膜设备，一旦送入方向错误，则极易造成石墨舟损坏或设备内电极损坏。
实用新型内容
本实用新型为解决现有技术问题，提供一种便于使用、安全可靠的石墨舟。
本实用新型的技术方案是：一种双向石墨舟，含两片及以上的石墨片，所述石墨片两端设置有连接部，处于中间的相邻石墨片之间设置有电极隔块，处于两侧的相邻石墨片之间夹有限位隔块，所述电极隔块和限位隔块夹于相邻连接部中间，电极隔块垂直于石墨片方向的外侧面设置有电极孔。
两端的电极隔块上均设置有电极孔，因此无论石墨舟以哪个方向送入真空镀膜设备，均可与设备内的电极相配套，保证生产过程的顺利进行。
作为优选，所述石墨片包括中石墨片和下石墨片，所述中石墨片的中部设置有中连接部，所述下石墨片的下部设置有下连接部，中石墨片与下石墨片交错设置。
作为优选，所有中连接部的大小一致，所有下连接部的大小一致。
作为优选，所述石墨片上设置有硅片位，所述硅片位设置有镂空。石墨片上的镂空可使硅片与石墨片接触面积减小，减少装卸、镀膜过程中对硅片表面的磨损和沾污，同时有利于镀膜的沉积，提高生产效率。
综上所述，本实用新型具有以下优点：
1、石墨舟每端均可作为前端输送入真空镀膜设备，避免了因送入方向错误造成的石墨舟损坏或设备内电极损坏；
2、镀膜沉积快，生产效率高、效果好。
附图说明
图1为本实用新型实施例一立体结构示意图；
图2为本实用新型实施例一侧视图。
图中，1、石墨片，11、中石墨片，12、下石墨片，101、中连接部，102、下连接部，111、限位隔块，112、电极隔块，2、电极孔，3、硅片位。
具体实施方式
下面结合附图以实施例对本实用新型作进一步说明。
实施例一：
一种双向石墨舟，如图1、2所示，包括17片石墨片1，石墨片1包括中石墨片11和下石墨片12，中石墨片11的中部设置有中连接部101，下石墨片12的下部设置有下连接部102，中石墨片11与下石墨片12交错设置，所有中连接部101的大小一致，所有下连接部102的大小一致，处于中间的相邻石墨片1之间设置有电极隔块112，处于两侧的相邻石墨片1之间夹有限位隔块111，电极隔块112和限位隔块111夹于相邻连接部中间，电极隔块112垂直于石墨片1方向的外侧面设置有电极孔2；石墨片1上设置有硅片位3，硅片位3设置有镂空。
实施例二：
与实施例一的不同之处在于，石墨片1设置有15片。
实施例三：
与实施例一的不同之处在于，石墨片1设置有19片。

Claims (4)

1.一种双向石墨舟，含两片及以上的石墨片，所述石墨片两端设置有连接部，其特征在于：处于中间的相邻石墨片之间设置有电极隔块，处于两侧的相邻石墨片之间夹有限位隔块，所述电极隔块和限位隔块夹于相邻连接部中间，电极隔块垂直于石墨片方向的外侧面设置有电极孔。
2.根据权利要求1所述双向石墨舟，其特征在于：所述石墨片包括中石墨片和下石墨片，所述中石墨片的中部设置有中连接部，所述下石墨片的下部设置有下连接部，中石墨片与下石墨片交错设置。
3.根据权利要求2所述双向石墨舟，其特征在于：所有中连接部的大小一致，所有下连接部的大小一致。
4.根据权利要求1所述双向石墨舟，其特征在于：所述石墨片上设置有硅片位，所述硅片位设置有镂空。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102534564A (zh) * 2012-02-24 2012-07-04 湖南红太阳光电科技有限公司 一种pecvd用的双面电极孔石墨舟
CN106848003B (zh) * 2017-04-11 2018-04-13 常州亿晶光电科技有限公司 石墨舟陶瓷套快速安装装置
CN113430503A (zh) * 2021-07-15 2021-09-24 大连连城数控机器股份有限公司 一种可镀多种膜的管式pecvd石墨舟结构

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