CN201853684U - 贴片设备 - Google Patents

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吕孟谕
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Abstract

本实用新型公开了一种贴片设备,包括一机台主体及架设在机台主体的工件承载台、扩张筒、按压筒、胶带卷筒、收取卷筒、光电传感器与反射板。光电传感器与反射板分别位于扩张筒与胶带卷筒轴心联机的相反两侧,且光电传感器电性连接于一控制器,光电传感器并包括有一出光面,出光面朝向反射板。通过,当光电传感器感测到的感光量过低,控制器便判定离心纸处于状态异常,因而作出对应动作例如控制一警报器运作甚至使按压筒停止作动,以确保贴片动作不会于此异常状态下继续进行。

Description

贴片设备
技术领域
本实用新型涉及种贴片设备,尤指一种适用于半导体晶片,且具有检测离心纸位置异常功能的贴片设备。
背景技术
在目前实务作法中,晶片切割或研磨工艺之前会进行一晶片贴片步骤,亦即在晶片其中一面贴附上一胶带,例如蓝膜(blue tape),通过使切割出的晶粒或研磨碎屑黏附在胶带上。
现有晶片贴片设备主要包括有机台主体、晶片载台与滚筒组,后二者皆架设在机台主体上。滚筒组主要是利用扩张筒使胶带可处于展开并拉紧的状态,利用胶带卷筒供给胶带,利用按压筒下压胶带使其平贴于晶片,以及利用收取卷筒将自胶带分离的离心纸卷动回收。
然而,在上述现有贴片设备架构下,若发生离心纸位置异常,未被妥善收取导致下垂现象,可能会使胶带与离心纸一起贴到晶片,则晶片将产生凸起刮伤、残胶异常。上述缺点需重新贴片不仅在设备维修方面所耗损的人力、胶带使用量异常的增加及机器稼动量下降都是很大的成本损失。
实用新型内容
本实用新型的一目的是提供一种贴片设备,以便能在贴片动作进行前检测出离心纸位置异常,避免造成产品不良。
为达成上述目的,本实用新型的贴片设备包括有一机台主体以及架设在机台主体的一工件承载台、一扩张筒、一按压筒、一胶带卷筒、一收取卷筒、一光电传感器与一反射板。上述按压筒、胶带卷筒与收取卷筒皆设置在高于工件承载台的位置,且扩张筒、按压筒、胶带卷筒、收取卷筒相互平行。
本实用新型一种贴片设备,包括:一机台主体;一工件承载台,架设于该机台主体;一扩张筒,架设于该机台主体;一按压筒,架设于该机台主体且高于该工件承载台;一胶带卷筒,架设于该机台主体且高于该工件承载台;以及一收取卷筒,架设于该机台主体且高于该工件承载台,其中该扩张筒、该按压筒、该胶带卷筒及该收取卷筒相互平行;其特征在于:该贴片设备还包括有一光电传感器与一反射板皆架设于该机台主体,且分别位于该扩张筒与该胶带卷筒的轴线共平面的相反两侧,该光电传感器电性连接于一控制器,该光电传感器并包括有一出光面,该出光面朝向该反射板。
所述的贴片设备,其还包括一传感器固定架与至少一传感器锁附件,该传感器固定架包括有至少一调整槽,该光电传感器包括有至少一传感器长槽,该至少一传感器锁附件对应穿过该至少一传感器长槽与该至少一调整槽而锁入该机台主体。
所述的贴片设备,其还包括一反射板固定架与至少一固定架锁附件,该反射板固定于该反射板固定架,该反射板固定架包括有至少一调整槽,该机台主体包括有至少一机台长槽,该至少一固定架锁附件对应穿过该至少一调整槽与该至少一机台长槽。
所述的贴片设备,其中,该反射板是螺锁固定于该反射板固定架。
所述的贴片设备,其中,还包括有一切刀组,架设于该机台主体,并朝向该工件承载台设置。
1所述的贴片设备,其中,该工件承载台开设有多个真空吸附孔。
上述光电传感器与反射板分别位于扩张筒与胶带卷筒轴心联机的相反两侧。光电传感器电性连接于一控制器,光电传感器并包括有一出光面,出光面是朝向反射板。
通过上述配置,贴片设备在以按压筒下压胶带以使其贴附于工件如晶片之前(例如扩张筒作用当下),可先利用光电传感器获得实际感光量的信息,再由控制器判断所接收感光量信息是否合于标准,不合于标准即判定为状态异常,并控制按压筒停止作动。如此即可确保贴片步骤不会在离心纸状态异常下续行。
此外,还可另外附加设计成当按压筒作动时,光电传感器停止作用,如此可避免贴片过程误判情形。
关于光电传感器的固定方式,本实用新型的贴片设备还包括一传感器固定架与至少一传感器锁附件,其中传感器固定架包括有至少一调整槽,且光电传感器包括有至少一传感器长槽。前述至少一传感器锁附件对应穿过至少一传感器长槽与至少一调整槽而锁入机台主体。
关于反射板的固定方式,本实用新型的贴片设备可更包括一反射板固定架与至少一固定架锁附件,其中反射板固定于反射板固定架,且反射板固定架包括有至少一调整槽,机台主体包括有至少一机台长槽。前述至少一固定架锁附件对应穿过至少一调整槽与至少一机台长槽。
上述反射板可以是螺锁固定于反射板固定架,或者其它一般常见固定手段例如绑缚、黏贴、卡合等。
本实用新型的贴片设备可更包括有一切刀组,架设于机台主体,并朝向工件承载台设置。当工件经贴片完成,切刀组下移切割多余胶带。
上述工件承载台可开设有多个真空吸附孔,用以吸附固定工件。
本实用新型的有益效果是,所提供的贴片设备主要利用光电传感器的感光量信号判断离心纸是否位置异常,因为离心纸位置异常时光束同时穿过胶带与离心纸,其透光量必然相对较小,而离心纸位置正常时光束只穿过胶带,其透光量必然相对较大,将参考信号所对应的光量大小设定在上述两种透光量之间即可轻易判定状态是否异常。本实用新型除了可预警状态异常并防止后续机器错误动作,更可避免贴片过程中误判的情形。
附图说明
图1为本实用新型一较佳实施例的贴片设备立体图;
图2为本实用新型一较佳实施例中光电传感器、反射板及相关固定架的分解图;
图3为本实用新型一较佳实施例的贴片设备电性元件连接方块图;
图4为本实用新型一较佳实施例的贴片设备于离心纸位置异常时的平面示意图;
图5为本实用新型一较佳实施例的贴片设备于离心纸位置正常时的平面示意图;
图6为本实用新型一较佳实施例的贴片设备于按压筒作动时的平面示意图;
图7为本实用新型一较佳实施例的贴片设备于切刀组作动时的平面示意图。
【主要元件符号说明】
机台主体10        支撑托架101
托架长槽102       工件承载台11
真空吸附孔111     扩张筒12
马达121,131      按压筒13
胶带卷筒14        收取卷筒15
导引滚轮16        光电传感器20
出光面201         传感器长槽202
继电器203         反射板21
螺孔211           固定架22
第三区段221       第四区段222
调整槽223,224    传感器固定架23
第一区段231       第二区段232
控制器24          切刀组31
晶片32            胶带33
离心纸34          传感器锁附件40
固定架锁附件41    锁附件42,43
警报器44          轴线共平面P
具体实施方式
参考图1~3,分别为贴片设备立体图、光电传感器、反射板及相关固定架的分解图、贴片设备电性元件连接方块图。本实施例是举晶片的贴片设备为例说明。贴片设备主要包括有一机台主体10及架设于机台主体10的贴片相关元件,这些元件包括一工件承载台11、一扩张筒12、一按压筒13、一胶带卷筒14、一收取卷筒15、一导引滚轮16、一切刀组31、一光电传感器20及一反射板21。
工件承载台11用于承载晶片,工件承载台11开设有多个真空吸附孔111以吸附固定晶片。按压筒13、胶带卷筒14、收取卷筒15及导引滚轮16皆设置高于工件承载台11。此外,扩张筒12、按压筒13、胶带卷筒14、收取卷筒15及导引滚轮16皆相互平行设置。胶带33从胶带卷筒14延伸出直到扩张筒12,被扩张筒12拉张开。胶带33下方的离心纸34则跨过导引滚轮16而卷收在收取卷筒15。
切刀组31设置在工件承载台11上方并朝向工件承载台11,用于下落切断对晶片多余的部分胶带。
本实施例中,光电传感器20与反射板21皆是透过固定架22,23而架设在机台主体10,详细说明如下。传感器固定架23略呈L形,包括一第一区段231及自第一区段231弯折延伸的一第二区段232。第一区段231是被锁附件43穿过,锁附件43再锁入机台主体10,因此传感器固定架23依靠锁附件43而被固定至机台主体10。第二区段232开设有一组平行的调整槽231,而光电传感器20本身亦开设有对应上述调整槽231的一组传感器长槽202,透过传感器锁附件40同时穿过调整槽231与传感器长槽202使得光电传感器20得以支撑固定在传感器固定架23。
反射板固定架22包括有一第三区段221及自第三区段221弯折延伸的一第四区段222。第三区段221与第四区段222各开设有一组调整槽223,224,其中调整槽223被固定架锁附件41穿过,固定架锁附件41并锁入一支撑托架101上的托架长槽102,支撑托架101属于机台主体10的一部分。因此,反射板固定架22依靠锁附件41而被固定至机台主体10。反射板21开设有一组螺孔211,螺孔211被锁附件42穿过,锁附件42并锁入调整槽224,因此反射板21依靠锁附件42而被固定至反射板固定架22。
由于上述各固定架具有调整槽结构,光电传感器20与反射板21皆能在系统中进行位置平移与方位转动的调整,使其应用弹性更为扩大。光电传感器20与反射板21分别设置于扩张筒轴心线与胶带卷筒轴心线所在共同平面(即轴线共平面P)的相反两侧。光电传感器20具有发出光束的出光面201,需将出光面201朝向反射板21以便使所射出光束能顺利自反射板反射回来并被接收。
扩张筒12与按压筒13分别由马达121,131驱动,而二马达121,131皆电性连接至一控制器24而受其控制。光电传感器20透过一继电器203而与控制器24电性连接,通过控制光电传感器20的作动。控制器24例如一可程序化逻辑控制器(PLC)。当控制器24判断光电传感器20所传回信号表示异常状态时,便控制马达121,131停止,间接使扩张筒12与按压筒13停止动作。
在本实施例中,当扩张筒12下压而按压筒13尚未动作时,控制器24使光电传感器20立即开始进行检测动作。
参考图4,图中显示晶片32已放置在工件承载台11,并因真空吸附孔111的真空吸力而稳固地定位。在此图中由于离心纸34异常下垂,亦即处于异常位置,光电传感器20所发出光束将同时穿过检测离心纸34与胶带33,然后经由反射板21传回。之后由控制器24比对所获得光量信号(代表实际接收的光量大小)是否与代表正常状态的一参考信号(代表光束只穿过胶带所获得光量大小)一致,当然亦可设定容许误差范围。在此情况下必然得到不一致的比对结果,因而判定离心纸34状态异常。一旦获知离心纸34为状态异常,控制器24便不会启动按压筒13的马达131,以避免造成贴片错误。当然,也可以另外设置电性连接于控制器24的一警报器44,可设置在机台10上适当位置,如图1与图3所示,警报器44例如发光式警报器或发声式警报器,通过让工作人员实时察觉此状态异常。
参考图5~7,为一较佳实施例的贴片流程示意图。图5中由于离心纸34处于正常位置,光电传感器20所发出光束将只穿过胶带33,最后接收到的光量信号经与前述参考信号比对必然呈现一致(包括在误差范围内的情况),因而判定离心纸34状态正常。一旦获知离心纸34为状态正常,控制器24便会启动按压筒13的马达131,开始进行自动贴片作业。
图6显示按压筒13已开始将胶带33下压至晶片32其中一面。一旦按压筒13作动,控制器24便控制光电传感器20停止检测,避免贴片过程中出现误判。
图7显示按压筒13已完成晶片32的贴片步骤,此时切刀组31便会对准预设切割位置降下,通常在晶片32边缘处,将胶带33多余的部分切除,得到完整的贴片晶片。
上述实施例仅为了方便说明而举例而已,本实用新型所主张的权利范围自应以申请专利范围所述为准,而非仅限于上述实施例。

Claims (6)

1.一种贴片设备,包括:
一机台主体;
一工件承载台,架设于该机台主体;
一扩张筒,架设于该机台主体;
一按压筒,架设于该机台主体且高于该工件承载台;
一胶带卷筒,架设于该机台主体且高于该工件承载台;以及
一收取卷筒,架设于该机台主体且高于该工件承载台,其中该扩张筒、该按压筒、该胶带卷筒及该收取卷筒相互平行;
其特征在于:
该贴片设备还包括有一光电传感器与一反射板皆架设于该机台主体,且分别位于该扩张筒与该胶带卷筒的轴线共平面的相反两侧,该光电传感器电性连接于一控制器,该光电传感器并包括有一出光面,该出光面朝向该反射板。
2.如权利要求1所述的贴片设备,其特征在于,还包括一传感器固定架与至少一传感器锁附件,该传感器固定架包括有至少一调整槽,该光电传感器包括有至少一传感器长槽,该至少一传感器锁附件对应穿过该至少一传感器长槽与该至少一调整槽而锁入该机台主体。
3.如权利要求1所述的贴片设备,其特征在于,还包括一反射板固定架与至少一固定架锁附件,该反射板固定于该反射板固定架,该反射板固定架包括有至少一调整槽,该机台主体包括有至少一机台长槽,该至少一固定架锁附件对应穿过该至少一调整槽与该至少一机台长槽。
4.如权利要求3所述的贴片设备,其特征在于,该反射板是螺锁固定于该反射板固定架。
5.如权利要求1所述的贴片设备,其特征在于,还包括有一切刀组,架设于该机台主体,并朝向该工件承载台设置。
6.如权利要求1所述的贴片设备,其特征在于,该工件承载台开设有多个真空吸附孔。
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CN109132685A (zh) * 2018-09-04 2019-01-04 华中科技大学苏州脑空间信息研究院 一种切片收片方法
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