CN201809434U - 一种NiCr阴极溅射挡板 - Google Patents
一种NiCr阴极溅射挡板 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201809434U CN201809434U CN2010205471978U CN201020547197U CN201809434U CN 201809434 U CN201809434 U CN 201809434U CN 2010205471978 U CN2010205471978 U CN 2010205471978U CN 201020547197 U CN201020547197 U CN 201020547197U CN 201809434 U CN201809434 U CN 201809434U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cathode
- baffle plate
- expansion plate
- nicr
- baffle body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开一种NiCr阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述的第一阴极挡板本体与所述的第二阴极挡板本体之间具有一个口部，所述的第一阴极挡板本体上设置有与之相互平行的能够沿其表面滑动的第一伸缩板，所述的第二阴极挡板本体上设置有与之相互平行的能够沿其表面滑动的第二伸缩板，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板能够相向滑动或者相背滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板相向滑动时将所述的口部部分封盖。本实用新型的结构在即使NiCr阴极功率很低的情况下，确保靶材原子以高能量溅射到基片表面，增加NiCr膜层与介质层的附着力，提高产品的耐磨、耐酸碱性能，适合推广使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种玻璃制造行业，更具体地说，涉及一种NiCr阴极溅射挡板。
背景技术
原来，大面积连续镀膜线上的NiCr阴极溅射挡板较窄，两个阴极挡板之间的距离为300mm，具有较快的沉积速度。但在镀制一些比较薄的Ni Cr层膜系时，NiCr阴极功率不得不设置到1Kw或是更低，如此低的功率密度使得NiCr原子溅射到基片表面时动量非常小，附着力很差，产品非常容易出现脱膜，氧化等质量缺陷。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种NiCr阴极溅射挡板。
为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
一种NiCr阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述的第一阴极挡板本体与所述的第二阴极挡板本体之间具有一个口部，所述的第一阴极挡板本体上设置有第一伸缩板，所述的第二阴极挡板本体上设置有第二伸缩板，所述的第一伸缩板与所述的第一阴极挡板本体相互平行，所述的第二伸缩板与所述的第二阴极挡板本体相互平行，所述的第一伸缩板能够沿所述的第一阴极挡板本体的表面滑动，所述的第二伸缩板能够沿所述的第二阴极挡板本体的表面滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板能够相向滑动或者相背滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板相向滑动时将所述的第一阴极挡板本体与第二阴极挡板本体之间的口部部分封盖。
优选地，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板之间的可调节的距离范围至少包括145mm-155mm。
本实用新型的有益效果是：通过在原有不可调的NiCr阴极溅射挡板的开口部加设一对相互之间的距离可调的第一伸缩板与第二伸缩板，可以根据生产要求来调节NiCr阴极溅射的开口宽度，从而在即使NiCr阴极功率很低的情况下，确保靶材原子以高能量溅射到基片表面，增加NiCr膜层与介质层的附着力，提高产品的耐磨、耐酸碱性能，同时可以保证产品不会出现脱膜、氧化等质量缺陷，有效地提高了成品率。
附图说明
附图1为本实用新型的NiCr阴极溅射挡板的结构示意图。
附图中：1、第一阴极挡板本体；2、第二阴极挡板本体；3、第一伸缩板；4、第二伸缩板。
具体实施方式
下面结合附图所示的实施例对本实用新型的技术方案作以下详细描述：
如附图1所示，本实用新型的NiCr阴极溅射挡板包括第一阴极挡板本体1和第二阴极挡板本体2，第一阴极挡板本体1与第二阴极挡板本体2之间具有一个口部，第一阴极挡板本体1上设置有第一伸缩板3，第二阴极挡板本体2上设置有第二伸缩板4，第一伸缩板3与第一阴极挡板本体1相互平行，第二伸缩板4与第二阴极挡板本体2相互平行，第一伸缩板3能够沿第一阴极挡板本体1的表面滑动，第二伸缩板4能够沿第二阴极挡板本体2的表面滑动，第一伸缩板3与第二伸缩板4能够相向滑动或者相背滑动，第一伸缩板3与第二伸缩板4相向滑动时将第一阴极挡板本体1与第二阴极挡板本体2之间的口部部分封盖，第一伸缩板3与第二伸缩板4之间的可调节的距离范围包括145mm-155mm。
上述实施例中的第一伸缩板3与第二伸缩板4的距离范围也可以从0mm开始直至与第一阴极挡板本体1与第二阴极挡板本体2之间的口部的宽度相同。
本实用新型通过在原有不可调的NiCr阴极溅射挡板的开口部加设一对相互之间的距离可调的第一伸缩板与第二伸缩板，可以根据生产要求来调节NiCr阴极溅射的开口宽度，从而在即使NiCr阴极功率很低的情况下，确保靶材原子以高能量溅射到基片表面，增加NiCr膜层与介质层的附着力，提高产品的耐磨、耐酸碱性能，同时可以保证产品不会出现脱膜、氧化等质量缺陷，有效地提高了成品率。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种NiCr阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述的第一阴极挡板本体与所述的第二阴极挡板本体之间具有一个口部，其特征在于：所述的第一阴极挡板本体上设置有第一伸缩板，所述的第二阴极挡板本体上设置有第二伸缩板，所述的第一伸缩板与所述的第一阴极挡板本体相互平行，所述的第二伸缩板与所述的第二阴极挡板本体相互平行，所述的第一伸缩板能够沿所述的第一阴极挡板本体的表面滑动，所述的第二伸缩板能够沿所述的第二阴极挡板本体的表面滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板能够相向滑动或者相背滑动，所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板相向滑动时将所述的第一阴极挡板本体与第二阴极挡板本体之间的口部部分封盖。
2.根据权利要求1所述的一种NiCr阴极溅射挡板，其特征在于：所述的第一伸缩板与所述的第二伸缩板之间的可调节的距离范围至少包括145mm-155mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010205471978U CN201809434U (zh) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 一种NiCr阴极溅射挡板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010205471978U CN201809434U (zh) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 一种NiCr阴极溅射挡板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201809434U true CN201809434U (zh) | 2011-04-27 |
Family
ID=43892374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2010205471978U Expired - Lifetime CN201809434U (zh) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 一种NiCr阴极溅射挡板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201809434U (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102757183A (zh) * | 2012-08-02 | 2012-10-31 | 金堆城洛阳节能玻璃有限公司 | 一种提高低辐射镀膜玻璃生产效率的方法 |
| CN105714255A (zh) * | 2016-04-27 | 2016-06-29 | 芜湖真空科技有限公司 | 易冷却的玻璃溅射机构 |
| CN105948523A (zh) * | 2016-04-27 | 2016-09-21 | 芜湖真空科技有限公司 | 玻璃溅射机构 |
| CN112144025A (zh) * | 2019-06-26 | 2020-12-29 | 东泰高科装备科技有限公司 | 遮挡装置 |
| WO2021184767A1 (zh) * | 2020-03-18 | 2021-09-23 | 顺景园智能装备科技发展(深圳)有限公司 | 一种脱模水模间截留伸缩屏及环境保护系统 |
-
2010
- 2010-09-29 CN CN2010205471978U patent/CN201809434U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102757183A (zh) * | 2012-08-02 | 2012-10-31 | 金堆城洛阳节能玻璃有限公司 | 一种提高低辐射镀膜玻璃生产效率的方法 |
| CN105714255A (zh) * | 2016-04-27 | 2016-06-29 | 芜湖真空科技有限公司 | 易冷却的玻璃溅射机构 |
| CN105948523A (zh) * | 2016-04-27 | 2016-09-21 | 芜湖真空科技有限公司 | 玻璃溅射机构 |
| CN112144025A (zh) * | 2019-06-26 | 2020-12-29 | 东泰高科装备科技有限公司 | 遮挡装置 |
| WO2021184767A1 (zh) * | 2020-03-18 | 2021-09-23 | 顺景园智能装备科技发展(深圳)有限公司 | 一种脱模水模间截留伸缩屏及环境保护系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN201809434U (zh) | 一种NiCr阴极溅射挡板 | |
| MY177799A (en) | Fabricating thin-film optoelectronic devices with added potassium | |
| CN102412339B (zh) | 具有高反射背电极的薄膜太阳能电池制造方法 | |
| CN201809285U (zh) | 一种单银镀膜玻璃 | |
| CN204803398U (zh) | 一种提高磁控溅射靶材利用率的结构 | |
| CN102394258B (zh) | 薄膜太阳电池高导电性前电极的制备方法 | |
| CN103367479A (zh) | 一种柔性太阳能电池绒面导电衬底及其制备方法 | |
| CN202347088U (zh) | 一种磁控溅射用靶材 | |
| CN203976900U (zh) | 一种溅射镀膜的靶材结构 | |
| CN203238177U (zh) | 一种可钢化三银低辐射镀膜玻璃 | |
| CN202307784U (zh) | 一种磁控溅射用平面阴极 | |
| CN104962861A (zh) | 一种合金复合材料及其制备方法 | |
| FI20075676A0 (fi) | Uudet partikkelit ja menetelmä niiden valmistamiseksi | |
| CN202878833U (zh) | 新型冷冻膜 | |
| CN202148348U (zh) | 一种旋转型靶材 | |
| CN103963387B (zh) | 一种高吸热低反射蓝膜镀膜玻璃及其制造方法 | |
| CN201670872U (zh) | 矩形平面磁控靶 | |
| CN204325486U (zh) | 一种用于氮化硅沉积的磁控溅射镀膜设备 | |
| CN103346263B (zh) | 染料敏化太阳能电池的柔性碳对电极的制备方法、柔性碳对电极以及电池 | |
| CN202487592U (zh) | 一种非晶微晶硅叠层薄膜太阳能电池 | |
| CN201864662U (zh) | 一种可钢化镀膜玻璃 | |
| CN202352611U (zh) | 一种阴极均匀性修正挡板 | |
| CN206204408U (zh) | 一种高效利用的管状靶材 | |
| CN204009128U (zh) | 玻璃微珠型反光膜的高密度植珠生产设备 | |
| CN203267426U (zh) | 印制板用冷却板 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20110427 |