CN201785487U - Pecvd设备翻盖机构 - Google Patents

Pecvd设备翻盖机构 Download PDF

Info

Publication number
CN201785487U
CN201785487U CN2010205124760U CN201020512476U CN201785487U CN 201785487 U CN201785487 U CN 201785487U CN 2010205124760 U CN2010205124760 U CN 2010205124760U CN 201020512476 U CN201020512476 U CN 201020512476U CN 201785487 U CN201785487 U CN 201785487U
Authority
CN
China
Prior art keywords
hinge
hinge part
half hinge
cover plate
hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2010205124760U
Other languages
English (en)
Inventor
梁学敏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Piotech Inc
Original Assignee
Piotech Shenyang Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Piotech Shenyang Co Ltd filed Critical Piotech Shenyang Co Ltd
Priority to CN2010205124760U priority Critical patent/CN201785487U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201785487U publication Critical patent/CN201785487U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本实用新型涉及PECVD设备领域，具体为一种PECVD设备翻盖机构。该翻盖机构设有双孔限位铰链、气弹簧、铰链旋转轴、限位销，双孔限位铰链包括铰链上半部分、铰链下半部分，铰链上半部分与盖板连接，铰链下半部分与机体连接；铰链上半部分设有两个孔，铰链下半部分设有两个孔，铰链旋转轴分别穿过铰链上半部分和铰链下半部分的一个孔，使铰链上半部分和铰链下半部分铰接；气弹簧的一端连接于机体上，气弹簧的另一端连接于盖板上。本实用新型主要解决的技术问题是在低成本、高可靠性、结构简单的条件下完成PECVD设备重盖的开启，并可以在不加附属设备的条件下完成盖板翻转90度的定位功能，为设备维护提供的可靠的保证。

Description

PECVD设备翻盖机构
技术领域
本实用新型涉及PECVD设备领域，具体为一种PECVD设备翻盖机构。
背景技术
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术的原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。
与翻盖机构相关的中国专利申请(申请号：00222142.X、03258946.8、200520062051.3、200420088781.6、200520061424.5、200520125544.7、200620057185.0、200620063422.4、200620026058.4、200720049074.X)等，存在以下的不足之处：
1)以上专利用于PECVD设备很重的盖板条件下，无法实现翻盖功能；
2)要想完成PECVD设备的翻盖功能，成本高，可靠性差，结构复杂。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种PECVD设备翻盖机构，其主要解决的技术问题是在低成本、高可靠性、结构简单的条件下完成PECVD设备重盖的开启，并可以在不加附属设备的条件下完成盖板翻转90度的定位功能，为设备维护提供的可靠的保证。
本实用新型的技术方案是：
一种PECVD设备翻盖机构，该翻盖机构设有双孔限位铰链、气弹簧、铰链旋转轴、限位销，双孔限位铰链包括铰链上半部分、铰链下半部分，铰链上半部分与盖板连接，铰链下半部分与机体连接；铰链上半部分设有两个孔，铰链下半部分设有两个孔，铰链旋转轴分别穿过铰链上半部分和铰链下半部分的一个孔，使铰链上半部分和铰链下半部分铰接；气弹簧的一端连接于机体上，气弹簧的另一端连接于盖板上。
所述的PECVD设备翻盖机构，铰链上半部分和铰链下半部分的另一孔在盖板旋转开启时相对，限位销分别穿过所述铰链上半部分和铰链下半部分的另一孔，使铰链上半部分和铰链下半部分连接。
所述的PECVD设备翻盖机构，盖板旋转开启的角度为0～90度，当上盖板翻转到90度时，由于铰链下半部分带有限位块，使得翻转停止，这时插入限位销锁死。
所述的PECVD设备翻盖机构，盖板的一端设有把手。
所述的PECVD设备翻盖机构，铰链下半部分带有限位块，限位块与铰链下半部分一体结构，限位块设在与铰链上半部分旋转方向相对应的位置。
本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型采用独特的双孔限位铰链与气弹簧配合使用，铰链上半部分与盖板连接，下半部分与机体连接，中间双孔结构其中一个孔插入旋转轴用于铰链的连接和旋转作用，使铰链上半部分能绕轴旋转。另一个孔用于盖板旋转90度时，将一根限位销插入铰链上半部分和铰链下半部分的另一孔，将铰链限位。气弹簧在整个机构中起到助推作用使开盖更加省力，在关盖时起到缓冲作用，使盖板不会立刻与机体相撞导致机体或盖板损伤。
2、本实用新型翻盖旋转机构的结构简单、成本低、可靠性高、可以翻盖90度自锁、强度大、使用寿命长，减少生产用材料和生产成本、旋转轴的旋转顺畅、稳定，很好的实现PECVD设备腔体重盖的开启功能。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图(合盖状态)。
图2为本实用新型结构示意图(开盖90°状态)。
图中，1、把手；2、盖板；3、气弹簧；4、铰链上半部分；5、铰链旋转轴；6、铰链下半部分；7、机体；8、限位销；9、限位块。
具体实施方式
如图1-2所示，本实用新型PECVD设备翻盖机构主要包括：把手1、盖板2、气弹簧3、铰链上半部分4、铰链旋转轴5、铰链下半部分6、机体7、限位销8等，具体结构如下：
铰链上半部分4与盖板2连接，铰链下半部分6与机体7连接。铰链上半部分4设有两个孔(铰接孔和限位孔)，铰链下半部分6设有两个孔(铰接孔和限位孔)，铰链旋转轴5分别穿过铰链上半部分4和铰链下半部分6的一个孔(铰接孔)，使铰链上半部分4和铰链下半部分6铰接，旋转轴用于铰链的连接和旋转作用，使铰链上半部分能绕轴旋转；铰链上半部分4和铰链下半部分6的另一孔在盖板2旋转到达90度时相对，限位销8分别穿过所述铰链上半部分4和铰链下半部分6的另一孔(限位孔)，使使铰链上半部分4和铰链下半部分6连接，将铰链限位。从而，形成独特的双孔限位铰链。气弹簧3的一端连接于机体7上，气弹簧3的另一端连接于盖板2上，盖板的一端设有把手1，在开盖时，需要人手施加初始的作用力在把手上。在合盖时，也需要人手施加初始的作用力在把手1上。
本实用新型的工作过程如下：
在需要开盖时，通过把手1和气弹簧3的配合，使盖板2绕铰链旋转轴5转动开启，当盖板2旋转到达90度时，由于铰链下半部分6带有限位块9，限位块9与铰链下半部分6一体结构，限位块9设在与铰链上半部分4旋转方向相对应的位置，可将铰链上半部分4卡住，使得盖板2翻转停止，铰链上半部分4和铰链下半部分6的另一孔相对，限位销8插入所述孔，将铰链上半部分4和铰链下半部分6限位，盖子保持90度状态固定不动，方便设备的维护(图2)；在需要关盖时，将限位销8取出，通过把手1和气弹簧3的配合，使盖板2绕铰链旋转轴5转动关闭。气弹簧在整个机构中起到助推作用使开盖更加省力，在关盖时起到缓冲作用，使盖板不会立刻与机体相撞导致机体或盖板损伤。

Claims (5)

1.一种PECVD设备翻盖机构，其特征在于：该翻盖机构设有双孔限位铰链、气弹簧、铰链旋转轴、限位销，双孔限位铰链包括铰链上半部分、铰链下半部分，铰链上半部分与盖板连接，铰链下半部分与机体连接；铰链上半部分设有两个孔，铰链下半部分设有两个孔，铰链旋转轴分别穿过铰链上半部分和铰链下半部分的一个孔，使铰链上半部分和铰链下半部分铰接；气弹簧的一端连接于机体上，气弹簧的另一端连接于盖板上。
2.按照权利要求1所述的PECVD设备翻盖机构，其特征在于：铰链上半部分和铰链下半部分的另一孔在盖板旋转开启时相对，限位销分别穿过所述铰链上半部分和铰链下半部分的另一孔，使铰链上半部分和铰链下半部分连接。
3.按照权利要求2所述的PECVD设备翻盖机构，其特征在于：盖板旋转开启的角度为0～90度。
4.按照权利要求1所述的PECVD设备翻盖机构，其特征在于：盖板的一端设有把手。
5.按照权利要求1所述的PECVD设备翻盖机构，其特征在于：铰链下半部分带有限位块，限位块与铰链下半部分一体结构，限位块设在与铰链上半部分旋转方向相对应的位置。
CN2010205124760U 2010-09-01 2010-09-01 Pecvd设备翻盖机构 Expired - Fee Related CN201785487U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010205124760U CN201785487U (zh) 2010-09-01 2010-09-01 Pecvd设备翻盖机构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010205124760U CN201785487U (zh) 2010-09-01 2010-09-01 Pecvd设备翻盖机构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201785487U true CN201785487U (zh) 2011-04-06

Family

ID=43817461

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2010205124760U Expired - Fee Related CN201785487U (zh) 2010-09-01 2010-09-01 Pecvd设备翻盖机构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201785487U (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103025115A (zh) * 2012-12-07 2013-04-03 河北汉光重工有限责任公司 一种调角、翻转机构
CN104041194A (zh) * 2011-11-21 2014-09-10 朗姆研究公司 包括铰链组件的等离子体处理组件
CN105161899A (zh) * 2015-08-04 2015-12-16 江西洪都航空工业集团有限责任公司 一种导弹分离插座自限位翻盖装置
CN105953827A (zh) * 2016-04-22 2016-09-21 西安航空制动科技有限公司 一种用于翻盖式检测仪的铰链
CN110527946A (zh) * 2019-09-04 2019-12-03 苏州沃盾纳米科技有限公司 镀膜装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104041194A (zh) * 2011-11-21 2014-09-10 朗姆研究公司 包括铰链组件的等离子体处理组件
CN104041194B (zh) * 2011-11-21 2016-08-17 朗姆研究公司 包括铰链组件的等离子体处理组件
TWI570764B (zh) * 2011-11-21 2017-02-11 蘭姆研究公司 包含鉸鏈組件之電漿處理組件
CN103025115A (zh) * 2012-12-07 2013-04-03 河北汉光重工有限责任公司 一种调角、翻转机构
CN105161899A (zh) * 2015-08-04 2015-12-16 江西洪都航空工业集团有限责任公司 一种导弹分离插座自限位翻盖装置
CN105161899B (zh) * 2015-08-04 2017-12-12 江西洪都航空工业集团有限责任公司 一种导弹分离插座自限位翻盖装置
CN105953827A (zh) * 2016-04-22 2016-09-21 西安航空制动科技有限公司 一种用于翻盖式检测仪的铰链
CN105953827B (zh) * 2016-04-22 2018-06-01 西安航空制动科技有限公司 一种用于翻盖式检测仪的铰链
CN110527946A (zh) * 2019-09-04 2019-12-03 苏州沃盾纳米科技有限公司 镀膜装置
CN110527946B (zh) * 2019-09-04 2024-03-19 立讯电子科技（昆山）有限公司 镀膜装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN201785487U (zh) Pecvd设备翻盖机构
Zu et al. Antipulverization Electrode Based on Low‐Carbon Triple‐Shelled Superstructures for Lithium‐Ion Batteries
CN203454567U (zh) 一种组合式冰箱门限位结构
CN203180317U (zh) 配电设备内置式手柄安装结构
CN104405871B (zh) 一种旋转式压力容器的自锁安全门
CN206908978U (zh) 一种新能源电动汽车充电桩保护装置
CN108483047A (zh) 一种旋转挡片开合的气动传输瓶
CN208794906U (zh) 一种平板电脑用锂离子电池烘烤箱
CN202194461U (zh) 组合式止动爪机构
CN107831860A (zh) 一种高效散热型的计算机后盖
CN209447868U (zh) 一种带有自锁定结构的小型锂电池
CN203699086U (zh) 一种自动开关机构
CN203539026U (zh) 一种隐形挂衣架
CN202888332U (zh) 一种加快锂离子动力电池对电解液吸收速度的装置
CN204782356U (zh) 一种不锈钢锁体
CN103625805B (zh) 一种自动开关机构
CN205080817U (zh) 一种新型化学教育装置
CN202755730U (zh) 涂装生产线中烘干室人行工作门的开闭装置
CN204345053U (zh) 一种用于平板阀的开关显示装置
CN203536243U (zh) 万能式断路器机构储能定位用扣板
CN202081435U (zh) 新型水平安装检修人孔门的定位结构
CN201670710U (zh) 一种广口瓶开瓶器
CN201316415Y (zh) 一种流动层造粒干燥机
CN214890274U (zh) 一种水质在线监测系统质控仪
CN203066724U (zh) 一种带阻尼铰链的指纹保管箱

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20110406

Termination date: 20160901

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee