CN201770627U - 超净高纯级甲苯提取装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种超净高纯级甲苯提取装置,其特征在于:它包括原料罐(1)、浓硫酸罐(2)、碱液罐(3)、反应罐(4)、废酸罐(5)、废碱罐(6)、干燥器(7)、精馏塔(8)、冷凝器(9)、过滤器(10)和成品罐(11);原料罐(1)、浓硫酸罐(2)和碱液罐(3)出口分别与反应罐(4)进口相连接,反应罐(4)出口分别与废酸罐(5)、废碱罐(6)和干燥器(7)进口相连接,干燥器(7)出口与精馏塔(8)进口相连接,精馏塔(8)顶端出口与冷凝器(9)进口相连接,冷凝器(9)出口与过滤器(10)进口相连接,过滤器(10)出口与成品罐(11)相连接。本实用新型有效去除苯、二甲苯、甲基噻吩等杂质,制备的超净高纯级甲苯可满足微电子领域使用要求。
Description
(一)技术领域
本实用新型涉及一种超净高纯级甲苯提取装置,属于微电子化学品生产设备技术领域。
(二)背景技术
甲苯在微电子领域,作为清洗去油剂使用。甲苯为无色透明可燃液体,工业甲苯由煤焦油分流或石油的芳烃化制得,其中含有苯、二甲苯、甲基噻吩等杂质,用于微电子领域时,必须将工业级甲苯中的上述杂质去除。
(三)发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足,提供一种能去除甲苯中杂质,满足微电子领域使用要求的超净高纯级甲苯提取装置。
本实用新型的目的是这样实现的:一种超净高纯级甲苯提取装置,其特征在于:它包括原料罐、浓硫酸罐、碱液罐、反应罐、废酸罐、废碱罐、干燥器、精馏塔、冷凝器、过滤器和成品罐;
所述原料罐、浓硫酸罐和碱液罐出口分别与所述反应罐进口相连接,所述反应罐出口分别与废酸罐、废碱罐和干燥器进口相连接,所述干燥器出口与精馏塔进口相连接,所述精馏塔顶端出口与冷凝器进口相连接,所述冷凝器出口与过滤器进口相连接,所述过滤器出口与成品罐相连接。
本实用新型的有益效果是:
本实用新型超净高纯级甲苯提取装置,在反应罐中经过浓硫酸洗、碱洗后再干燥、蒸馏,有效去除苯、二甲苯、甲基噻吩等杂质,制备的超净高纯级甲苯可满足微电子领域使用要求。
(四)附图说明
图1为本实用新型超净高纯级甲苯提取装置的结构示意图。
其中:
原料罐1、浓硫酸罐2、碱液罐3、反应罐4、废酸罐5、废碱罐6、干燥器7、精馏塔8、冷凝器9、过滤器10、成品罐11。
(五)具体实施方式
参见图1,本实用新型涉及的一种超净高纯级甲苯提取装置,主要由原料罐1、浓硫酸罐2、碱液罐3、反应罐4、废酸罐5、废碱罐6、干燥器7、精馏塔8、冷凝器9、过滤器10和成品罐11组成;
所述原料罐1、浓硫酸罐2和碱液罐3出口分别与所述反应罐4进口相连接,所述反应罐4出口分别与废酸罐5、废碱罐6和干燥器7进口相连接,所述干燥器7出口与精馏塔8进口相连接,所述精馏塔8顶端出口与冷凝器9进口相连接,所述冷凝器9出口与过滤器10进口相连接,所述过滤器10出口与成品罐11相连接。
所述冷凝器9出口与精馏塔8直接设置有回流管路。
工作时,先将浓硫酸与原料甲苯混合搅拌,使其在反应罐中充分反应,然后将反应后的算放入废酸罐,重复反应多次,然后在反应罐中加入碱液洗涤,分离出废碱,再经过干燥、蒸馏、过滤后得到超净高纯级甲苯,纯度可达99.5%以上。
Claims (1)
1.一种超净高纯级甲苯提取装置,其特征在于:它包括原料罐(1)、浓硫酸罐(2)、碱液罐(3)、反应罐(4)、废酸罐(5)、废碱罐(6)、干燥器(7)、精馏塔(8)、冷凝器(9)、过滤器(10)和成品罐(11);
所述原料罐(1)、浓硫酸罐(2)和碱液罐(3)出口分别与所述反应罐(4)进口相连接,所述反应罐(4)出口分别与废酸罐(5)、废碱罐(6)和干燥器(7)进口相连接,所述干燥器(7)出口与精馏塔(8)进口相连接,所述精馏塔(8)顶端出口与冷凝器(9)进口相连接,所述冷凝器(9)出口与过滤器(10)进口相连接,所述过滤器(10)出口与成品罐(11)相连接。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN105601461A (zh) * | 2015-12-16 | 2016-05-25 | 安徽泰格生物技术股份有限公司 | 一种化工生产中废甲苯的回收方法 |
CN107501030A (zh) * | 2017-08-29 | 2017-12-22 | 湖北工程学院 | 色谱纯甲苯及其制备方法、生产系统 |
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GR01 | Patent grant | ||
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CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
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