CN201744105U - 四氯化硅低温水解装置 - Google Patents
四氯化硅低温水解装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201744105U CN201744105U CN2010201821173U CN201020182117U CN201744105U CN 201744105 U CN201744105 U CN 201744105U CN 2010201821173 U CN2010201821173 U CN 2010201821173U CN 201020182117 U CN201020182117 U CN 201020182117U CN 201744105 U CN201744105 U CN 201744105U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- water
- low temperature
- water pump
- silicon tetrachloride
- pot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种四氯化硅低温水解装置,属硅的化合物技术领域。它包括低温水解、酸尾气回收和水循环三个部分;低温水解部分由四氯化硅加料器、配料器、水解反应釜、加料罐和沉化反应器组成;酸尾气回收部分由水罐、水泵、一级酸回收釜、二级酸回收釜、真空泵A、真空泵B和储酸罐组成;水循环部分由水泵A、水泵B、水泵C和水罐组成。它不需要消耗燃料,生产成本低,安全可靠,反应速度快,产品质量稳定。
Description
(一)技术领域:本实用新型涉及一种四氯化硅低温水解装置,属硅的化合物技术领域。
(二)背景技术:多晶硅生产过程中产生大量的副产物——四氯化硅。四氯化硅是一种具有强腐蚀性的有毒有害液体,会给环境带来巨大的污染,并严重威胁着人类的生命安全。无害化处理四氯化硅是我国多晶硅行业节能减排、安全生产、保护环境的重要环节,是该行业健康发展的关键。
目前,国内企业主要采用气相法白炭黑生产工艺处理四氯化硅。该工艺使用的主要装置为高温水解炉。四氯化硅与一定量的氢和氧在1000-1200℃的高温水解炉内进行气相水解反应。该装置需消耗大量燃料,加热器热效率低,反应速度慢,产品质量不稳定,投资大,对生产安全要求高。因此,研究一种在低温条件下进行四氯化硅水解反应的环保装置,既符合节能减排的政策要求,也对我国多晶硅行业的清洁生产和可持续发展有着重要意义。
(三)发明内容:
1、发明目的:本实用新型的目的在于提供一种结构合理、能耗小、处理量大、无污染、安全可靠的四氯化硅低温水解装置。
2、技术方案本实用新型的技术方案是:一种四氯化硅低温水解装置,其特征在于,它包括低温水解、酸尾气回收和水循环三个部分;所述的低温水解部分由四氯化硅加料器1、配料器2、水解反应釜3、加料罐4和沉化反应器5组成;所述的酸尾气回收部分由水罐6、水泵7、一级酸回收釜8、二级酸回收釜9、真空泵A10、真空泵B11和储酸罐16组成;所述的水循环部分由水泵A12、水泵B13、水泵C14和水罐15组成。
低温水解部分的四氯化硅加料器1连接水解反应釜3进液口;配料器2出液口连接水解反应釜3进液口;水解反应釜3出液口连接沉化反应器5进液口;加料罐4出液口连接沉化反应器5进液口。
酸尾气回收部分的水罐6出液口连接水泵7进液口;水泵7出液口分别连接一级酸回收釜8进液口和二级酸回收釜9进液口;一级酸回收釜8出液口和二级酸回收釜9出液口同时连接储酸罐16进液口;真空泵10进气口连接低温水解系统的水解反应釜3出气口;真空泵10出气口连接一级酸回收釜8进气口;真空泵11进气口连接一级酸回收釜8出气口;真空泵11出气口连接二级酸回收釜9进气口。
水循环部分的水泵12出液口连接一级酸回收釜8的进液口;水泵12进液口连接一级酸回收釜8出液口和储酸罐16进液口;水泵13出液口连接二级酸回收釜9的进液口;水泵13进液口连接二级酸回收釜9的出液口和储酸罐16进液口;水泵14出液口同时连接水解反应釜3夹层、一级酸回收釜8夹层和二级酸回收釜9夹层的进液口;水泵14的进液口连接水罐15出液口;水罐15进液口连接水解反应釜3夹层、一级酸回收釜8夹层和二级酸回收釜9夹层的出液口。
水解反应釜3的外壁为夹层结构,内部安装有搅拌器;沉化反应器5的内部安装有搅拌器;一级酸回收釜8和二级酸回收釜9的外壁为夹层结构;水解反应釜3夹层、一级酸回收釜8夹层和二级酸回收釜9夹层的特征是水泵14将水罐15中的水抽入夹层中,并让水在夹层和水罐15之间循环流动,起到降温作用。
本实用新型的工作原理如下:
氯化钠和水在配料器2中配制成分散剂,将分散剂加入水解反应釜3,用加料器1将四氯化硅加入水解反应釜3中进行水解反应。四氯化硅水解反应生成聚硅酸、氯化氢气体和少量氯气。聚硅酸由水解反应釜3的出液口排放进沉化反应器5中,将加料罐4中的氢氧化钠溶液加入沉化反应器5,与沉化反应器5中的聚硅酸反应,生成二氧化硅沉淀和水。
水泵7将水罐6中的水分别加入一级酸反应釜8和二级酸反应釜9中;然后水解反应釜3中的氯化氢气体和氯气由真空泵10抽入一级酸反应釜8中,氯化氢气体被水吸收、溶解,生成盐酸;少量残留氯化氢气体和氯气由真空泵11抽入二级酸回收釜9中,残留氯化氢气体被水吸收、溶解,生成盐酸;剩余氯气进入尾气净化塔处理,尾气被吸收转化成次氯酸钠溶液。
一级酸反应釜8中的盐酸被水泵12不断地由底部抽入顶部循环流动,在盐酸不断吸收氯化氢气体浓度达到工艺要求后,由出液口排入储酸罐16中。二级酸反应釜9中的盐酸被水泵13不断地由底部抽入顶部循环流动,在盐酸不断吸收氯化氢气体浓度达到工艺要求后,由出液口排入储酸罐16中。因为四氯化硅在水解反应时会不断放热,所以水解反应釜3、一级酸回收釜8和二级酸回收釜9的外壁为夹层设计,水泵14将水罐15中的水抽入夹层中,并让水在夹层和水罐15之间循环流动,起到降温作用。
3、有益效果:本实用新型由于不存在高温加热系统,所以不需要消耗燃料,符合节能减排的要求,生产成本也就更低;同时,本装置在低温条件下运行,更加安全可靠,而且,反应速度快,产品质量稳定。
(四)附图说明:本实用新型还可结合实施例作进一步说明。说明书附图是本实用新型的一个实施例的结构图。图中1为四氯化硅加料器,2为配料器,3为水解反应釜,4为加料罐,5、沉化反应器,6为水罐,7为水泵,8为一级酸回收釜,9、二级酸回收釜,10为真空泵A,11为真空泵B,12为水泵A,13为水泵B,14为水泵C,15为水罐,16为储酸罐。
(五)具体实施方式:本实用新型的具体实施方式如说明书附图所示。四氯化硅低温水解装置包括低温水解、酸尾气回收和水循环三个部分。低温水解部分由四氯化硅加料器1、配料器2、水解反应釜3、加料罐4和沉化反应器5组成;酸尾气回收部分由水罐6、水泵7、一级酸回收釜8、二级酸回收釜9、真空泵A10、真空泵B11和储酸罐16组成;水循环部分由水泵A12、水泵B13、水泵C14和水罐15组成。
低温水解系统的四氯化硅加料器1连接水解反应釜3进液口,配料器2出液口连接水解反应釜3进液口,水解反应釜3出液口连接沉化反应器5进液口,加料罐4出液口连接沉化反应器5进液口。
酸尾气回收系统的水罐6出液口连接水泵7进液口,水泵7出液口分别连接一级酸回收釜8进液口和二级酸回收釜9进液口,一级酸回收釜8出液口和二级酸回收釜9出液口同时连接储酸罐16进液口。真空泵10进气口连接低温水解系统的水解反应釜3出气口,真空泵10出气口连接一级酸回收釜8进气口;真空泵11进气口连接一级酸回收釜8出气口,真空泵11出气口连接二级酸回收釜9进气口。
水循环系统的水泵12出液口连接一级酸回收釜8的进液口,水泵12进液口连接一级酸回收釜8出液口和储酸罐16进液口。水泵13出液口连接二级酸回收釜9的进液口,水泵13进液口连接二级酸回收釜9的出液口和储酸罐16进液口。水泵14出液口同时连接水解反应釜3夹层、一级酸回收釜8夹层和二级酸回收釜9夹层的进液口,水泵14的进液口连接水罐15出液口,水罐15进液口连接水解反应釜3夹层、一级酸回收釜8夹层和二级酸回收釜9夹层的出液口。
水解反应釜3的外壁为夹层结构,内部安装有搅拌器。沉化反应器5的内部安装有搅拌器。一级酸回收釜8和二级酸回收釜9的外壁为夹层结构。因为四氯化硅在水解反应时会不断放热,所以水解反应釜3、一级酸回收釜8和二级酸回收釜9的外壁为夹层设计,水泵14将水罐15中的水抽入夹层中,并让水在夹层和水罐15之间循环流动,起到降温作用。加料器1选用市售空压机。水泵7、水泵A12、水泵B13和水泵C14选用市售耐酸碱水泵;真空泵A10和真空泵B11:选用市售耐腐蚀真空泵。
Claims (1)
1.一种四氯化硅低温水解装置,其特征在于,它包括低温水解、酸尾气回收和水循环三个部分;所述的低温水解部分由四氯化硅加料器(1)、配料器(2)、水解反应釜(3)、加料罐(4)和沉化反应器(5)组成;所述的酸尾气回收部分由水罐(6)、水泵(7)、一级酸回收釜(8)、二级酸回收釜(9)、真空泵A(10)、真空泵B(11)和储酸罐(16)组成;所述的水循环部分由水泵A(12)、水泵B(13)、水泵C(14)和水罐(15)组成。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010201821173U CN201744105U (zh) | 2010-05-07 | 2010-05-07 | 四氯化硅低温水解装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010201821173U CN201744105U (zh) | 2010-05-07 | 2010-05-07 | 四氯化硅低温水解装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN201744105U true CN201744105U (zh) | 2011-02-16 |
Family
ID=43578779
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2010201821173U Expired - Fee Related CN201744105U (zh) | 2010-05-07 | 2010-05-07 | 四氯化硅低温水解装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN201744105U (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106475014A (zh) * | 2015-11-25 | 2017-03-08 | 衡阳恒荣高纯半导体材料有限公司 | 一种四氯化锗水解装置 |
CN114699894A (zh) * | 2022-03-07 | 2022-07-05 | 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 | 一种气液水解反应残气的回收装置及方法 |
-
2010
- 2010-05-07 CN CN2010201821173U patent/CN201744105U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106475014A (zh) * | 2015-11-25 | 2017-03-08 | 衡阳恒荣高纯半导体材料有限公司 | 一种四氯化锗水解装置 |
CN114699894A (zh) * | 2022-03-07 | 2022-07-05 | 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 | 一种气液水解反应残气的回收装置及方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103579652B (zh) | 一种氢化镁水解供氢的燃料电池发电系统 | |
CN105154136B (zh) | 一种氯化石蜡的生产工艺和设备 | |
CN201744105U (zh) | 四氯化硅低温水解装置 | |
CN202070281U (zh) | 多晶硅生产线尾气回收净化处理装置 | |
CN208716864U (zh) | 一种四氯化铪提纯装置 | |
CN218034495U (zh) | 一种氯化氢合成炉余热利用装置 | |
CN111807321B (zh) | 一种海水制氢反应器及方法 | |
CN102372619A (zh) | 一种利用稀醋酸生产醋酸盐的工艺 | |
CN104230650B (zh) | 一种光氯化法制备氯甲烷的工艺 | |
CN203048616U (zh) | 一种重镁水连续热解罐 | |
CN215160999U (zh) | 一种金属制氢循环系统 | |
CN115572279A (zh) | 一种强制外循环制备氯代碳酸乙烯酯的方法 | |
CN212283461U (zh) | 一种碳酸乙烯酯氯化尾气处理装置 | |
CN207085653U (zh) | 一种小型焚烧炉脱硝装置 | |
CN221027697U (zh) | 石墨氯化氢合成炉 | |
CN201909528U (zh) | 再生铅循环余热利用熔炼炉 | |
CN112897461A (zh) | 一种金属制氢循环系统 | |
CN202350552U (zh) | 氧化镁煅烧回转窑氧化镁粉余热发电装置 | |
CN105439085A (zh) | 一种氢氧分离产生能源系统 | |
CN101823774B (zh) | 利用四氯化硅生产复合型净水剂的方法 | |
CN201772669U (zh) | 蒸汽余热利用装置 | |
CN215855209U (zh) | 一种废碱液氯乙烯回收处理装置 | |
CN209493309U (zh) | 一种基于天然气重整制氢的热电联供装置 | |
CN207671685U (zh) | 一种养殖污水处理用二氧化氯发生器 | |
CN204803016U (zh) | 反应精馏处理硅烷尾气的装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110216 Termination date: 20120507 |