CN201522397U - 测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置 - Google Patents

测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置 Download PDF

Info

Publication number
CN201522397U
CN201522397U CN2009202324067U CN200920232406U CN201522397U CN 201522397 U CN201522397 U CN 201522397U CN 2009202324067 U CN2009202324067 U CN 2009202324067U CN 200920232406 U CN200920232406 U CN 200920232406U CN 201522397 U CN201522397 U CN 201522397U
Authority
CN
China
Prior art keywords
anodic oxidation
solar cell
junction
silicon solar
oxidation device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2009202324067U
Other languages
English (en)
Inventor
杨春杰
朱敏杰
侯林
沈专
马跃
王景霄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu Linyang Solarfun Co Ltd
Original Assignee
Jiangsu Linyang Solarfun Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu Linyang Solarfun Co Ltd filed Critical Jiangsu Linyang Solarfun Co Ltd
Priority to CN2009202324067U priority Critical patent/CN201522397U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201522397U publication Critical patent/CN201522397U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置，包括直流稳压电源，直流稳压电源与设置在电解槽中的阳极、阴极连接，电解槽中装电解液，阳极为待测硅片，待测硅片是具有绒面结构和pn结的单晶硅片或多晶硅片。本实用新型根据电化学阳极氧化法测量pn结的原理设计，结构简单，成本低廉、便于操作，适合大规模晶体硅太阳电池生产中测量pn结使用。

Description

测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置
技术领域：
本实用新型涉及一种测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置，属于太阳电池参数测量装置。
背景技术：
pn结是晶体硅太阳电池的核心部分，pn结的测量是评价扩散层质量和选择控制扩散条件必不可少的依据，对于优化和控制扩散工艺，提高太阳电池效率具有重大意义。
目前晶体硅太阳电池pn结测量主要有二次离子质谱法(SIMS)和扩展电阻法(SRP)，是近年来发展起来的高端测试手段，具有很高的分辨率、灵敏度、稳定性和准确度，在半导体领域具有广泛的应用。但这类方法测试样品必须为抛光片，而抛光片上的pn结是水平的，与晶体硅太阳电池的pn结状况不同，抛光片的测试结果只能做对比，不代表晶体硅太阳电池pn结的真实情况。而且这些高端测试手段往往需要专门的仪器装置，或在专用实验室内进行，设备价格昂贵，操作复杂。因此有必要建立一套适合大规模生产中简单易行、成本低廉的pn结测量装置。
发明内容：
本实用新型的目的是提供一种根据电化学阳极氧化法测量pn结的原理设计，结构简单，成本低廉、便于操作，适合大规模太阳电池生产的测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置。
为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置，其特征是：包括直流稳压电源，直流稳压电源与设置在电解槽中的阳极、阴极连接，电解槽中装电解液，阳极为待测硅片，待测硅片是具有绒面结构和pn结的单晶硅片或多晶硅片。
直流稳压电源的输出电压为0～150V，根据氧化层的厚度和均匀性确定直流稳压电源工作电压和时间。
阴极为石墨棒、铂片或铜片。
所述的电解液为四硼酸钠饱和溶液或四氢糠醇和亚硝酸钠的混合液，工作温度为常温。
本实用新型根据电化学阳极氧化法测量pn结的原理设计，结构简单，成本低廉、便于操作，适合大规模太阳电池生产。
附图说明：
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式：
如图1所示，一种测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置，由直流稳压电源1、阳极2、阴极3、电解液4、电解槽5及两根电极电线6和7组成。
所述的直流稳压电源1输出电压为0～150V可调，根据氧化层的厚度和均匀性确定直流稳压电源工作电压和时间。
所述的阳极2为待测硅片，所述硅片是单晶硅片或多晶硅片，所述硅片具有绒面结构和pn结。
所述的阴极3为石墨棒、铂片或铜片。
所述的电解液4为四硼酸钠饱和溶液或四氢糠醇和亚硝酸钠的混合液，工作温度为常温。
具体测量例：
测量对象为制绒扩散后单晶硅片(电阻率0.5～3)，将其作为阳极，石墨棒为阴极，配制四硼酸钠饱和溶液为电解液，硅片浸入溶液的单面面积为14.2cm2，直流稳压电源工作电压为50V，通电时间2分钟，本装置可以使待测硅片表面在室温条件下生长约80nm的氧化层，完成晶体硅太阳电池pn测试中关键的步骤。
这套装置相比于SIMS和SRP，所用部件和材料成本低，结构非常简单，操作容易，可以不依赖大型昂贵测试仪器，满足晶体硅太阳电池pn结测量的需要。

Claims (3)

1.一种测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置，其特征是：包括直流稳压电源，直流稳压电源与设置在电解槽中的阳极、阴极连接，电解槽中装电解液，阳极为待测硅片，待测硅片是具有绒面结构和pn结的单晶硅片或多晶硅片。
2.根据权利要求1所述的测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置，其特征是：直流稳压电源的输出电压为0～150V。
3.根据权利要求1或2所述的一种测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置，其特征是：阴极为石墨棒、铂片或铜片。
CN2009202324067U 2009-09-17 2009-09-17 测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置 Expired - Fee Related CN201522397U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2009202324067U CN201522397U (zh) 2009-09-17 2009-09-17 测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2009202324067U CN201522397U (zh) 2009-09-17 2009-09-17 测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201522397U true CN201522397U (zh) 2010-07-07

Family

ID=42508575

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2009202324067U Expired - Fee Related CN201522397U (zh) 2009-09-17 2009-09-17 测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201522397U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102610697A (zh) * 2012-03-28 2012-07-25 泰通(泰州)工业有限公司 一种晶体硅太阳能电池选择性发射极的制备方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102610697A (zh) * 2012-03-28 2012-07-25 泰通(泰州)工业有限公司 一种晶体硅太阳能电池选择性发射极的制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101592469B (zh) 太阳能电池硅片损伤层厚度和少子寿命测量方法及装置
Peng et al. Vanadium species in CH3SO3H and H2SO4 mixed acid as the supporting electrolyte for vanadium redox flow battery
CN103426649B (zh) 不同碳纤维/氢氧化钴电极和固液复合电极体系的制备方法
CN102236078B (zh) 一种判断锂离子电池循环性能的方法
CN102874746B (zh) 能提高多孔硅薄膜物理微结构及光学特性均匀性的方法
CN101696991B (zh) 一种探针接触电阻的检测方法及其检测装置
CN110011617B (zh) 一种双面太阳能电池超浅结结深的测量方法及其装置
Pan et al. The performance of all vanadium redox flow batteries at below-ambient temperatures
Hughes et al. Degradation of (La 0.8 Sr 0.2) 0.98 MnO 3− δ–Zr 0.84 Y 0.16 O 2− γ composite electrodes during reversing current operation
CN102621465A (zh) 半导体纳米线少数载流子寿命的检测方法
Wang et al. Initial-stage performance evolution of solid oxide fuel cells based on polarization analysis
CN201522397U (zh) 测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置
CN202471646U (zh) 一种甲醇浓度传感器
CN108226789B (zh) 一种中低温固体氧化物燃料电池的性能测试方法
Sinton Predicting multi-crystalline solar cell efficiency from life-time measured during cell fabrication
Chen et al. 21.40% efficient large area screen printed industrial PERC solar cell
CN101281935A (zh) 硅太阳能电池结深的测量方法
Yu et al. Effects of sodium sulfate as electrolyte additive on electrochemical performance of lead electrode
CN115683264A (zh) 锂电池产气量的评估方法及老化工艺中参数优化方法
Sumi et al. Why is the performance different between small-and large-scale SOFCs?
CN209513913U (zh) 一种辅助测试硅片电阻率的模具
CN106449455A (zh) 一种晶体硅太阳能电池扩散死层的测试方法
CN101692062A (zh) 单晶硅太阳电池绒面上pn结杂质浓度分布的测量方法
Zeng et al. Specific contact resistance measurements on C-Si solar cells by novel TLM method
CN107478694B (zh) 一种锂电池材料高通量测试平台

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C56 Change in the name or address of the patentee

Owner name: HANWHA SOLARONE (QIDONG) CO., LTD.

Free format text: FORMER NAME: LINYANG NEW ENERGY-SOURCE CO., LTD., JIANGSU

CP03 Change of name, title or address

Address after: 226200 Jiangsu city in Qidong Province Economic Development Zone No. 888 Lin Yang Lu

Patentee after: Jiangsu Linyang Solarfun Co., Ltd.

Address before: 226200 Jiangsu city in Qidong Province Economic Development Zone No. 666 Lin Yang Lu

Patentee before: Linyang New Energy-Source Co., Ltd., Jiangsu

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20100707

Termination date: 20160917