CN201499143U - 具有保护层的声表面波滤波器叉指换能器 - Google Patents
具有保护层的声表面波滤波器叉指换能器 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型属于电子元器件，涉及声表面波滤波器，具体是一种具有保护层的声表面波滤波器叉指换能器，主要特点是在声表面波滤波器叉指换能器的叉指条、汇流条和叉指条间隔的表面镀敷二氧化硅薄膜层，不仅工艺成熟易行，能保证二氧化硅保护层的质量，而且保证器件电性能达到设计要求，提高了声表面波滤波器的可靠性，延长了使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型属于电子元器件领域，涉及声表面波滤波器，具体涉及一种具有保护层的声表面波滤波器叉指换能器。
背景技术
声表面波滤波器是现代电子系统的关键基础器件，它的可靠性对系统性能有重要影响，声表面波滤波器失效主要表现为功能失效和性能参数超差两方面，而功能失效最常见的失效机制是其叉指换能器叉指条的铝膜受腐蚀，其终点是开路失效；由于这种失效隐患早期很难筛选剔除，故其危害极大。
叉指换能器的铝膜腐蚀以直流偏压下的电化学腐蚀为主，导致铝膜电化学腐蚀的主要因素是直流电场、水汽和离子杂质。由于声表面波滤波器的工艺制作流程较复杂，很易在其芯片表面留下腐蚀性物质和水汽，而其芯片又是裸体封装，从而导致芯片表面铝膜出现腐蚀。对于非气密性塑封声表面波滤波器，铝腐蚀现象尤甚。
要消除声表面波滤波器芯片的铝膜腐蚀，必须消除水汽和腐蚀性物质对器件芯片的影响，可通过在芯片的叉指换能器表面覆盖一层致密的保护膜，来达到使叉指换能器铝膜和外界完全隔离的目的。
但是当在声表面波滤波器的叉指换能器上覆盖保护膜后，由于覆盖物质的吸声作用，会使器件的损耗增大；因质量加载作用，会造成SAW的波速变化和色散，由此引起器件的频率偏移和相位特性恶化；还可能由于覆盖材料造成器件的绝缘电阻和直流耐压降低等。
实用新型内容
申请人在多年从事电子元器件的生产制造经营活动中，发现声表面波滤波器的叉指换能器存在着上述缺陷，组织设计人员经过分析研究，目的在于寻求一种具有保护层的声表面波滤波器叉指换能器，这种保护层在叉指换能器上覆盖后，所产生的上述效应很小，不会造成器件的电性能明显变化，还能经受着水、酸碱离子的腐蚀及高低温老化，且生产工艺又易于实施。
本实用新型所采取的技术方案是设计一种具有保护层的声表面波滤波器叉指换能器，其结构包括：声表面波滤波器的叉指换能器，在叉指换能器的叉指条、汇流条及叉指条间隔的表面上敷设二氧化硅薄膜保护层。
本实用新型采用上述技术方案，虽然敷设的二氧化硅薄膜层属无定型二氧化硅，但仍具有较高的电阻率和介电强度，及良好的耐酸碱腐蚀性能，可有效地保护声表面波滤波器叉指换能器的叉指条、汇流条及叉指条间隔不受腐蚀，且不会使器件的直流特性受到影响；由于二氧化硅的硬度、密度较大，对声表面波无吸声作用；关于二氧化硅膜层产生的质量加载对SAW波速和色散的影响，可在设计时对叉指换能器的有关几何尺寸加以修正；二氧化硅与铝有很强的粘附性，二氧化硅膜层敷设可采用现有电子束蒸镀工艺，工艺成熟，简单易行，其工艺条件符合声表面波器件的工艺制作要求，在蒸镀过程中二氧化硅膜层厚度可随机控制，便于工艺实施，能保证叉指换能器的二氧化硅膜层质量，确保器件有二氧化硅层保护的声表面波滤波器叉指换能器的叉指条、汇流条及叉指条间隔的表面无腐蚀现象，保持电参数性能不发生变化，从而保证器件电性能达到设计要求，提高了声表面波滤波器的可靠性，延长使用寿命。
附图说明
图1表示本实用新型具有保护层的声表面波滤波器叉指换能器的结构示意图。
具体实施方式
结合附图及实施工艺步骤，对本实用新型做进一步说明。
本实用新型具有保护层的声表面波滤波器叉指换能器的实施例，参见图1，其结构包括：声表面波滤波器叉指换能器的基片1，叉指换能器的叉指条2，叉指条间隔3，铝压焊点4，二氧化硅薄膜层5。在实施电子束蒸镀二氧化硅保护层过程中，继对基片1清洗，蒸镀高纯铝膜，光刻出叉指换能器叉指条2后的工件，采用电子束真空蒸镀方法，在其表面上蒸镀一层二氧化硅薄膜层5，膜层厚度由设计确定，在电子束真空蒸镀二氧化硅薄膜层后的工件上光刻出铝压焊点4，最后再完善其余工序：修波形、划片、粘片、压焊、封装、老化、测试、成品。
本实用新型的这种具有保护层的声表面波滤波器叉指换能器，经小批量试制，并进行对照实验测试。
1)电性能：以叉指换能器采用二氧化硅30nm保护层的声表面波滤波器为试验品，与未保护的声表面波滤波器作对照品进行测试比对，结果电参数性能无变化；
2)抗腐蚀性：试验品、对照品各100只，放入温度为60℃±3℃，湿度为90％-95％的恒温恒湿箱中，持续时间96小时，恢复2小时后观察、测试结果，对照品叉指换能器的叉指条等部件有腐蚀现象，测试电参数性能均有变化；试验品叉指换能器的叉指条、汇流条及叉指条间隔表面无腐蚀现象，测试电参数性能均无变化。
实验表明，本实用新型具有保护层的声表面波滤波器叉指换能器设计合理，质量可靠，完成了发明任务。
Claims (1)
1.一种具有保护层的声表面波滤波器叉指换能器，包括声表面波滤波器的叉指换能器，其特征是在叉指换能器的叉指条、汇流条及叉指条间隔的表面上敷设二氧化硅薄膜保护层。
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| CN200920223486XU CN201499143U (zh) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | 具有保护层的声表面波滤波器叉指换能器 |
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| CN200920223486XU CN201499143U (zh) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | 具有保护层的声表面波滤波器叉指换能器 |
Publications (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104359584A (zh) * | 2014-11-12 | 2015-02-18 | 中国科学院微电子研究所 | 一种高温声表面波温度传感器 |
| CN114136507A (zh) * | 2021-12-07 | 2022-03-04 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种无线无源声表面波压力传感器及其制备方法 |
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2009
- 2009-09-07 CN CN200920223486XU patent/CN201499143U/zh not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| CN104359584A (zh) * | 2014-11-12 | 2015-02-18 | 中国科学院微电子研究所 | 一种高温声表面波温度传感器 |
| CN114136507A (zh) * | 2021-12-07 | 2022-03-04 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种无线无源声表面波压力传感器及其制备方法 |
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