CN201477362U - 一种应用于led芯片制作的光刻版 - Google Patents
一种应用于led芯片制作的光刻版 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201477362U CN201477362U CN2009201884413U CN200920188441U CN201477362U CN 201477362 U CN201477362 U CN 201477362U CN 2009201884413 U CN2009201884413 U CN 2009201884413U CN 200920188441 U CN200920188441 U CN 200920188441U CN 201477362 U CN201477362 U CN 201477362U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- photoetching plate
- reticle
- square
- led chips
- square frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Led Devices (AREA)
Abstract
一种应用于LED芯片制作的光刻版，属于LED芯片制造技术领域。所述光刻版规格为4×4平方英寸，在光刻版的中心设有一边长为1.5平方英寸的正方形方框标记，在正方形标记的内部和外部区域有两种不同的芯片尺寸和电极图形。本光刻版可实现在同一片LED外延片上根据材料的特性制作尺寸和电极图形不同的LED芯片，提高了材料的利用率。
Description
技术领域
本实用新型涉及LED芯片的光刻版，属于LED芯片制造技术领域。
背景技术
LED外延片由于在生长过程中总是存在一定的不均匀性，常见的是中心区域的性能好，边缘区域较差，而目前在LED芯片制作中使用的光刻版内只有一种单元规格。由于材料的原因，使得制作出来的中心区域与边缘区域的LED芯片在性能方面存在较大的差距，要缩小差距，保证品质，只能剔除边缘区域的芯片。
发明内容
本实用新型的目的是，为了提高了LED外延片材料的利用率，在同一片LED外延片上根据材料的特性实现制作尺寸和电极图形不同的LED芯片。
本实用新型是通过以下技术方案实现：
本实用新型推出了一种新的应用于LED芯片制作的光刻版：在制版前对数据进行处理，在光刻版的中心设置一为边长为1.5英寸的正方形方框标记。在方框标记的内部规则排布单元尺寸为250×250um2，电极图形直径为110um园的图案；在方框标记的外部规则排布单元尺寸为204×204um2，电极图形直径为90um的园的图案。
本实用新型与现有技术相比较的有益效果是，本光刻版可实现在同一片LED外延片上根据外延片材料的特性制作尺寸和电极图形不同的LED芯片，在完成芯片图形制作后可将方框的标记对外延片进行切割，使得外延片中心区域的芯片和边缘区域的芯片分成两个档次，满足不同的需求，大大提高了材料利用率。
附图说明
附图为本实用新型光刻版平面示意图
图中尺寸单位为英寸，整个版的尺寸为4英寸x4英寸。
图中方框表示标记所在的位置也是在芯片图形制作完成后的切割位置，标记整体上处于光刻版的中间，标记方框尺寸为1.5英寸x1.5英寸。
具体实施方式
光刻版的整体尺寸为4×4平方英寸，在光刻版制版设计时对数据进行处理，并在光刻版的中心设置一边长为1.5英寸的正方形方框标记。在方框标记的内部规则排布单元尺寸为250×250um2，电极图形直径为110um圆的图案，在方框标记的外部规则排布单元尺寸为204×204um2，电极图形直径为90um的圆的图案。按设计好的数据进行光刻版的生产。
Claims (2)
1.一种应用于LED芯片制作的光刻版，其特征在于，所述光刻版规格为4×4平方英寸，在所述光刻版的中心设有为边长为1.5英寸的正方形方框标记。
2.根据权利要求1所述的一种应用于LED芯片制作的光刻版，其特征在于，所述方框标记的内部单元尺寸为250×250um2，电极图形直径为110um圆；所述方框标记外部的单元尺寸为204×204um2，电极图形直径为90um的圆。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009201884413U CN201477362U (zh) | 2009-08-03 | 2009-08-03 | 一种应用于led芯片制作的光刻版 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009201884413U CN201477362U (zh) | 2009-08-03 | 2009-08-03 | 一种应用于led芯片制作的光刻版 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201477362U true CN201477362U (zh) | 2010-05-19 |
Family
ID=42413614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2009201884413U Expired - Fee Related CN201477362U (zh) | 2009-08-03 | 2009-08-03 | 一种应用于led芯片制作的光刻版 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201477362U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102087470A (zh) * | 2011-01-04 | 2011-06-08 | 黑龙江八达通用微电子有限公司 | 一种光刻版及其实现方法 |
| CN103969942A (zh) * | 2014-05-04 | 2014-08-06 | 湘能华磊光电股份有限公司 | 集成式光刻板制作方法及其制得led芯片晶粒的分选方法 |
-
2009
- 2009-08-03 CN CN2009201884413U patent/CN201477362U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102087470A (zh) * | 2011-01-04 | 2011-06-08 | 黑龙江八达通用微电子有限公司 | 一种光刻版及其实现方法 |
| CN103969942A (zh) * | 2014-05-04 | 2014-08-06 | 湘能华磊光电股份有限公司 | 集成式光刻板制作方法及其制得led芯片晶粒的分选方法 |
| CN103969942B (zh) * | 2014-05-04 | 2017-08-25 | 湘能华磊光电股份有限公司 | 集成式光刻板制作方法及led芯片晶粒的分选方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN203680097U (zh) | 一种兼具开槽功能的碗磨 | |
| CN201477362U (zh) | 一种应用于led芯片制作的光刻版 | |
| CN104589392A (zh) | 一种中空框形硅胶垫片的成型方法 | |
| CN201220374Y (zh) | 成型面磨 | |
| CN201378758Y (zh) | 一种电机定子冲片结构 | |
| CN206550876U (zh) | 一种拼装式砂轮 | |
| CN202555910U (zh) | 一种铰刀 | |
| CN201639378U (zh) | 一种电机定子铁芯冲片结构 | |
| CN203679363U (zh) | 一种用于加工台阶孔的成型刀 | |
| CN203649122U (zh) | 一种砂轮网片冲切刀具 | |
| CN203696794U (zh) | 扇形磨削面砂轮 | |
| CN202690699U (zh) | 一种转轴垫片 | |
| CN208028036U (zh) | 一种用于芯片定位的兼容芯片定位槽 | |
| CN203711881U (zh) | 一种新型空调冷媒管外切刀 | |
| CN202285350U (zh) | 一种异形槽电机定子冲片结构 | |
| CN201768928U (zh) | 刀排 | |
| CN205869235U (zh) | 一种模具圆形入子 | |
| CN201023822Y (zh) | 一种纸管放置器具 | |
| CN202872475U (zh) | 送料方向的切边冲片 | |
| CN202571136U (zh) | 一种螺母模具 | |
| CN203371084U (zh) | Pcb微型钻头 | |
| CN203277356U (zh) | 一种分体引线框架 | |
| CN203696792U (zh) | 防止让刀的碟形砂轮 | |
| CN1876340A (zh) | 一种镶嵌式模切板 | |
| CN203696795U (zh) | 一种防止让刀的碟形砂轮 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20100519 Termination date: 20160803 |