CN201449516U - 硅片双面光刻用模具 - Google Patents

Abstract

本实用新型所公开的是一种硅片双面光刻用模具，包括第一、二透光基准板，以其还包括第一、第二模块；所述第一模块和第二模块，通过铰接副相互铰接，且通过扣合副相互扣合；第一模块和第二模块，分别设有相互对称布置的第一沉孔和第二沉孔；第一模块和第二模块两者的对合面上，且分别沿第一沉孔和第二沉孔的周边部位，至少设有2个用来容置紧定螺钉的第三沉孔和第四沉孔，在所述第三沉孔和第四沉孔的底面，设有与所述紧定螺钉相拧合的螺孔，且所述紧定螺钉的螺钉头，可分别与第一透光基准板和第二透光基准板的相压接为主要特征；具有结构合理，操作方便，能够在单面光刻机上进行双面光刻等优点。

Description

硅片双面光刻用模具

技术领域

本实用新型涉及一种硅片在光刻过程中的模具，具体涉及一种硅片双面光刻用模具。

背景技术

在硅片制备过程中，往往需要对硅片进行双面光刻。现有的双面光刻工艺可通过双面光刻机直接进行光刻，而双面光刻机的价格非常昂贵，使得硅片的光刻工艺生产成本较高。

发明内容

本实用新型的目的是：提供一种不仅结构简单、而且操作方便，能够在单面光刻机进行双面光刻，且光刻工艺生产成本较低的硅片双面光刻用模具。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是：一种硅片双面光刻用模具，包括第一透光基准板和第二透光基准板，其创新点在于：还包括第一模块和第二模块；第一模块和第二模块相对合；在第一模块和第二模块的对合面上，分别设有相互对称布置的可容置第一透光基准板和第二透光基准板的第一沉孔和第二沉孔；所述第一沉孔和第二沉孔的深度，分别等于第一透光基准板的厚度加上硅片1/2厚度之和；和第二透光基准板的厚度加上硅片1/2厚度之和；第一模块和第二模块分别有第一透光通孔和第二透光通孔，且第一透光通孔和第二透光通孔，分别小于第一沉孔和第二沉孔；所述第一模块和第二模块两者的一侧，通过铰接副相互铰接，而两者的另一侧通过扣合副相互扣合；第一模块和第二模块两者的对合面上，且分别沿第一沉孔和第二沉孔的周边，至少设有2个用来容置紧定螺钉，且其深度大于紧定螺钉的螺钉头长度的第三沉孔和第四沉孔；在所述第三沉孔和第四沉孔的底面，设有与所述紧定螺钉目拧合的螺孔，且所述紧定螺钉的螺钉头，可分别与第一透光基准板和第二透光基准板相压接，从而令第一透光基准板和第二透光基准板，分别定置且相互对位于第一沉孔和第二沉孔。

在第一模块所设的第一沉孔和第二模块所设的第二沉孔，分别与第一透光基准板和第二透光基准板装配精度差，而有可能造成第一透光基准板和第二透光基准板需要调整定位的条件下，上述硅片双面光刻用模具中，还包括分别设在第一模块和第二模块上的用来调整第一透光基准板和第二透光基准板所设的光刻图纹相互重影的图纹调整组件；所述图纹调整组件，包括2组每组2个调整螺钉，和2组每组2个由弹簧和螺钉组成的弹性调整螺钉组件，且每组2个调整螺钉和每组2个弹性调整螺钉组件，分别相对布置在第一沉孔和第二沉孔的两侧，且分别与第一透光基准板和第二透光基准板相抵接。由于弹性调整螺钉组件的存在，可以避免所述透光基准板的破损。

上述硅片双面光刻用模具中，所述扣合副包括分别与第一模块和第二模块连接的扣合座、扣合杆、弹簧和垫片；扣合杆的一端，与第一模块的扣合座或第二模块的扣合座铰接，弹簧和垫片套装在扣合杆上，且弹簧的一端与扣合杆把手相抵接，而其另一端与垫片相抵接；扣合杆的长度，大于第一模块的扣合座与第二模块的扣合座两者之间的距离.这一技术方案，属于弹性扣合技术.其目的在于，可有效避免硅片的受损甚至造成破裂.

上述硅片双面光刻用模具中，还包括用来扣压第一透光基准板和第二透光基准板的弹性垫块；所述弹性垫块套装在所述紧定螺钉的螺杆上；所述紧定螺钉通过弹性垫块，将第一基准板和第二基准板，分别定置在第一沉孔和第二沉孔内。由于弹性垫块例如橡胶垫块或铜片垫块的存在，可以有效避免损伤所述透光基准板。

上述硅片双面光刻用模具中，所述第一模块所设的第一透光通孔，和第二模块所设的第二透光通孔，均为锥形通孔；且所述锥形通孔的小口径端，分别与第一沉孔和第二沉孔相贯通。以进一步提高透光强度。

本实用新型所具有的积极效果是：在其使用时，可将需要光刻的硅片放在第一透光基准板和第二透光基准板之间，且通过扣合副将第一模块与第二模块相互扣合，然后本实用新型放入单面光刻机的光刻平台上，进行硅片第一次单面光刻，完成后翻转，进行硅片第二次单面光刻，即对硅片完成了双面光刻工艺。这一结构，不仅结构简单，而且操作方便，因而能够实现在单面光刻机上进行双面光刻的目的，从而降低了硅片光刻工艺的生产成本。

附图说明

图1是本实用新型一种具体实施方式的结构示意图(扣合状态)；

图2是图1的打开状态图，图中所示第一沉孔3-1和第二沉孔4-1，均为四边形；

图3是图2的A-A剖视图。

具体实施方式

以下结合附图，通过具体实施例的描述，对本实用新型作进一步的说明。

实施例1

参读附图1、2、3所示。一种硅片双面光刻用模具，包括第一透光基准板1和第二透光基准板2，还包括第一模块3和第二模块4；第一模块3和第二模块4相对合；在第一模块3和第二模块4的对合面上，分别设有相互对称布置的可容置第一透光基准板1和第二透光基准板2的四边形第一沉孔3-1和四边形第二沉孔4-1；所述第一沉孔3-1和第二沉孔4-1的深度，分别等于第一透光基准板1的厚度加上硅片1/2厚度之和；和第二透光基准板2的厚度加上硅片1/2厚度之和；第一模块3和第二模块4分别设有第一透光通孔3-2和第二透光通孔4-2，且第一透光通孔3-2和第二透光通孔4-2的中心线，分别与第一沉孔3-1和第二沉孔4-1的中心线处在同一直线上，且第一透光通孔3-2和第二透光通孔4-2，分别小于第一沉孔3-1和第二沉孔4-1；所述第一模块3和第二模块4，通过铰接副5相互铰接，且通过扣合副6相互扣合；第一模块3和第二模块4两者的对合面上，且分别位于第一沉孔3-1和第二沉孔4-1的4个侧边相交部位，设有4个用来容置紧定螺钉7，且其深度大于紧定螺钉7的螺钉头长度的第三沉孔8和第四沉孔9，在所述第三沉孔8和第四沉孔9的底面，设有与所述紧定螺钉7相拧合的螺孔10，且所述紧定螺钉7的螺钉头，可分别与第一透光基准板3和第二透光基准板4相压接。

实施例之一所描述的本实用新型，其所述第一沉孔3-1和第二沉孔4-1，分别与第一透光基准板1和第二透光基准板2精准配合，且可采用十字坐标刻线，进行第一透光基准板1与第二透光基准板2图纹重影的对位精整调节.

实施例2

如图1、2、3所示，一种硅片双面光刻用模具，包括第一透光基准板1和第二透光基准板2，还包括第一模块3和第二模块4；第一模块3和第二模块4相对合；在第一模块3和第二模块4的对合面上，分别设有相互对称布置的可容置第一透光基准板1和第二透光基准板2的四边形第一沉孔3-1和四边形第二沉孔4-1；所述第一沉孔3-1和第二沉孔4-1的深度，分别等于第一透光基准板1的厚度加上硅片1/2厚度之和；和第二透光基准板2的厚度加上硅片1/2厚度之和；第一模块3和第二模块4分别设有第一透光通孔3-2和第二透光通孔4-2，且第一透光通孔3-2和第二透光通孔4-2的中心线，分别与第一沉孔3-1和第二沉孔4-1的中心线处在同一直线上，且第一透光通孔3-2和第二透光通孔4-2，分别小于第一沉孔3-1和第二沉孔4-1；所述第一模块3和第二模块4，通过铰接副5相互铰接，且通过扣合副6相互扣合；第一模块3和第二模块4两者的对合面上，且分别位于第一沉孔3-1和第二沉孔4-1的4个侧边相交部位，设有4个用来容置紧定螺钉7，且其深度大于紧定螺钉7的螺钉头长度的第三沉孔8和第四沉孔9，在所述第三沉孔8和第四沉孔9的底面，设有与所述紧定螺钉7相拧合的螺孔10，且所述紧定螺钉7的螺钉头，可分别与第一透光基准板3和第二透光基准板4相压接。

如图1、2所示，为了保证第一透光基准板1和第二透光基准板2的光刻图纹完全重影，还包括设在第一模块3和第二模块4上的用来调整第一透光基准板1和第二透光基准板2所设的光刻图纹相互重影的图纹调整组件11；所述图纹调整组件11，包括2组每组2个调整螺钉11-1，和2组每组2个由弹簧11-2-1和螺钉11-2-2组成的弹性调整螺组件钉11-2，且每组2个调整螺钉11-1与每组2个弹性调整螺钉组件11-2，分别相对布置在第一沉孔3-1和第二沉孔3-2的两侧，且分别与第一透光基准板1和第二透光基准板2相抵接。

如图1、2、3所示，为了保证第一模块3和第二模块4实现弹性扣合，所述扣合副6包括分别与第一模块3和第二模块4连接的具有豁口的扣合座3-3，4-3，扣合杆13、弹簧14和垫片15；扣合杆13的一端，与第一模块3的扣合座3-3或第二模块4的扣合座4-3铰接，弹簧14和垫片15套装在扣合杆13上，且弹簧14的一端与扣合杆把手13-1相抵接，而其另一端与垫片15相抵接；扣合杆13的长度，大于第一模块3的扣合座3-3与第二模块4的扣合座4-3两者之间的距离。

如图2所示，为了避免第一透光基准板1和第二透光基准板2可能产生破裂，本实用新型还包括用来扣压第一透光基准板1和第二透光基准板2的弹性垫块16；所述弹性垫块16套装在所述紧定螺钉7的螺杆上；所述紧定螺钉7通过弹性垫块16，将第一基准板1和第二基准板2，分别定置在第一沉孔3-1和第二沉孔4-1内。

如图3所示，为了使得硅片光刻时透光性好，所述第一模块3所设的第一透光通孔3-2，和第二模块4所设的第二透光通孔4-2，均为锥形通孔；且所述锥形通孔的小口径端，分别与第一沉孔3-1和第二沉孔4-1相贯通。

本实用新型使用时，将第一透光基准板1和第二透光基准板2，分别装在第一模块3和第二模块4的第一沉孔3-1和第二沉孔4-1中，在第一透光基准板1和第二透光基准板2装配精度差的条件下，为了保证第一透光基准板1、与第二透光基准板2两者的光刻图纹完全重影，可通过调节图纹调整组件11的弹性螺钉调整组件11-2，实施精确调整.待调整好后，再通过设在第一沉孔3-1和第二沉孔4-1的4个角落上的紧定螺钉7，将第一透光基准板1和第二透光基准板2固定.再将硅片17置于第一透光基准板1和第二透光基准板2之间，并且通过扣合副6扣合，再放在单面光刻机的光刻平台上，进行硅片17的第一次单面光刻，完成后翻转，进行硅片17的第二次单面光刻，即对硅片17完成了双面光刻工艺.这一结构，实现了在单面光刻机上对硅片进行双面光刻的工艺.本实用新型不仅结构简单，操作方便，而且有效降低了硅片光刻工艺成本.

本实用新型初样，在采用六角形蜂窝状图纹的透光基准板，制备六角形硅片的光刻生产过程中的效果，是十分令人满意的。

Claims (5)

1.一种硅片双面光刻用模具，包括第一透光基准板(1)和第二透光基准板(2)，其特征在于：还包括第一模块(3)和第二模块(4)；第一模块(3)和第二模块(4)相对合；在第一模块(3)和第二模块(4)的对合面上，分别设有相互对称布置的可容置第一透光基准板(1)和第二透光基准板(2)的第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)；所述第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)的深度，分别等于第一透光基准板(1)的厚度加上硅片1/2厚度之和；和第二透光基准板(2)的厚度加上硅片1/2厚度之和；第一模块(3)和第二模块(4)分别有第一透光通孔(3-2)和第二透光通孔(4-2)，且第一透光通孔(3-2)和第二透光通孔(4-2)，分别小于第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)；所述第一模块(3)和第二模块(4)两者的一侧，通过铰接副(5)相互铰接，而两者的另一侧通过扣合副(6)相互扣合；第一模块(3)和第二模块(4)两者的对合面上，且分别沿第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)的周边，至少设有2个用来容置紧定螺钉(7)，且其深度大于紧定螺钉(7)的螺钉头长度的第三沉孔(8)和第四沉孔(9)；在所述第三沉孔(8)和第四沉孔(9)的底面，设有与所述紧定螺钉(7)相拧合的螺孔(10)，且所述紧定螺钉(7)的螺钉头，可分别与第一透光基准板(3)和第二透光基准板(4)相压接。

2.根据权利要求1所述的硅片双面光刻用模具，其特征在于：还包括分别设在第一模块(3)和第二模块(4)上的用来调整第一透光基准板(1)和第二透光基准板(2)所设的光刻图纹相互重影的图纹调整组件(11)；所述图纹调整组件(11)，包括2组每组2个调整螺钉(11-1)，和2组每组2个由弹簧(11-2-1)和螺钉(11-2-2)组成的弹性调整螺钉组件(11-2)，且每组2个调整螺钉(11-1)和每组2个弹性调整螺钉组件(11-2)，分别相对布置在第一沉孔(3-1)和第二沉孔(3-2)的两侧，且分别与第一透光基准板(1)和第二透光基准板(2)相抵接。

3.根据权利要求1所述的硅片双面光刻用模具，其特征在于：所述扣合副(6)包括分别与第一模块(3)和第二模块(4)连接的扣合座(3-3，4-3)，扣合杆(13)、弹簧(14)和垫片(15)；扣合杆(13)的一端，与第一模块(3)的扣合座(3-3)或第二模块(4)的扣合座(4-3)铰接，弹簧(14)和垫片(15)套装在扣合杆(13)上，且弹簧(14)的一端与扣合杆把手(13-1)相抵接，而其另一端与垫片(15)相抵接；扣合杆(13)的长度，大于第一模块(3)的扣合座(3-3)与第二模块(4)的扣合座(4-3)两者之间的距离。

4.根据权利要求1所述的硅片双面光刻用模具，其特征在于：还包括用来扣压第一透光基准板(1)和第二透光基准板(2)的弹性垫块(16)；所述弹性垫块(16)套装在所述紧定螺钉(7)的螺杆上；所述紧定螺钉(7)通过弹性垫块(16)，将第一基准板(1)和第二基准板(2)，分别定置在第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)内。

5.根据权利要求1所述的硅片双面光刻用模具，其特征在于：所述第一模块(3)所设的第一透光通孔(3-2)，和第二模块(4)所设的第二透光通孔(4-2)，均为锥形通孔；且所述锥形通孔的小口径端，分别与第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)相贯通。

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