CN201438071U - 硅块干燥箱 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅块干燥箱，设有箱体、箱盖，其特征在于：所述箱体为上开口，开口处设有上盖(12)和密封圈(11)，设有一个控制该上盖开合的气缸(3)，在箱体的内壁上和箱底设有电热板(6、8)，箱体上还设有排气口(1)和进气口(7)，所述排气口与真空泵连通，进气口与氮气源连通。在箱体上设有与箱体内部连通的真空压力开关(2)。在箱体内设有热电偶(5)。本实用新型适用于硅块清洗之后，对硅块进行干燥处理，实现完全自动控制，干燥快，效率高，效果好。
Description
技术领域
本实用新型属于一种干燥设备，具体是用于硅块清洗之后，对硅块进行干燥处理的设备。
背景技术
在硅片生产加工工艺中，需要对硅块进行清洗，清洗之后，要很快地进行干燥处理。现用的干燥设备就是普通的烘干箱，用这种烘干箱对清洗后的硅块进行烘干，速度慢，效率低，烘干的效果不理想，特别是不能在线生产。因此，需要提出一种使用方便，操作简便快捷，效率和效果更好的硅块干燥设备。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种硅块干燥箱，该干燥箱，对硅块进行烘干，或进行其他干燥工艺的效率高，效果更理想，操作简便。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：硅块干燥箱，设有箱体、箱盖，其特征在于：所述箱体为上开口，开口处设有上盖和密封圈，并设有一个控制上盖开合的气缸，在箱体的内壁上和箱底设有电热板，箱体上还设有排气口和进气口，所述排气口与真空泵连通，进气口与氮气源连通。
在箱体上设有与箱体内部连通的真空压力开关。
在箱体内设有热电偶。
本实用新型的工作过程：启动气缸打开上盖，放入工件，启动气缸关闭上盖，启动电热板加热，加热一段时间后，对箱体内抽真空，排出水蒸汽，待干燥后，向箱体内充氮气，真空压力开关检测到氮气充入后，启动气缸打开上盖，取出工件。
本实用新型在干燥过程中对箱体抽真空，加速了干燥过程，充氮气开盖，实现完全自动控制，干燥快，效率高，效果好。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明：实施例：参见附图，硅块干燥箱，设有箱体、箱盖，其特征在于：所述箱体为上开口，开口处设有上盖12和密封圈11，设有一个控制该上盖开合的气缸3，在箱体的内壁上和箱底设有电热板6、8，箱体上还设有排气口1和进气口7，所述排气口与真空泵连通，进气口与氮气源连通。在箱体上设有与箱体内部连通的真空压力开关2。在箱体内设有热电偶5。
本实用新型经试用效果非常好。
Claims (3)
1.一种硅块干燥箱，设有箱体、箱盖，其特征在于：所述箱体为上开口，开口处设有上盖(12)和密封圈(11)，设有一个控制该上盖开合的气缸(3)，在箱体的内壁上和箱底设有电热板(6、8)，箱体上还设有排气口(1)和进气口(7)，所述排气口与真空泵连通，进气口与氮气源连通。
2.根据权利要求1所述的硅块干燥箱，其特征在于：在箱体上设有与箱体内部连通的真空压力开关(2)。
3.根据权利要求1所述的硅块干燥箱，其特征在于：在箱体内设有热电偶(5)。
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Publications (1)
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| CN201438071U true CN201438071U (zh) | 2010-04-14 |
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Country Status (1)
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2009
- 2009-06-30 CN CN2009201096561U patent/CN201438071U/zh not_active Expired - Fee Related
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