CN201427991Y - 可调角度百叶窗式节流阀 - Google Patents

Abstract

可调角度百叶窗式节流阀是用在真空镀膜系统中的，它包括动力源和阀体本体，动力源包括步进电机和由步进电机带动的齿轮，齿轮包括小齿轮和大齿轮，大齿轮固接阀体本体的引出轴；阀体本体还包括有多片节流板，所有节流板通过连接杆连接在一起，中间位置的节流板一端固接引出轴，另一端固接转轴，除中间位置的其它节流板两端都固接有转轴；步进电机带动齿轮转动，齿轮带动引出轴，并且带动所有节流板同时进行转动，节流板转过不同角度，在真空接口处形成不同的流导，可以实现不同的充气量，真空度稳定在某一相同值；采用多块节流板，可以减小节流板回转半径，减小装配空间。

Description

可调角度百叶窗式节流阀

技术领域

本实用新型涉及一种可调角度百叶窗式节流阀，尤其是一种应用于真空镀膜机上稳定真空气压的节流阀。

背景技术

在真空离子镀膜机工作中，充工艺气体，要求真空度在0.1～1Pa时保持稳定的压强。在行业内有种解决方法：一种在主泵与抽气口之间加旁通阀；另一种方法在主阀与室体之间加节流阀。前者成本高，占空间大；后者成本低，安装在炉内，不占外部空间。

目前现有真空离子镀膜机镀膜时，要求真空度抽到很高时，再向真空室里充入工艺气体，充一定量的气体后，要求真空度稳定在某个值，这个值一般在0.1～1Pa之间。而在这个真空度范围内，传统扩散泵抽速不稳定，而且会把大量工艺气体抽走，使工艺无法进行。中国专利CN2206299所述的抽真空装置采用传统的扩散泵。中国专利CN2480563公布了一种双燃料引擎进气节流阀，其由步进电机作为动力源，带动蝶阀的开闭，但是如果将其应用到真空稳定度要求高的镀膜机设备中就不能有效改变真空接口处的气体流导。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是提供一种可调角度百叶窗式节流阀，通过步进电机带动阀体本体的转轴转动，通过转轴转动使节流板旋转，从而改变真空接口处的流导，降低泵对工艺气体的抽除量。

为解决上述问题，本实用新型的可调角度百叶窗式节流阀包括动力源和阀体本体，动力源包括步进电机和由步进电机带动的齿轮，齿轮包括小齿轮和大齿轮，大齿轮固接阀体本体的引出轴；阀体本体包括有多片节流板，所有节流板通过连接杆连接在一起，中间位置的节流板一端固接引出轴，另一端固接转轴，除中间位置的其它节流板两端都固接有转轴；节流板是对称形状的平板；多片节流板的数量为三片或三片以上，总数量为奇数个；节流板的转动是由引出轴的带动的，并且同时进行转动，节流板转过不同角度，在真空接口处形成不同的流导，可以实现不同的充气量，真空度稳定在某一相同值；采用多块节流板，可以减小节流板回转半径，减小装配空间。

步进电机是本装置的动力源，步进电机的转动带动小齿轮，小齿轮啮合大齿轮，大齿轮将扭矩传递给引出轴，引出轴的转动实现节流阀的开关。步进电机通过步进电机控制器驱动。步进电机控制器把PLC发出的脉冲信号加以放大驱动步进电机。步进电机的转速与脉冲信号的频率成正比，控制步进脉冲信号的频率，可以对电机精确调速；控制步进脉冲的个数，可以对电机精确定位。

本装置结构简单，占空间位置小。采用步进电机控制，可以对节流阀的开关位置定位，克服了传统汽缸控制对中间过程不能控制的弱点。采用齿轮传动，装配简单，控制精度高。节流板采用多片可旋转式对称平板同时转动实现控制气体流导，所以称之为百叶窗式节流阀。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步的详细的说明：

图1为本实用新型节流阀体装配图。

图2为本实用新型的节流板示意图。

图3为本实用新型的阀体本体转轴旋转90度时的轴向视图。

图4为本实用新型的动力源装置图。

具体实施方式

如图1所示，动力源23固接引出轴1，引出轴1固接中间位置的节流板5，中间位置的节流板5的另一端通过螺栓固接在轴承4上，只能转动，传递扭矩，所有节流板5通过连接杆8连接在一起，引出轴1的转动带动中间位置的节流板5翻转并带动其它节流板5一起转动达到节流目的；阀体本体的框架由平行放置的横钢3和立钢2的端部固接构成。

如图2所示，节流板5通过螺栓6锁固在转轴上，各距两边三分之一位置，对称分布着四个固定螺栓的缺口，对应的螺栓7螺紧在节流板5上。

如图3所示，当节流板5转动90度角度时，节流板5横截面垂直于立钢2，此时连接杆8穿过固定座9，平行于立钢2，固定座9固定于节流板上，并由螺栓7固定在节流板的缺口间，可旋转。

如图4所示，步进电机20固定在连接板21上，连接板21通过螺栓10紧固于固定板11上，步进电机20的启动，带动套接在步进电机20外轴上的小齿轮12，小齿轮12带动与其周边啮合的大齿轮18，同时大齿轮18带动固接在一起的引出轴1，大齿轮18与引出轴1端部采用螺钉19锁紧固接，引出轴1穿过嵌于座体14内侧的深沟球轴承16，深沟球轴承16通过骨架胶封15密封，密封效果好，转动灵活；压盖13套接在座体14的外围，大齿轮的转动将扭矩传递给引出轴1，引出轴1的转动带动节流阀5围绕轴承4以一定角度的转动，达到节流的目的。

步进电机固定连接板21上，连接板21通过螺栓10固定在固定板上，步进电机20通过步进电机控制器驱动，步进电机控制器把PLC发出的脉冲信号加以放大驱动步进电机20，步进电机20的转速与脉冲信号的频率成正比，控制步进脉冲信号的频率，可以对步进电机20精确调速；控制步进脉冲的个数，可以对电机精确定位。

本实施例中，节流板为长方形平板，但不限于长方形，对称结构的平板都在权利要求保护的范围，依靠引出轴的转动带动其转动，多块节流板通过连接杆连接在一起，实现多块节流板的同时转动，节流板转过不同角度，在真空接口处形成不同的流导，可以实现不同的充气量真空度稳定在某一相同值。采用多块节流板，可以减小节流板回转半径，减小装配空间。

本装置相对已有装置，结构简单，占空间位置小，采用步进电机控制，可以对节流阀的开关位置定位，克服了传统汽缸控制对中间过程不能控制的弱点。采用齿轮传动，装配简单，控制精度高。

Claims (5)

1、可调角度百叶窗式节流阀，包括动力源和阀体本体，特征是：所述动力源(23)包括步进电机(20)和由步进电机(20)带动的齿轮；所述阀体本体包括有多片节流板(5)，所有节流板(5)通过连接杆(8)连接在一起，中间位置的节流板(5)一端固接引出轴(1)，另一端固接转轴(4)，除中间位置的其它节流板(5)两端都固接有转轴(4)。

2、根据权利要求1所述的可调角度百叶窗式节流阀，其特征在于所述齿轮为小齿轮(12)啮合大齿轮(18)。

3、根据权利要求2所述的真空镀膜机可调角度百叶窗式节流阀，其特征在于所述大齿轮(18)轴心固接引出轴(1)一端。

4、根据权利要求1所述的可调角度百叶窗式节流阀，其特征在于所述节流板(5)是对称形状的平板。

5、根据权利要求1所述的可调角度百叶窗式节流阀，其特征是节流板(5)的数量不少于三片，总数量是奇数个。

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