CN201414070Y - 射频离子电源 - Google Patents
射频离子电源 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201414070Y CN201414070Y CN2009201583204U CN200920158320U CN201414070Y CN 201414070 Y CN201414070 Y CN 201414070Y CN 2009201583204 U CN2009201583204 U CN 2009201583204U CN 200920158320 U CN200920158320 U CN 200920158320U CN 201414070 Y CN201414070 Y CN 201414070Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- power supply
- circuit
- high frequency
- electron tube
- radio frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Electrostatic Separation (AREA)
Abstract
本实用新型涉及电源技术领域，具体的说是一种射频离子电源。包括可调电源电路，推挽放大自激振荡电路，耦合输出电路，所述可调电源电路对功率、电压进行调节，该可调电源电路的输出端连接有静电除尘器，该静电除尘器的另一端通过稳压滤波电路与推挽放大自激振荡电路连接，该推挽放大自激振荡电路的另一端与耦合输出电路连接，该耦合输出电路的另一端接设备负载，该设备负载发出的信号反馈给推挽放大自激振荡电路。设置的推挽放大自激振荡电路实现电源与设备间的阻抗匹配；电源的射频峰值电压高，工作开始不需要点火装置，增设的静电除尘器完全消除工作过程中由于静电的影响造成的粘附现象。
Description
技术领域：
本实用新型涉及一种电源技术领域，具体的说是一种射频离子电源。
背景技术：
现有的射频电源技术采用它激式石英晶体稳频，功率输出采用金属陶瓷四极管FU-100F。电子管与电缆之间采用匹配网络。电缆与负载之间，由匹配箱来实现匹配。由于电源的工作与负载的匹配连接完全是由电源与负载之间加装匹配箱来完成负载之间的匹配。匹配的性能好坏直接影响到生产中镀膜的质量、由于设备中电极参数不断的发生变化致使匹配性能难于控制，使操作工的操作难度增加，同时产品质量也难以得到保证。
发明内容：
本实用新型的目的旨在改进背景技术之不足而提供一种全自动控制的，能够有效提高产品加工质量的自匹配射频离子电源。
本实用新型采用如下技术方案：
一种射频离子电源，包括可调电源电路，推挽放大自激振荡电路，稳压滤波电路，藕合输出电路，所述可调电源电路对功率、电压进行调节，该可调电源电路的输出端连接有静电除尘器，该静电除尘器的另一端通过稳压滤波电路与推挽放大自激振荡电路连接，该推挽放大自激振荡电路的另一端与藕合输出电路连接，该藕合输出电路的另一端接设备负载，该设备负载发出的信号反馈给推挽放大自激振荡电路。
采用上述技术方案的本实用新型与现有技术相比，所设置的推挽放大自激振荡电路，由电容提供正反馈信号，并通过电子管进行功率放大，实现电源与设备间的阻抗匹配；该电源的射频峰值电压高，工作开始不需要点火装置，且能够在较高的真空度下并且在高功率下轰击，镀膜夹具不粘晶片，对高频晶片的镀膜效率有很大的提高；增设的静电除尘器完全消除工作过程中由于静电的影响造成的粘附现象。
作为本实用新型技术方案的进一步改进，所述藕合输出电路中输出高频信号，其输出线圈(L2)与设备负载之间产生选频网络，实现电源与设备的阻抗匹配。
作为本实用新型技术方案的进一步改进，所述的静电除尘器与可调电源并联后再与推挽放大自激振荡电路连接。
作为本实用新型技术方案的进一步改进，所述的推挽放大自激振荡电路中设有两个高频功率电子管，分别为第一高频功率电子管(Q1)和第二高频功率电子管(Q2)，所述第一高频功率电子管(Q1)与第二高频功率电子管(Q2)的阳极之间串接有电感线圈(L1)，该电感线圈(L1)分别与电容(C1)和电容(C2)的一端并联，该电容(C1)另一端与电感(L3)并接后与第一高频功率电子管(Q1)的栅极连接，所述电容(C2)的另一端与电感(L4)并接后与第二高频功率电子管(Q2)的栅极连接。
附图说明：
图1是本实用新型的电路方框图。
图2是本实用新型的电路原理图。
具体实施方式：
下面结合附图及实施例详述本实用新型：
一种射频离子电源，参见附图1和附图2，由可调电源电路1，推挽放大自激振荡电路2，藕合输出电路3，设备负载4，静电除尘器5，稳压滤波电路6，输出电缆7，电流指示电路8组成。
可调电源电路1对功率、电压进行调节，可调电源电路1的输出端连接有静电除尘器5和电流指示电路8，静电除尘器5的另一端与推挽放大自激振荡电路2连接，推挽放大自激振荡电路2的另一端通过稳压滤波电路6与推挽放大自激振荡电路2连接，藕合输出电路3的另一端通过输出电缆7接设备负载4的上电极，设备负载4发出的信号反馈给推挽放大自激振荡电路3。
藕合输出电路3中输出高频信号，其输出线圈L2与设备负载4之间产生选频网络，实现电源与设备的阻抗匹配。
静电除尘器5中的电容C7与可调电源电路1并联后再与推挽放大自激振荡电路2连接。
推挽放大自激振荡电路2中设有两个高频功率电子管，分别为第一高频功率电子管Q1和第二高频功率电子管Q2，第一高频功率电子管Q1与第二高频功率电子管Q2的阳极之间串接有电感线圈L1，电感线圈L1分别与电容C1和电容C2的一端并联，电容C1另一端与电感L3并接后与第一高频功率电子管Q1的栅极连接，电容C2的另一端与电感L4并接后与第二高频功率电子管Q2的栅极连接。
推挽放大自激振荡电路2，由电容C1和C2提供正反馈信号，并通过第一高频功率电子管Q1与第二高频功率电子管Q2进行功率放大，实现电源与设备间的阻抗匹配；该电源的射频峰值电压高，工作开始不需要点火装置，且能够在较高的真空度下并且在高功率下轰击，镀膜夹具不粘晶片，对高频晶片的镀膜效率有很大的提高；增设的静电除尘器5完全消除工作过程中由于静电的影响造成的粘附现象。
本实施实施例安装操作简单、使用方便，接好电源(220V)，用功率输出专用电缆将该机功率输出插口与负载连接好，工作控制由外控信号输入插孔输入控制信号(外控信号要求为一组常开触点，闭合开始工作，断开停止工作)，电磁阀电源线与供气电磁阀(～220V)连接好，然后将电源开关置于ON的位置，功能开关置于自动，功率调节至150V左右，待外控输入工作信号开始工作后可根据实际需要再调整功率调节旋钮至适当位置即可。
本实施例设有手动试验按钮，即当功能开关置于手动位置时按下手动按钮即开始工作，松开则停止工作，此按钮只作为维修人员在维修试验时使用；本实施例正常工作电流为0-320mA(电流表指示)，一般不宜超过340mA，否则将影响设备的工作寿命。
Claims (4)
1、一种射频离子电源，包括可调电源电路，推挽放大自激振荡电路，稳压滤波电路，藕合输出电路，其特征在于：所述可调电源电路对功率、电压进行调节，该可调电源电路的输出端连接有静电除尘器，该静电除尘器的另一端通过稳压滤波电路与推挽放大自激振荡电路连接，该推挽放大自激振荡电路的另一端与藕合输出电路连接，该藕合输出电路的另一端接设备负载，该设备负载发出的信号反馈给推挽放大自激振荡电路。
2、根据权利要求1所述的射频离子电源，其特征在于：所述藕合输出电路中输出高频信号，其输出线圈(L2)与设备负载之间产生选频网络，实现电源与设备的阻抗匹配。
3、根据权利要求1所述的射频离子电源，其特征在于：所述的静电除尘器中的电容与可调电源电路并联后再与推挽放大自激振荡电路连接。
4、根据权利要求1所述的射频离子电源，其特征在于：所述的推挽放大自激振荡电路中设有两个高频功率电子管，分别为第一高频功率电子管(Q1)和第二高频功率电子管(Q2)，所述第一高频功率电子管(Q1)与第二高频功率电子管(Q2)的阳极之间串接有电感线圈(L1)，该电感线圈(L1)分别与电容(C1)和电容(C2)的一端并联，该电容(C1)另一端与电感(L3)并接后与第一高频功率电子管(Q1)的栅极连接，所述电容(C2)的另一端与电感(L4)并接后与第二高频功率电子管(Q2)的栅极连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009201583204U CN201414070Y (zh) | 2009-05-22 | 2009-05-22 | 射频离子电源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009201583204U CN201414070Y (zh) | 2009-05-22 | 2009-05-22 | 射频离子电源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201414070Y true CN201414070Y (zh) | 2010-02-24 |
Family
ID=41715950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2009201583204U Expired - Lifetime CN201414070Y (zh) | 2009-05-22 | 2009-05-22 | 射频离子电源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201414070Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101552551B (zh) * | 2009-05-22 | 2011-02-02 | 唐山海通电子有限公司 | 射频离子电源 |
| CN106358358A (zh) * | 2016-09-28 | 2017-01-25 | 北京锐光仪器有限公司 | 一种自激式固态射频发生器 |
-
2009
- 2009-05-22 CN CN2009201583204U patent/CN201414070Y/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101552551B (zh) * | 2009-05-22 | 2011-02-02 | 唐山海通电子有限公司 | 射频离子电源 |
| CN106358358A (zh) * | 2016-09-28 | 2017-01-25 | 北京锐光仪器有限公司 | 一种自激式固态射频发生器 |
| CN106358358B (zh) * | 2016-09-28 | 2020-06-23 | 北京锐光仪器有限公司 | 一种自激式固态射频发生器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN205961066U (zh) | 一种宽带射频功率放大器 | |
| CN108183560B (zh) | 一种基于e类逆变器的无线电能传输系统 | |
| CN205430180U (zh) | 一种磁耦合谐振式无线电能传输e类功率放大器 | |
| CN204794909U (zh) | 一种用于耦合谐振无线电能传输装置的射频功率放大器 | |
| CN111030313B (zh) | 无线电能传输系统e类逆变器zvs工作的参数设计方法 | |
| CN110341539B (zh) | 一种多功能充电桩 | |
| CN206542256U (zh) | 一种磁耦合串联谐振式无线电能传输系统 | |
| CN201414070Y (zh) | 射频离子电源 | |
| CN103475109A (zh) | 一种磁耦合谐振式无线电能传输装置 | |
| CN101552551B (zh) | 射频离子电源 | |
| CN105430784A (zh) | 一种大功率高频率稳定度的微波能发生器 | |
| CN203761283U (zh) | 可调节输出电压的电源适配器 | |
| CN205808567U (zh) | 感应取电式高压断路器温升监测装置 | |
| CN201369677Y (zh) | 一种用于大气压下等离子体放电的改进式射频电源 | |
| CN101420237A (zh) | 监听器电路 | |
| CN206331055U (zh) | 一种可切换放大器试验设备 | |
| CN204229563U (zh) | 高频容抗式电缆线无线防盗报警器 | |
| CN210652752U (zh) | 一种多功能充电桩 | |
| CN208147104U (zh) | 一种焊机控制电路及焊机 | |
| CN207339799U (zh) | 一种带有负反馈结构的f类功率放大器 | |
| CN104376669A (zh) | 高频容抗式电缆线无线防盗报警器 | |
| CN204271919U (zh) | 一种ifd净化装置的适配电源 | |
| CN205945538U (zh) | 一种电子回旋阳极高压电源功率模块 | |
| CN204696940U (zh) | 一种具有磁放大技术的高频开关电源变换器 | |
| CN2323378Y (zh) | 宽频带故障放电耦合器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20100224 Effective date of abandoning: 20090522 |