CN201365059Y - 线夹 - Google Patents

线夹 Download PDF

Info

Publication number
CN201365059Y
CN201365059Y CNU2009201015691U CN200920101569U CN201365059Y CN 201365059 Y CN201365059 Y CN 201365059Y CN U2009201015691 U CNU2009201015691 U CN U2009201015691U CN 200920101569 U CN200920101569 U CN 200920101569U CN 201365059 Y CN201365059 Y CN 201365059Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
arm
wire clamp
steel ball
wire
swing arm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNU2009201015691U
Other languages
English (en)
Inventor
李朝军
张续业
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Semiconductor Equipment Institute
Original Assignee
Beijing Semiconductor Equipment Institute
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Semiconductor Equipment Institute filed Critical Beijing Semiconductor Equipment Institute
Priority to CNU2009201015691U priority Critical patent/CN201365059Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201365059Y publication Critical patent/CN201365059Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种线夹,其技术要点是其音圈电机的上定子和下定子均固定在定臂的后端,处于两定子之间的由保持架和线圈构成的电机动子与动臂固定,动臂与定臂相对的中部之间设有Z′向枢轴,枢轴由上轴承、下轴承和连于两臂间的拉伸弹簧构成,上轴承和下轴承均由一个钢球和两个钢球座构成,两个钢球座与钢球的两侧相接触并分别镶嵌在动臂和定臂上。它采用枢轴机构,并以音圈电机为动力完成线夹的开合动作。故本线夹不仅结构紧凑,且工作稳定可靠。本线夹还具有夹紧力大小可控,开合方向可控、速度快,低惯量等优点。

Description

线夹
技术领域
本实用新型涉及一种线夹,特别是一种适用于半导体后封装设备——全自动引线键合机键合头上使用的线夹。
技术背景
金属引线键合机是以金属丝连接芯片焊盘与封装管脚的半导体生产关键设备,线夹是全自动键合机键合头上的核心部件。通过键合头提供的Zθ向运动,配合精密XY运动平台,引导金属线在三维空间作复杂高速运动,以便形成各种满足不同封装所需的线弧。线夹在键合循环中张开与闭合,配合键合头完成键合过程,以达到对芯片焊盘与封装管脚的键合连接。
由于在键合过程中,XY平台最大有7~8g的加速度,而键合头Zθ向加速度可达100g以上,所以对安装于键合头上的线夹提出了很高的要求,即要在保持高的速度与精度的情况下,同时要求线夹具有低惯量,高刚性,线夹开合的高速度,夹紧力可控等。因现有技术中的线夹具有结构不紧凑、稳定性差,动作不简练,精度不高等缺陷,难于很好的满足上述技术要求。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构紧凑、工作稳定可靠的线夹。
解决上述问题所采用的技术方案如下:
本实用新型包括音圈电机、动臂、定臂和过线器,其特征是所说音圈电机的上定子和下定子均固定在定臂的后端,处于两定子之间的由保持架和线圈构成的电机动子与动臂固定,动臂与定臂相对的中部之间设有Z′向枢轴,枢轴由上轴承、下轴承和连于两臂间的拉伸弹簧构成,上轴承和下轴承均由一个钢球和两个钢球座构成,两个钢球座与钢球的两侧相接触并分别镶嵌在动臂和定臂上。
上述线夹,所说动臂前端内侧设有借助于导电银胶与之粘接固定的硬质合金动夹片,定臂前端内侧与硬质合金动夹片相对设有借助于导电银胶与之粘接固定的硬质合金定夹片。
上述线夹,所说连于两臂间的拉伸弹簧为圆柱螺旋拉伸弹簧,圆柱螺旋拉伸弹簧的两端分别与动臂所设的弹簧销和定臂所设的弹簧销相连。
上述线夹,所说过线器是镶嵌于定臂前端的红宝石过线器。
上述线夹,所说钢球座为红宝石钢球座。
本实用新型所提供的线夹是专门用于半导体后封装设备——全自动引线键合机键合头上的关键部件。它采用枢轴机构,并以音圈电机为动力完成线夹的开合动作。故本线夹不仅结构紧凑,且工作稳定可靠。另外,本线夹还具有夹紧力大小可控,开合方向可控、速度快,低惯量等优点。
附图说明
图1是本实用新型一种实施例的安装轴测结构示意图;
图2是图1所示实施例的轴测分解图;
图3是图1所示实施例的音圈电机安装部位的俯视结构示意图;
图4是本实用新型的前端局部轴测剖视结构示意图。
在附图中:1硬质合金定夹片、2硬质合金动夹片、3金属线、4动臂、5弹簧销、6螺钉、7螺钉、8上定子、9束线夹、10保持架、11键合头动臂、12绝缘垫片、13弹簧销、14拉伸弹簧、15定臂、16换能器、17过线器、18劈力、19小钢球、20钢球座、21钢球、22螺钉、23线圈、24下定子、25制动钉、26限位调节顶丝
具体实施方式
下面将结合实施例附图对本实用新型作进一步详述:
参见附图,本实用新型的构成中包括音圈电机、动臂4、定臂15和过线器17,所说音圈电机的上定子8和下定子24均固定在定臂15的后端,处于两定子之间的由保持架10和线圈23构成的电机动子与动臂4固定,动臂4与定臂15相对的中部之间设有Z′向枢轴,枢轴由上轴承、下轴承和连于两臂间的拉伸弹簧14构成,上轴承和下轴承均由一个钢球21和两个钢球座20构成,两个钢球座20与钢球21的两侧相接触并分别镶嵌在动臂4和定臂15上。
在本实施例中,拉伸弹簧14为圆柱螺旋拉伸弹簧,弹簧14两端分别挂接在动臂4所设的弹簧销5和定臂15所设的弹簧销13上。音圈电机的上定子8和下定子24用螺钉7固定在定臂15上。由保持架10和线圈23构成的电机动子用螺钉22固定在动臂4上。
为了在高速运动时,能使电机5与电源的连线保持稳定,故在上定子8处还设有一束线夹9。
参见图3,为了便于调节和限制电机动子的移动范围,来间接控制硬质合金动夹片2和硬质合金定夹片1沿X′方向的开合间隙,在电机动子的保持架10上安装了制动钉25,并在定臂15与制动钉25相对的部位设有限位调节顶丝26。
为了耐磨,钢球座20以及镶嵌在定臂15前端的过线器17在本实施例中均采用红宝石材质制作。另外,所说动臂4前端内侧设有借助于导电银胶与之粘接固定的硬质合金动夹片2,定臂15前端内侧与硬质合金动夹片2相对设有借助于导电银胶与之粘接固定的硬质合金定夹片1。硬质合金动夹片2和硬质合金定夹片1分别与动臂4和定臂15胶合的步骤如下:首先将硬质合金定夹片1与定臂15胶合,在安装好枢轴机构后,再进行硬质合金动夹片2胶合,参见图4,胶合时,在硬质合金动夹片2与动臂4间放置一小钢球19,并使小钢球19置于动臂4所设的凹坑内,小钢球应略高于动臂4的内侧面,其目的是为了消除加工误差,以便使胶合后的硬质合金定夹片1和硬质合金动夹片2保持完全贴合,使本线夹处于夹紧状态时,两个夹片之间没有间隙,夹紧可靠。
参见图1,本线夹在使用安装时,用螺钉6将线夹的定臂15固定在键合机键合头的动臂11上,线夹整体通过六个绝缘垫片12与键合头动臂11电气绝缘。工作时,动臂4在音圈电机的驱动下绕Z′枢轴作D′方向一定角度旋转,使线夹的硬质合金动夹片2与硬质合金定夹片1间产生沿X′方向的运动,其运动量一般不超过金属线3线径的2倍,而金属线3的线径大都在Φ0.025mm左右,因此,X′方向的开合间隙非常小,借助于这一小的开合间隙来完成夹紧或松开穿过过线器17的金属线3。金属线3穿过过线器17和线夹的硬质合金动夹片2和硬质合金定夹片1之间,从换能器16顶端的劈刀18中穿出。

Claims (5)

1、一种线夹,它包括音圈电机、动臂、定臂和过线器,其特征是所说音圈电机的上定子(8)和下定子(24)均固定在定臂(15)的后端,处于两定子之间的由保持架(10)和线圈(23)构成的电机动子与动臂(4)固定,动臂(4)与定臂(15)相对的中部之间设有Z′向枢轴,枢轴由上轴承、下轴承和连于两臂间的拉伸弹簧(14)构成,上轴承和下轴承均由一个钢球(21)和两个钢球座(20)构成,两个钢球座(20)与钢球(21)的两侧相接触并分别镶嵌在动臂(4)和定臂(15)上。
2、根据权利要求1所述的线夹,其特征是所说动臂(4)前端内侧设有借助于导电银胶与之粘接固定的硬质合金动夹片(2),定臂(15)前端内侧与硬质合金动夹片(2)相对设有借助于导电银胶与之粘接固定的硬质合金定夹片(1)。
3、根据权利要求1所述的线夹,其特征是所说连于两臂间的拉伸弹簧(14)为圆柱螺旋拉伸弹簧,圆柱螺旋拉伸弹簧的两端分别与动臂(4)所设的弹簧销(5)和定臂(15)所设的弹簧销(13)相连。
4、根据权利要求1所述的线夹,其特征是所说过线器(17)是镶嵌于定臂(15)前端的红宝石过线器。
5、根据权利要求1所述的线夹,其特征是所说钢球座(20)为红宝石钢球座。
CNU2009201015691U 2009-02-19 2009-02-19 线夹 Expired - Fee Related CN201365059Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2009201015691U CN201365059Y (zh) 2009-02-19 2009-02-19 线夹

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2009201015691U CN201365059Y (zh) 2009-02-19 2009-02-19 线夹

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201365059Y true CN201365059Y (zh) 2009-12-16

Family

ID=41475728

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNU2009201015691U Expired - Fee Related CN201365059Y (zh) 2009-02-19 2009-02-19 线夹

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201365059Y (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109300796A (zh) * 2018-09-29 2019-02-01 广东阿达智能装备有限公司 线夹机构和引线键合机

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109300796A (zh) * 2018-09-29 2019-02-01 广东阿达智能装备有限公司 线夹机构和引线键合机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102945813B (zh) 一种用于全自动引线键合设备上的键合头装置
JP2008509574A (ja) ワイヤーボンディング機械のためのボンドヘッド連結アセンブリ
CN102946210A (zh) 尺蠖式多自由度压电驱动装置
US6899262B2 (en) Clamping device
CN201365059Y (zh) 线夹
CN112743264A (zh) 一种焊头运动装置及焊线机
CN111048447A (zh) 一种键合机引线机构及工作方法
CN102537049A (zh) 径向气浮导向模块及应用其的光刻机运动平台
WO2000002694A1 (en) Bond head having dual axes of motion
CN109037113A (zh) 一种实现倒装焊芯片焊点灌封及打磨的装夹装置
CN208819835U (zh) 线夹机构和引线键合机
CN201393156Y (zh) 键合头z向电机
CN202957767U (zh) 尺蠖式多自由度压电驱动装置
CN101961948B (zh) 光伏太阳能印刷机刮刀头
US6863206B2 (en) Bonding apparatus
CN202816884U (zh) 用于全自动引线键合设备上的键合头装置
CN101673989A (zh) 精密空心杯直流减速电机
CN101207344A (zh) 蠕动式压电直线驱动器
WO2022098697A1 (en) Methods of operating a wire bonding machine, including methods of monitoring an accuracy of bonding force on a wire bonding machine, and related methods
JP2002517910A (ja) 部品を動かす送りユニット
US20110114703A1 (en) Z-axis motion system for a wire bonding machine
US6533158B2 (en) Wire bonding apparatus having wire clamp
CN104934358A (zh) 无摩擦力线夹
CN216692361U (zh) 一种新型的电动执行机构检测装置
KR20000016786U (ko) 와이어 본딩 헤드와 이를 채용한 와이어 본딩 장치

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20091216

Termination date: 20120219