CN201363251Y - 一种单晶硅生产设备的真空装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种真空抽取装置，尤其是对单晶硅生产设备进行真空抽取得真空装置。该装置包括大罐(2)、与大罐(2)连通的真空管(3)及与大罐(2)相连的真空泵(7)，真空管(3)通过球阀(4)与单晶硅拉制炉(1)真空抽取管路(5)相连，在真空管(3)上密封固连有放气阀(6)。采用本技术方案，减少了大罐内的挥发物挥发，减少了环境污染，避免了人工上下层之间的跑动，在提高工作效率的同时，避免人为忘记关阀给生产带来的影响。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空抽取装置，尤其是对单晶硅生产设备进行真空抽取得真空装置。
背景技术
目前，在单晶硅生产过程中，一般涉及单晶硅生产设备(单晶硅拉制炉)及对生产设备进行真空抽取的真空装置两部分，其中，生产设备置于上层车间，真空抽取装置置于下层车间，真空抽取装置一般包括大罐、与大罐连通的真空管及真空泵组成，真空管与单晶硅生产设备通过球阀进行连接。在对大罐进行清理时，要在上层车间打开球阀进行放气，使大罐内部压力由真空状态达到常压，因为球阀的直径较大，打开后大罐里的挥发物会随气流从球阀飘出，污染热系统，影响车间的环境卫生，给正常生产带来不利影响，其次，打开大罐后还要从车间的下层到上层关闭球阀，耽误时间，降低了生产效率，使用极为不便。
实用新型内容
为解决现有技术中存在的不足，本实用新型提供了一种能够减少挥发物对环境的影响、有效地提高工作效率且结构简单、使用方便的单晶硅生产设备的真空装置。
为实现上述目的，本实用新型的单晶硅生产设备的真空装置，主要用于对单晶硅拉制炉进行真空抽取，包括大罐、与大罐连通的真空管及与大罐相连的真空泵，真空管通过球阀与单晶硅拉制炉真空抽取管路相连，在真空管上密封固连有放气阀。
真空管上设有定位孔，所述的放气阀固定插装于定位孔内。
作为上述方式的改进，所述的放气阀与真空管垂直连接。
采用上述技术方案，在对大罐进行清理时，由于在真空管上加设放气阀，只需打开放气阀，由于放气阀与真空管成角度密封设置，使得在向大罐冲压过程中，减少了大罐内的挥发物挥发，减少了环境污染；该放气阀可置于下层车间，只需在下层车间打开放气阀即可完成对大罐的清理，避免了人工上下层之间的跑动，在提高工作效率的同时，避免人为忘记关阀给生产带来的影响。
附图说明
下面结合附图及具体的实施方式对本实用新型做更进一步详细说明：
图1是本实用新型的整体连接结构示意图；
具体实施方式
由图1所示可知，该单晶硅生产设备的真空装置，包括大罐2、与大罐2连通的真空管3及与大罐2相连的真空泵7，真空管3通过球阀4与置于上层车间的单晶硅拉制炉1真空抽取管路5相连，真空管3上设有定位孔，放气阀6固定插装于定位孔内。放气阀6与真空管3垂直连接。
Claims (3)
1、一种单晶硅生产设备的真空装置，主要用于对单晶硅拉制炉(1)进行真空抽取，包括大罐(2)、与大罐(2)连通的真空管(3)及与大罐(2)相连的真空泵(7)，真空管(3)通过球阀(4)与单晶硅拉制炉(1)真空抽取管路(5)相连，其特征在于：在真空管(3)上密封固连有放气阀(6)。
2、根据权利要求1所述的单晶硅生产设备的真空装置，其特征在于：真空管(3)上设有定位孔，所述的放气阀(6)固定插装于定位孔内。
3、根据权利要求1或2所述的单晶硅生产设备的真空装置，其特征在于：所述的放气阀(6)与真空管(3)垂直连接。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CNU2009201018276U CN201363251Y (zh) | 2009-03-10 | 2009-03-10 | 一种单晶硅生产设备的真空装置 |
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| CNU2009201018276U CN201363251Y (zh) | 2009-03-10 | 2009-03-10 | 一种单晶硅生产设备的真空装置 |
Publications (1)
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| CN201363251Y true CN201363251Y (zh) | 2009-12-16 |
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Family Applications (1)
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| CNU2009201018276U Expired - Fee Related CN201363251Y (zh) | 2009-03-10 | 2009-03-10 | 一种单晶硅生产设备的真空装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN201363251Y (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103967757A (zh) * | 2014-05-19 | 2014-08-06 | 徐旭东 | 组合真空泵 |
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2009
- 2009-03-10 CN CNU2009201018276U patent/CN201363251Y/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103967757A (zh) * | 2014-05-19 | 2014-08-06 | 徐旭东 | 组合真空泵 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Assignee: Jinglong Industry Group Co., Ltd. Assignor: Ningjin Songgong Electronic Material Co., Ltd. Contract record no.: 2010130000040 Denomination of utility model: Vacuum device of monocrystalline silicon production equipment Granted publication date: 20091216 License type: Exclusive License Record date: 20100628 |
|
| EC01 | Cancellation of recordation of patent licensing contract |
Assignee: Jinglong Industry Group Co., Ltd. Assignor: Ningjin Songgong Electronic Material Co., Ltd. Contract record no.: 2010130000040 Date of cancellation: 20101011 |
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20091216 Termination date: 20160310 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |