CN201335027Y - 一种直排式无油高真空泵 - Google Patents

Abstract

一种直排大气无油高真空泵，依次由电机和泵体组成，电机外壳与泵体外壳连接形成一体，泵体外壳上有吸气端和排气端，所述泵体中段设有与外壳成一体的同心柱壁，所述泵体中段的壳壁与同心柱壁的壁上设有多级与吸气方向一致的导气螺纹阶梯壁；所述泵体中段壳壁与同心柱壁之间设有隔离环，所述隔离环底端设有多级导槽，导槽逐级减小，最小的导槽与外壳排气口相连，所述同心柱壁的中空位置设有与电机主轴联成一体的离心桨叶，离心桨叶的底端与隔离环的底端相连。该真空泵能直排大气，且抽气速率是1L/S～2000L/S，转速是8000rpm～40000rpm，且节约能耗，设备占地面积少、所抽容器的真空度达到≤10^－4Pa。

Description

一种直排式无油高真空泵

技术领域

本实用新型涉及一种抽真空的设备，具体地讲，本实用新型涉及一种直排式无油高真空泵。

背景技术

通常，洁净高真空都是通过高真空泵获得，比如分子泵、扩散泵等，由于这些泵本身只能工作在中高真空区域，所以在其出口处必须保持一定的真空度才行。也就是说，这些泵不能直排大气。而目前能够直排大气的泵又到不了高真空，因此为了获得洁净的高真空往往都需要将工作在不同压力区域的数台泵通过阀门、管道、真空计以及旁路等构成一个复杂的真空机组来实现。该机组构成复杂、操作过程繁琐、易出错、占地大、能耗高，而且维护工作量大，运行成本高。

中国专利CN2667203提供了一种多级罗茨式无油真空泵，该泵由主从动轴、主从动转子、两端侧盖、泵体、级间隔板、主从动齿轮构成，其中泵体采用两片分体结构，两片泵体中有各自的水冷夹层，泵体随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔，两极泵腔之间有两片分体式的级间隔板分开，并通过级间气流通道相连，转子端面形成采用三叶形。本实用新型仍存在机组构成复杂、操作过程繁琐、能耗大的缺点。

发明内容

本实用新型解决真空泵直排大气后真空度低、机械动力复杂的问题。

本实用新型解决以上技术问题是通过以下技术方案来实现的：一种直排大气无油高真空泵，依次由电机和泵体组成，电机外壳与泵体外壳连接形成一体，泵体外壳上有吸气端和排气端，所述泵体中段设有与外壳成一体的同心柱壁，所述泵体中段的壳壁与同心柱壁的壁上设有多级与吸气方向一致的导气螺纹阶梯壁。所述泵体中段壳壁与同心柱壁之间设有隔离环，所述隔离环底端设有多级导槽，导槽逐级减小，最小的导槽与外壳排气口相连。所述同心柱壁的中空位置设有与电机主轴联成一体的离心桨叶，离心桨叶的底端与隔离环的底端相连。离心桨叶和隔离环统称为抽气旋转体，电机主轴带动抽气旋转体旋转，带动离心浆叶、隔离环高速旋转，离心浆叶吸入、牵引气体进入隔离环，为实现气体充分单向吸入隔离环，泵体中段的壳壁与同心柱壁的壁上设有多级与吸气方向一致的导气螺纹阶梯壁，实现气体只向一个方向吸进，防止气体倒逆流出。所述隔离环末端设有多级导槽，导槽逐级减小，最小的导槽与外壳排气口相连，气体吸入到隔离环末端时，顺着多级导槽将气体从排气口排出，由于最小的导槽与外壳排气口相连，气体不会从外界进入倒数第二个导槽，从而实现气体不会从外界进入真空泵，即通过管道串连，中间不设阀门的一体化结构，完成整个吸气、牵引，并压缩空气，形成高真空的过程。

进一步：在上述直排式无油高真空泵中，所述的同心柱壁有2圈，相应的隔离环分为外环和内环，分别嵌入柱壁与柱壁之间的空位，增加气体在隔离环中的行程，使气体充分吸入隔离环。所述的螺纹阶梯壁是多头矩形、梯形或者三角形的螺旋台阶。所述的螺纹阶梯壁的台阶数量不少于3条，所述的台阶高度是1～10mm，优选高度是1～8mm。所述的螺纹阶梯壁的螺纹角度是10～80度。所述的吸气端设有进气口和过滤装置，避免除空气以外的杂质被吸入真空泵而影响真空泵的使用性能和使用寿命。所述离心桨叶的桨叶数不少于2片，加大了气体吸隔离环的力量。所述排气端在靠近电机的位置还设有清洗管道和冷却装置，方便清洁泵体和预防电机过热，延长无油高真空泵的使用寿命。所述的真空泵可以是立式、卧式，液体润滑式或固体润滑式。

本实用新型工作时，用一台电机驱动，当电机高速旋转的时候，从进入端处进来的空气，通过离心桨叶的搅动，在隔离环的导向和牵引作用下，逐渐被挤压出去，能将大气直接出气，使得被抽容器达到≤10^-4Pa的高真空状态。该真空泵抽气速率是1L/S～2000L/S，转速是8000rpm～40000rpm。该直排式无油真空泵节约了能耗，设备占地面积少、降低了故障率和维修率，提高了系统的可靠性并可排除特定的腐蚀性气体。

附图说明

图1是本实用新型实施例所述的直排式无油高真空泵的半剖结构示意图。其中1同心柱壁、2螺纹阶梯壁、3隔离环、4导槽、5排气口、6电机主轴、7离心桨叶、8进气口、9过滤装置、10清洗管道、11冷却装置。

具体实施方式

为了便于本领域技术人员的理解，下面将结合具体实施例及附图1对本实用新型结构原理作进一步详细描述：

请参考图1，一种直排大气无油高真空泵，依次由电机和泵体组成，电机外壳与泵体外壳连接形成一体，泵体外壳上有吸气端和排气端，所述泵体中段设有与外壳成一体的同心柱壁1，所述泵体中段的壳壁与同心柱壁1的壁上设有多级与吸气方向一致的导气螺纹阶梯壁2；所述泵体中段壳壁与同心柱壁1之间设有隔离环3，所述隔离环3底端设有多级导槽4，导槽逐级减小，最小的导槽与外壳排气口5相连；所述同心柱壁1的中空位置设有与电机主轴6联成一体的离心桨叶7，离心桨叶7的底端与隔离环3的底端相连。所述的同心柱壁1有2圈，相应的隔离环3分为外环和内环，分别嵌入柱壁与柱壁之间的空位。所述的螺纹阶梯壁4可以是多头矩形、梯形或者三角形的螺旋台阶。所述的螺纹阶梯壁4的台阶数量不少于3级，所述的台阶高度是1～10mm。所述的螺纹阶梯壁4的螺纹角度是10～80度。所述的吸气端设有进气口8和过滤装置9。所述离心桨叶2的桨叶数不少于2片。所述排气端在靠近电机的位置还设有清洗管道10和冷却装置11。所述的真空泵可以是立式、卧式，液体润滑式或固体润滑式。

工作时，电机动高速旋转的时候，通过电机主轴6带动抽气旋转体旋转，从而带动离心浆叶7、隔离环3高速旋转，从进气口8进入的气体，通过离心浆叶7吸入、牵引气体进入隔离环3，为实现气体充分吸入隔离环3，所述泵体中段的壳壁与同心柱壁1的壁上设有多级与吸气方向一致的导气螺纹阶梯壁2，相对螺纹阶梯壁2的螺纹内外交替，所述的同心柱壁1有2圈，相应的隔离环3分为外环和内环，分别嵌入柱壁与柱壁之间的空位，实现气体只向一个方向吸进，防止气体倒逆流出。所述隔离环3末端设有多级导槽4，导槽4逐级减小，最小的导槽与外壳排气口5相连，气体吸入到隔离环末端时，顺着多级导槽4，将气体从排气口5排出，由于最小的导槽与外壳排气口相连，气体不会从外界进入倒数第二个导槽，从而实现气体不会从外界进入真空泵，即通过管道串连，中间不设阀门的一体化结构，完成整个吸气、牵引，并压缩空气，形成高真空的过程。该真空泵抽气速率是1L/S～2000L/S，转速是8000rpm～40000rpm，使得被抽容器达到≤10^-4Pa的高真空状态。

以上所述为本实用新型的一个较佳实施例，在不脱离本实用新型发明构思的情况下，进行的任何显而易见的变形和替换，均属本实用新型保护范围之内。

Claims (9)

1、一种直排大气无油高真空泵，依次由电机和泵体组成，电机外壳与泵体外壳连接形成一体，泵体外壳上有吸气端和排气端，其特征在于：

所述泵体中段设有与外壳成一体的同心柱壁(1)，所述泵体中段的壳壁与同心柱壁(1)的壁上设有多级与吸气方向一致的导气螺纹阶梯壁(2)；

所述泵体中段壳壁与同心柱壁(1)之间设有隔离环(3)，所述隔离环(3)底端设有多级导槽(4)，导槽逐级减小，最小的导槽与外壳排气口(5)相连；

所述同心柱壁(1)的中空位置设有与电机主轴(6)联成一体的离心桨叶(7)，离心桨叶(7)的底端与隔离环(3)的底端相连。

2、根据权利要求1所述的直排大气无油高真空泵，其特征在于：所述的同心柱壁(1)有2圈，相应的隔离环(3)分为外环和内环，分别嵌入柱壁与柱壁之间的空位。

3、根据权利要求2所述的直排大气无油高真空泵，其特征在于：所述的螺纹阶梯壁(2)是多头矩形、梯形或者三角形的螺旋台阶。

4、根据权利要求3所述的直排大气无油高真空泵，其特征在于：所述的螺纹阶梯壁(2)的台阶数量不少于3级，所述的台阶高度是1～10mm。

5、根据权利要求4所述的直排大气无油高真空泵，其特征在于：所述的螺纹阶梯壁(2)的螺纹角度是10～80度。

6、根据权利要求1-5中任一项所述的直排大气无油高真空泵，其特征在于：所述的吸气端设有进气口(8)和过滤装置(9)。

7、根据权利要求1-5中任一项所述的直排大气无油高真空泵，其特征在于：所述离心桨叶(7)的桨叶数不少于2片。

8、根据权利要求1-5中任一项所述的直排大气无油高真空泵，其特征在于：所述排气端在靠近电机的位置还设有清洗管道(10)和冷却装置(11)。

9、根据权利要求1-5所述的直排大气无油高真空泵，其特征在于：所述的真空泵是立式、卧式，液体润滑式或固体润滑式。

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