CN201331382Y - 一种阵列式微型光谱仪 - Google Patents
一种阵列式微型光谱仪 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201331382Y CN201331382Y CNU2009201129071U CN200920112907U CN201331382Y CN 201331382 Y CN201331382 Y CN 201331382Y CN U2009201129071 U CNU2009201129071 U CN U2009201129071U CN 200920112907 U CN200920112907 U CN 200920112907U CN 201331382 Y CN201331382 Y CN 201331382Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fabry
- array
- perot cavity
- reflecting film
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种阵列式微型光谱仪。传统光谱仪器使用条件苛刻、体积庞大,限制了其应用范围。本实用新型包括阵列排列的多个不同厚度的电光材料板,每个电光材料板的上、下表面镀有上、下层反射膜,构成法-珀腔单元,阵列排列的法-珀腔单元构成法-珀腔阵列。每个法-珀腔单元中上层反射膜镀有增透膜,下层反射膜与探测器紧密连接;每个法-珀腔单元中上层反射膜与对应的电压源的正极连接,下层反射膜与负极连接。透镜设置在法-珀腔阵列的正上方,光源设置在透镜的上方焦点处。本实用新型具有可多通道并行检测光谱信号,分析速度快、加工难度低、可靠性高、灵活性强、灵敏度高、动态范围大等特点。
Description
技术领域
本实用新型属于光谱分析技术领域,涉及一种光谱仪,特别涉及一种基于法-珀腔阵列式微型光谱仪。
背景技术
光谱仪器是应用光学原理和光谱技术,对物质的化学组成及含量进行检测的重要分析仪器,具有分析精度高、测量范围大、速度快等优点,广泛应用于现代科学实验、工农业生产、冶金、地质、石油化工、医药卫生、环境保护、宇宙探索、国防等领域,已形成了几十亿美圆规模的产业。
由于传统光谱仪器使用条件苛刻、体积庞大,因而大大地限制了其应用范围。近年来随着生物医学、航空航天、环境监测、科技农业、军事分析以及工业流程监控等领域的现代化发展,对光谱仪器提出了小型化、微型化、集成化的要求,希望其携带方便、抗振动干扰能力强、性能稳定可靠、功耗小、电压低、使用方便灵活、性能价格比高,且能快速、实时、直观地获取光谱信号。因此,小型化、微型化光谱仪器的研究成了世界各国的研究热点和趋势。
目前,小型化光谱仪的研究已取得了较好进展,并已得到较为广泛的应用。但是,生物医学等领域迫切需要的微型光谱仪在国际上尚处于研究阶段。
从现有公开的基于法-珀腔的微型光谱仪报导中,美国东北大学、西班牙的学者Carlos Calaza都研究过基于法-珀腔的微型光谱仪,但这些方案中,为改变法-珀腔的折射率,是通过改变上下极板的距离而实现的,由于存在运动部件,其制造难度和可靠性、重复性都还需要进行进一步的研究。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术的不足,提供一种高光通量、高灵敏、体积很小、高可靠的阵列式微型光谱仪。
本实用新型包括阵列排列的多个不同厚度的电光材料板,每个电光材料板的上表面镀有上层反射膜,下表面镀有下层反射膜,每个电光材料板以及对应的上层反射膜和下层反射膜构成法-珀腔单元,所有法-珀腔单元构成法-珀腔阵列。每个法-珀腔单元中上层反射膜的上表面镀有增透膜,每个法-珀腔单元中下层反射膜的下表面与探测器紧密连接;每个法-珀腔单元中上层反射膜与对应的电压源的正极连接,下层反射膜与对应的电压源的负极连接。透镜设置在法-珀腔阵列的正上方,透镜的直径大于法-珀腔阵列的最大径,透镜增透膜镀在透镜的上表面,光源设置在透镜的上方焦点处。上层反射膜和下层反射膜的材料为铝或金。
本实用新型充分利用了基于法-珀腔原理微型光谱仪的优点,并且没有活动部件,因此可靠性、重复性都会得到很大提高。本实用新型具有可多通道并行检测光谱信号,分析速度快,加工难度低,可靠性高,各通道参数可独立设计,灵活性强,检测灵敏度高,动态范围大等特点,在生化分析、医疗诊断、工农业检测、环境监测以及航空航天等领域有广泛的应用前景。
附图说明:
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式:
如图1,一种阵列式微型光谱仪包括阵列排列的多个不同厚度的电光材料板1,每个电光材料板1的上表面镀有上层反射膜9,下表面镀有下层反射膜2,每个电光材料板1以及对应的上层反射膜9和下层反射膜2构成法-珀腔单元,所有法-珀腔单元构成法-珀腔阵列。每个法-珀腔单元中上层反射膜9的上表面镀有增透膜10,每个法-珀腔单元中下层反射膜2的下表面与探测器3紧密连接;每个法-珀腔单元中上层反射膜9与对应的电压源4的正极连接,下层反射膜2与对应的电压源4的负极连接。透镜5设置在法珀腔阵列的正上方,透镜5的直径大于法-珀腔阵列的最大径,透镜增透膜6镀在透镜5的上表面,光源7设置在透镜5的上方焦点处。
光源7发出的被测光经过透镜5的准直,将入射光线变为平行光;入射的平行光经过法-珀腔的分光,将入射光变为光谱信号;改变电压源4的电压,可以改变电光材料的折射率,也就改变了可以通过法-珀腔的波长;记录下随电压变化的光谱信号;光谱分析软件可以对光谱信号进行融合和分析,给出被测光的光谱图。在实际设计中,可根据需要和电光材料的折射率变化范围来确定每个法-珀腔单元的自由光谱范围。多个法-珀腔单元的叠加,即阵列结构,就可扩展可测量的光谱范围。
Claims (2)
1、一种阵列式微型光谱仪,包括阵列排列的多个不同厚度的电光材料板,其特征在于:每个电光材料板的上表面镀有上层反射膜,下表面镀有下层反射膜,每个电光材料板以及对应的上层反射膜和下层反射膜构成法-珀腔单元,所有法-珀腔单元构成法-珀腔阵列;每个法-珀腔单元中上层反射膜的上表面镀有增透膜,每个法-珀腔单元中下层反射膜的下表面与探测器紧密连接;每个法-珀腔单元中上层反射膜与对应的电压源的正极连接,下层反射膜与对应的电压源的负极连接;透镜设置在法-珀腔阵列的正上方,透镜的直径大于法-珀腔阵列的最大径,透镜增透膜镀在透镜的上表面,光源设置在透镜的上方焦点处。
2、如权利要求1所述的一种阵列式微型光谱仪,其特征在于:所述的上层反射膜和下层反射膜的材料为铝或金。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNU2009201129071U CN201331382Y (zh) | 2009-01-19 | 2009-01-19 | 一种阵列式微型光谱仪 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNU2009201129071U CN201331382Y (zh) | 2009-01-19 | 2009-01-19 | 一种阵列式微型光谱仪 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN201331382Y true CN201331382Y (zh) | 2009-10-21 |
Family
ID=41224766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNU2009201129071U Expired - Lifetime CN201331382Y (zh) | 2009-01-19 | 2009-01-19 | 一种阵列式微型光谱仪 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN201331382Y (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103162828A (zh) * | 2013-02-26 | 2013-06-19 | 浙江大学 | 基于可调谐珐波利-珀罗滤波器和阵列式探测器光谱仪的超高分辨率光谱仪 |
CN103180715A (zh) * | 2010-10-13 | 2013-06-26 | 波音公司 | 非接触表面化学测量装置和方法 |
WO2022147919A1 (zh) * | 2021-01-06 | 2022-07-14 | 苏州联讯仪器有限公司 | 宽波段光谱仪 |
-
2009
- 2009-01-19 CN CNU2009201129071U patent/CN201331382Y/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103180715A (zh) * | 2010-10-13 | 2013-06-26 | 波音公司 | 非接触表面化学测量装置和方法 |
CN103162828A (zh) * | 2013-02-26 | 2013-06-19 | 浙江大学 | 基于可调谐珐波利-珀罗滤波器和阵列式探测器光谱仪的超高分辨率光谱仪 |
CN103162828B (zh) * | 2013-02-26 | 2015-10-21 | 浙江大学 | 基于可调谐珐波利-珀罗滤波器和阵列式探测器光谱仪的超高分辨率光谱仪 |
WO2022147919A1 (zh) * | 2021-01-06 | 2022-07-14 | 苏州联讯仪器有限公司 | 宽波段光谱仪 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101476936B (zh) | 一种基于法-珀腔阵列式微型光谱仪 | |
CN102135662B (zh) | 光滤波器、特性测量方法、分析设备以及光设备 | |
CN104931440B (zh) | 一种基于微流控芯片的便携式重金属高灵敏度检测装置 | |
CN105628199B (zh) | 具有亚波长金属结构的芯片型光谱仪 | |
CN100401041C (zh) | 光波导吸收式气体传感器及测量系统 | |
TW201629520A (zh) | 光學感測配件、光學感測裝置與光學感測系統 | |
CN105352583B (zh) | 一种测量超声波声压和声强的光学方法和装置及其应用 | |
CN103487200B (zh) | 法布里-珀罗式压强感测腔及应用其的光纤压强传感器 | |
CN110031140B (zh) | 一种基于光学信号的压力探测结构及其使用方法 | |
CN201984033U (zh) | 一种用于液相微流分析系统的spr检测器 | |
CN101504366A (zh) | 氧气浓度检测仪 | |
CN201331382Y (zh) | 一种阵列式微型光谱仪 | |
CN102435315A (zh) | 一种光子计数全谱直读拉曼光谱仪 | |
US20210223127A1 (en) | Pressure transducer and fabrication method thereof | |
CN104280168A (zh) | 一种基于双光束干涉原理的高精度光学微小推力测量系统 | |
CN109870592A (zh) | 一种基于电磁力驱动的光学加速度计 | |
CN103674902A (zh) | 基于手机平台的lspr便携式生化检测仪 | |
CN106595479A (zh) | 一种光纤式三维触发测头装置及测量方法 | |
CN103308451A (zh) | 一种微型光纤氢气传感装置及测量方法 | |
CN103017905A (zh) | 集成平面变栅距光栅和微狭缝的微型光谱仪及其制造方法 | |
CN106680186B (zh) | 一种流式细胞仪多类型散射光探测系统 | |
CN201331383Y (zh) | 一种微型光谱仪 | |
CN202975377U (zh) | 平行四边形棱镜 | |
CN102890163A (zh) | 基于表面等离子体共振的光学加速度传感器 | |
CN102252981A (zh) | 一种光传感总磷检测系统及检测方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20091021 Effective date of abandoning: 20090119 |