CN201323191Y - 晶圆盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种晶圆盒，用于存储晶圆片，其包括盒体、设置于所述盒体底部的底座以及盒盖，还包括设置于所述底座内周上的支撑条，所述底座的内壁设有第一螺纹，所述盒盖外壁的上部设有第二螺纹，所述盒盖与所述底座通过所述螺纹螺接，可使多个晶圆盒固定在一起，放入同一个包装袋中包装出货，节约了包装及运输成本，所述支撑条的数量为八条，从而加大底座支撑固定的力度，便于操作人员旋拧所述盒盖，并可保证在真空包装过程中底座不变形，确保晶圆片的存储安全。

Description

晶圆盒

技术领域

本实用新型涉及包装存储装置，具体涉及一种用于包装存储晶圆片的晶圆盒。

背景技术

在集成电路生产制造过程中，为确保晶圆片的安全储存、搬移，避免破损和污染，广泛运用晶圆盒作为晶圆片的承载及运输工具。具体请参见图1A至图1B，其为现有技术的晶圆盒的示意图，该晶圆盒100包括：盒体110、底座120以及盒盖130，盒体110为圆盒形，用于储放晶圆片，底座120设置于盒体110底部，盒盖130可盖合于所述盒体110上。晶圆盒100还包括支撑条140，支撑条140以辐射状设置于所述底座120的内圆周上，支撑条140的数量为四条，固定支撑底座120。操作人员在打开或盖合盒盖130的过程中，可将手指卡在支撑条140上进行旋拧操作。

但在操作人员使用晶圆盒100的过程中发现，四条支撑条不足以起到加固支撑晶圆盒100的底座120的作用，致使底座120硬度不够，而给操作人员旋拧操作晶圆盒100带来许多困难。另外，需要出货的晶圆片，放置到晶圆盒100后，需要将晶圆盒100进行真空包装，在真空包装晶圆盒100的过程中，由于支撑条140的支撑力度不足，导致底座120较软，而在真空抽射时非常容易变形，从而给晶圆片的存储带来一定的危险，经常发生晶圆片破碎的情况。并且，在晶圆盒100的使用过程中，几个晶圆盒无法固定在一起，因此每个晶圆盒只能单独使用一个包装袋包装出货，增加了包装及运输的成本。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种晶圆盒，解决现有技术的晶圆盒只能单独使用一个包装袋进行包装出货的问题，并解决现有技术的晶圆盒支撑条无法支撑加固所述晶圆盒的底座的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆盒，包括：盒体；底座，为环形，设置于所述盒体底部；以及盒盖，盖合于所述盒体上；所述底座内壁设有第一螺纹，所述盒盖外壁的上部设有第二螺纹，所述第一螺纹与所述第二螺纹相匹配。

可选的，所述晶圆盒还包括支撑条，所述支撑条以辐射状设置于所述底座的内圆周上，所述支撑条数量为八条。

可选的，所述支撑条与所述底座为一体结构。

可选的，所述底座与所述盒体为一体结构。

与现有技术相比，本实用新型所提供的晶圆盒的有益效果是：

1.所述晶圆盒的底座内壁设有螺纹，所述晶圆盒的盒盖外壁的上部设有螺纹，多个晶圆盒可通过所述螺纹固定在一起，从而能放入同一个包装袋中进行包装出货，提高了包装效率，并且减少了包装及运输的成本。

2.增加支撑条的数量，加大了底座支撑固定的力度，便于操作人员旋拧所述盒盖，提高了打开或盖合所述盒盖的效率，并保证在真空包装过程中所述底座不变形，确保晶圆片的存储安全。

附图说明

图1A为现有技术的晶圆盒的结构示意图；

图1B为现有技术的晶圆盒侧视图；

图2A为本实用新型一实施例所提供的晶圆盒的结构示意图；

图2B为本实用新型一实施例所提供的晶圆盒的侧视图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型所提出的晶圆盒作进一步详细说明。

请参考图2A至图2B，其为本实用新型一实施例所提供的晶圆盒的示意图，该晶圆盒200包括：盒体210、底座220以及盒盖230。

其中所述盒体210为圆盒形，用于存储晶圆片，所述底座220为圆环形，设置于所述盒体210底部，所述底座220与所述盒体210为一体结构。所述盒盖230为圆盖形，当把晶圆片放置到所述盒体210后，可以将盒盖230盖入到所述盒体210上，避免晶圆片破损和污染。所述晶圆盒200还包括支撑条240，所述支撑条240呈辐射状设置于所述底座220的内圆周上，所述支撑条240与所述底座220为一体结构。所述底座220的内壁设有第一螺纹221，所述盒盖230外壁的上部设有第二螺纹231，所述第一螺纹221与所述第二螺纹231相匹配，所述底座220与所述盒盖230可通过所述第一螺纹221以及第二螺纹231螺接在一起，这样可使两个晶圆盒通过所述螺纹旋转固定在一起，需要真空包装的两个晶圆盒可以放入同一个包装袋中，进行包装出货，减少了包装及运输的成本。

当然，在实际操作中也可将更多的晶圆盒依靠所述螺纹螺接在一起，放入同一个包装袋进行真空包装，可提高包装效率并且节约成本。

在本实施例中，所述支撑条240的数量为八条，呈辐射状设置于所述底座220的内圆周上，所述底座220与所述支撑条240为一体结构。所述支撑条240加固支撑所述底座220，操作人员在打开或盖合盒盖230的过程中，可将手指卡在支撑条240上进行旋拧操作。同时，晶圆盒200在真空包装的过程中，由于底座220得到了很好的固定支撑，不易变形，可确保盒体210内存储的晶圆片的安全。

在本实用新型的其它实施例中，结合实际需要，所述支撑条的数量也可多于八条。

综上所述，本实用新型所提供的晶圆盒，包括盒体、底座以及盒盖，还包括支撑条，所述底座的内壁设有第一螺纹，所述盒盖外壁的上部设有第二螺纹，所述盒盖与所述底座通过所述第一螺纹以及第二螺纹螺接在一起，这样多个晶圆盒即可固定在一起，可放入同一个包装袋中包装出货，节约了包装及运输成本，所述支撑条的数量为八条，从而加大底座支撑固定的力度，便于操作人员旋拧操作所述晶圆盒，并可保证在真空包装过程中底座不变形，确保晶圆片的存储安全。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本发实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (4)

1、一种晶圆盒，包括：

盒体；

底座，为环形，设置于所述盒体底部；以及

盒盖，盖合于所述盒体上；

其特征在于，所述底座内壁设有第一螺纹，所述盒盖外壁的上部设有第二螺纹，所述第一螺纹与所述第二螺纹相匹配。

2、如权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，还包括支撑条，所述支撑条以辐射状设置于所述底座的内圆周上，所述支撑条数量为八条。

3、如权利要求2所述的晶圆盒，其特征在于，所述支撑条与所述底座为一体结构。

4、如权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述底座与所述盒体为一体结构。

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