CN201265565Y - 一种真空油扩散泵 - Google Patents
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Abstract
一种真空油扩散泵，包括被抽气体的进气口、对油蒸汽进行加热的加热器、使油蒸汽被加热器加热后上升的泵芯、以及被抽气体与被加热的油蒸汽的混合气体的出气口，其特征在于，还包括一测温及其控制系统。本实用新型可对扩散泵油温进行测量，从而利用温控仪及其控制电路来改变加热功率，控制扩散泵油温，使扩散泵达到最佳的工作状态，更起到节能的目的。另外，可对加热盘采取保温措施，以降低加热盘的实际使用功率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空油扩散泵，尤其是涉及一种节能型的真空油扩散泵。
背景技术
在现有技术中，在真空烧结炉等设备中使用油扩散泵。
扩散泵大多采用电热丝的加热盘直接加热，由于环境温度的影响，冷却水温度的变化，会出现加热功率过大而影响扩散泵的抽速。
在使用过程中解决这个问题基本依赖使用者的经验，调节加热器和泵体之间的距离来控制加热效果。在环境温度比较高的情况下，还要采用电扇外部冷却泵体来改善扩散泵的抽气效果。采用以上手段，即麻烦，又浪费电能。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种真空油扩散泵，其设有测温装置，可以使用热电阻和温控仪来实现测量扩散泵内扩散泵油的温度。
本实用新型的进一步的目的在于提供一种真空油扩散泵，其可控制扩散泵加热电源功率，能够实现随着扩散泵油温度的变化而增大或者减小加热器的加热功率。
为此，本实用新型提供了一种真空油扩散泵，包括被抽气体的进气口、对油蒸汽进行加热的加热器、使油蒸汽被加热器加热后上升的泵芯、以及被抽气体与被加热的油蒸汽的混合气体的出气口，其特征在于，还包括一测温及其控制系统。
优选地，所述测温及其控制系统包括测温热电阻，该测温热电阻由陶瓷护管套装，并由耐温材料封闭密封。
优选地，所述测温及其控制系统包括温控仪，该温控仪与可控硅模块、扩散泵加热电热丝、和测温热电阻电连接，可控硅模块与扩散泵加热电热丝电连接，扩散泵加热电热丝与测温热电阻电连接。
根据本实用新型，可对扩散泵油温进行测量，从而利用温控仪及其控制电路来改变加热功率，控制扩散泵油温，使扩散泵达到最佳的工作状态，更起到节能的目的。另外，可对加热盘采取保温措施，以降低加热盘的实际使用功率。
附图说明
图1是根据本实用新型的扩散泵的结构示意图。
图2是根据本实用新型的扩散泵的控制电路示意图。
具体实施方式
根据本实用新型的扩散泵如图1所示，包括进气口1、泵芯2、出气口3、加热器6、和一测温接口。其中，油蒸汽4被加热器6加热后在泵芯2内上升，从若干泵芯2的出口逸出后与从进气口1进入的被抽气体5混合，最后通过出气口3泵出。
特别是，可将测温热电阻7用陶瓷护管套好装入测温接口，并使用耐温材料封闭密封线路，以减少环境对测温电阻的影响。
根据本实用新型的控制电路图如图2所示。其中，附图标记21表示三相380V进线；附图标记22表示空气开关；附图标记23表示接触器；附图标记24表示可控硅模块；附图标记25表示温控仪；附图标记26表示扩散泵加热电热丝；附图标记27表示测温热电阻；附图标记28表示指示灯。
本实用新型的工作原理如下：
由温控仪25设定好扩散泵油的工作温度(冬天和夏天根据水温不同可以适当调节)，在扩散泵开机时，接触器23接受开机指令吸合，扩散泵油温在常温，可控硅模块24接受温控仪25的控制电流，使通过可控硅模块24的电流最大，扩散泵加热电热丝26开始大功率地加热扩散泵油，测温热电阻27及时地将扩散泵油温反馈给温控仪25。
当扩散泵油温达到工作温度时，温控仪25接收到测温热电阻27的反馈，从而使可控硅模块24的控制电流发生变化，使流过可控硅模块24的电流减小，实现扩散泵加热电热丝26的功率减小，实现保温。
在扩散泵油温发生变化的时候，测温热电阻27实时地将当前扩散泵油温反馈给温控仪25，而温控仪25以控制电流增加或减小的方式改变通过可控硅模块24的电流，从而实现扩散泵加热电热丝26加热功率的改变，实现扩散泵工作油温的动态平衡。
本实用新型利用控制电路闭环，实现了扩散泵加热电源功率和扩散泵油温的控制。
在扩散泵油温达到工作值后，实现保温状态下的较小加热功率，从而可以合理地减少电能消耗。
由于本实用新型可以实现扩散泵油的工作油温可控，从而不需要外部另加冷却风扇。
由于本实用新型对扩散泵油温和加热功率进行闭环控制，在扩散泵加热电热丝进行维修后(电阻变小)，也可以维持加热和保温功率不变。
本实用新型从以上三个方面都可达到节能目的。
另外，本实用新型可以减少因更扩散泵油使设备产生故障而停机的时间。
Claims (3)
1.一种真空油扩散泵，包括被抽气体的进气口、对油蒸汽进行加热的加热器、使油蒸汽被加热器加热后上升的泵芯、以及被抽气体与被加热的油蒸汽的混合气体的出气口，其特征在于，还包括测温及其控制系统。
2.如权利要求1所述的真空油扩散泵，其特征在于，所述测温及其控制系统包括测温热电阻，该测温热电阻由陶瓷护管套装，并由耐温材料封闭密封。
3.如权利要求1所述的真空油扩散泵，其特征在于，所述测温及其控制系统包括温控仪，该温控仪与可控硅模块、扩散泵加热电热丝、和测温热电阻电连接，可控硅模块与扩散泵加热电热丝电连接，扩散泵加热电热丝与测温热电阻电连接。
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Publications (1)
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| CN201265565Y true CN201265565Y (zh) | 2009-07-01 |
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2008
- 2008-09-19 CN CNU2008201226221U patent/CN201265565Y/zh not_active Expired - Lifetime
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