CN201225948Y - 高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪，包括分子泵、机械泵、集成阀堆、和质谱室等系统，机械泵通过管路与集成阀堆和分子泵连接，由分子泵的抽气口与质谱室连接，其特征在于所述质谱室内离子发生器的灯丝为氧化钇铱金丝，并用鼠笼式栅网去采集电子加压，由一个带角度的引流装置，使离子经过175度非均匀强磁场运动后，最终由离子接收器的接收靶收集离子流。本实用新型使用的氧化钇铱金灯丝为低电压，这样即便灯丝暂时暴露在大气中，也不会烧毁损坏。鼠笼式栅网的采集加压和带角度的引流装置，大大提高了仪器的灵敏度。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种分析仪器设备，一种高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪。
背景技术
氦质谱检漏仪是一种真空检漏的分析设备，但目前已有的氦质谱检漏仪的缺点是检测灵敏度低，质谱室内的鎢灯丝极易烧毁损坏。
发明内容
为了解决现有氦质谱检漏仪灵敏度低，质谱室内的鎢灯丝极易烧毁损坏的问题，本实用新型提供一种高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪，相对解决了灯丝易烧毁损坏的问题，并提高了检漏仪的灵敏度。
本实用新型技术方案：高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪，包括分子泵、机械泵、集成阀堆、质谱室等系统，机械泵通过管路与集成阀堆和分子泵连接，由分子泵的抽气口与质谱室连接，其特征在于所述质谱室内离子发生器的灯丝材料为氧化钇铱金丝，并用鼠笼式栅网去采集电子加压，由一个带角度的引流装置引导离子，使离子经过175度非均匀强磁场运动后，最终由离子接收器的接收靶去收集离子流。
本实用新型有益效果
1.选用氧化钇铱金做灯丝，可降低灯丝发射电子的工作电压，这样即便灯丝暂时暴露在大气中，也不会烧毁损坏。
2.由于使用鼠笼式栅网，这样提高了电子的采集率。
3.加工一个带角度的离子引流装置，减少了离子的流失，从而明显提高了仪器的灵敏度。
附图说明
下面结合附图和实施对本实用新型作进一步说明。
图1是本实用新型的原理构造图。
图1中，1、机械泵，2、集成阀堆，3、分子泵，4、分子泵抽气口，5、检漏口，6、电压输入插头(+)7、电压输入插头(-)，8、氧化钇铱金灯丝，9、鼠笼式栅网，10、带角度的引流装置，11、175度非均匀强磁场，12、质谱室壳体，13、支架，14、离子接收靶，15、法兰，16、离子收集器，17、质谱室，18、离子发生器。
具体实施方式
在图1中，机械泵1通过管路与集成阀堆2和分子泵3连接，由分子泵抽气口4与质谱室17连接。质谱室17是由支架13，质谱室壳体12，法兰15，离子收集器16，带角度的引流装置10，175度非均匀强磁场11和离子发生器18组装合成。这里离子发生器18封装的插头6和插头7分别是电压(+)(-)的输入端，氧化钇铱金灯丝8的两端就焊接在插头6和插头7上，图中的氧化钇铱金灯丝8应加工成开路环状。鼠笼式栅网9要装配在环状的氧化钇铱金灯丝8的中心。带角度的引流装置10应对准鼠笼式栅网9的中心去装配。另外，在离子接收器16的内部要装配离子接收靶14。
本实用新型的工作原理：首先按要求接通电源，正确启动机械泵1，分子泵3，控制系统将按程序分别打开和关闭集成阀堆2的内部阀门，当显示屏提示可以进行检测后，被检测的真空系统或零件应与检漏口5衔接，喷氦时，如遇见有漏，氦气将从被检测的系统或零件的内部由检漏口5扩散进入集成阀堆2，分子泵3和质谱室17内，此时氦气将与氧化钇铱金灯丝8发生反应形成电子，鼠笼式栅网9将及时采集加压，由带角度的引流装置10引导，经过175度非均匀强磁场运动，最终由离子收集器16的离子收集靶14接收离子流，通过量化运算完成漏率分析。
Claims (3)
1.一种高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪，包括机械泵、分子泵、集成阀堆、质谱室等，机械泵通过管路与集成阀堆和分子泵连接，由分子泵的抽气口与质谱室连接，其特征在于质谱室内离子发生器的灯丝为氧化钇铱金丝，并用鼠笼式栅网去采集电子加压，由一个带角度的引流装置引导离子。
2.根据权利要求1所述的高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪，其特征在于所述的氧化钇铱金灯丝要加工成开路环状。
3.根据权利要求1所述的高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪，其特征在于带角度的引流装置应对准鼠笼式栅网的中心去装配。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CNU200820114722XU CN201225948Y (zh) | 2008-05-13 | 2008-05-13 | 高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪 |
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| CNU200820114722XU CN201225948Y (zh) | 2008-05-13 | 2008-05-13 | 高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102339722A (zh) * | 2011-10-14 | 2012-02-01 | 安徽皖仪科技股份有限公司 | 一种离子源灯丝 |
| CN110793729A (zh) * | 2019-10-18 | 2020-02-14 | 徐遂涛 | 利用氦质特性检测并保护真空腔焊接口密封性的辅助设备 |
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2008
- 2008-05-13 CN CNU200820114722XU patent/CN201225948Y/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| DD01 | Delivery of document by public notice |
Addressee: Qin Xiaozheng Document name: Notification to Pay the Fees |
|
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20090422 Termination date: 20140513 |