CN201179493Y

CN201179493Y - 点胶机

Info

Publication number: CN201179493Y
Application number: CNU2008200346546U
Authority: CN
Inventors: 陈怡景; 成铁军; 唐健
Original assignee: Suzhou Good Ark Electronics Co Ltd
Current assignee: Suzhou Good Ark Electronics Co Ltd
Priority date: 2008-04-16
Filing date: 2008-04-16
Publication date: 2009-01-14
Anticipated expiration: 2018-04-16

Abstract

一种点胶机，包括：一工作台；一机架，所述机架与工作台固定连接；一点胶阀，包括进胶口及点胶口，该点胶阀位于工作台上方，并相对机架在纵向滑动连接，其点胶口朝向工作台台面；一气缸，该气缸安装在机架上，其作用端与点胶阀相连，并在纵向作用于点胶阀；一可容纳光刻胶的密闭式置料筒，其上设有第一连接孔和第二连接孔，其中第二连接孔与点胶阀上的进胶口经管道连接；一气源；一气源控制器，该气源控制器的进气口与气源连接，第一出气口与气缸连接，第二出气口与置料筒上的第一连接孔连接。本方案解决了人工点胶时，其点胶位置以及点胶量不易控制，造成原料浪费，且生产效率不高、产品质量较低的问题。

Description

点胶机

技术领域

本实用新型涉及一种点胶机，主要是指用于在硅片表面匀上一层均匀胶面的装置。

背景技术

在半导体芯片加工工艺中，广泛应用氧化、淀积、光刻、刻蚀、离子注入和金属化等几个主要步骤，其中光刻工艺则是刻蚀前必不可少的工艺手段，而光刻工艺中首先要进行的就是在硅片上匀胶，即在硅片的表面上均匀的涂覆一层光刻胶，以用于后续的曝光、显影、腐蚀等。现有涂覆光刻胶的方法一般是先将硅片放置在匀胶台上，然后由人工手持点胶瓶，对准匀胶台硅片中心点胶，匀胶台快速启动和高速转动利用离心力将光刻胶快速的匀在硅片上，并保证硅片上光刻胶厚度的一致性和均匀性。上述方法已使用多年，但仍存在一些问题：1、人工点胶时，其点胶位置不易控制，容易偏离其硅片中心，而导致匀胶后整个硅片上的光刻胶厚度不均匀，甚至部分周边未涂上胶，从而影响产品质量；2、人工点胶时，由于每次挤压点胶瓶的用力不一致，其点胶的量不易控制，实践中操作者往往多点胶，从而造成不必要的材料浪费；3、人工点胶时，必须先将光刻胶分装到点胶瓶中，在分装过程中光刻胶容易在点胶瓶内形成气泡，该气泡在硅片上匀胶破裂后会导致光刻胶的厚度不均匀，影响产品质量，且在原料的多次分装中耽误工作时间，影响生产效率，还容易造成材料的浪费。

因此，本实用新型从改进现有技术角度出发，提供一种点胶机来克服现有技术中的不足。

发明内容

本实用新型提供一种点胶机，其目的是解决人工点胶时，其点胶位置以及点胶量不易控制，造成原料浪费，且生产效率不高、产品质量较低的问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种点胶机，包括：

一工作台；

一机架，所述机架与工作台固定连接；

一点胶阀，包括进胶口及点胶口，该点胶阀位于工作台上方，并相对机架在纵向滑动连接，其点胶口朝向工作台台面；

一气缸，该气缸安装在机架上，其作用端与点胶阀相连，并在纵向作用于点胶阀；

一可容纳光刻胶的密闭式置料筒，其上设有第一连接孔和第二连接孔，其中第二连接孔与点胶阀上的进胶口经管道连接；

一气源；

一气源控制器，该气源控制器的进气口与气源连接，第一出气口与气缸连接，第二出气口与置料筒上的第一连接孔连接。

上述技术方案中的有关内容解释如下：

1、上述方案中，所述工作台台面指设在工作台上的匀胶台。

2、上述方案中，所述气源为一空压机。

本实用新型工作原理是：以点胶机来控制光刻胶的点胶量及点胶位置，其气源是一空压机，籍由空压机将压缩空气输出至气源控制器中，经气源控制器调节其压力后输入至盛有光刻胶的密闭式置料筒，从而光刻胶被压缩到点胶阀中，此时由气源控制器控制气缸推动点胶阀到点胶位，再由控制器控制点胶阀打开阀门，使光刻胶从点胶口挤出进行点胶，从而完成点胶工作。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1、由于本实用新型采用气缸来控制点胶阀行程，并将点胶阀点胶口朝向工作台台面相对固定在机架上，确保了其点胶位置固定，使得每次点胶都能够准确的点在匀胶台上的硅片中心。

2、由于本实用新型由控制器控制点胶阀阀门的开放，使点胶时间受到了控制，从而有效的控制了每次的点胶量，避免了光刻胶的浪费，节省了原料。

3、由于本实用新型采用，密闭式置料筒来盛装光刻胶，其盛装量可供一天点胶使用，避免了以往反复将光刻胶分装到点胶瓶中的繁琐，同时避免了在分装过程中光刻胶的浪费，减少了操作人员的工作量，提高了生产效率；另外，也避免了光刻胶在分装过程中容易在点胶瓶内形成气泡，而导致产品质量下降的问题。

附图说明

附图1为本实用新型原理示意图；

附图2为本实用新型结构示意图。

以上附图中：1、光刻胶；2、置料筒；3、空压机；5、气源控制器；6、气缸；7、点胶阀；8、进胶口；9、点胶口；10、管道；11、匀胶台；12、机架；13、工作台；14、第一连接孔；15、第二连接孔；16、第一出气口；17、第二出气口；18、进气口。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例：

如图1、图2所示，一种点胶机，用于准确控制点胶位置和根据所需控制点胶量，包括：

一工作台13及由匀胶台11构成的工作台台面，机架12与工作台13固定连接；

一点胶阀7，包括进胶口8及点胶口9，该点胶阀7位于工作台13上方，并相对机架12在纵向滑动连接，其点胶口9朝向匀胶台11；

一气缸6，该气缸6安装在机架12上，其作用端与点胶阀7相连，并在纵向作用于点胶阀7；

一可容纳光刻胶1的密闭式置料筒2，其上设有第一连接孔14和第二连接孔15，其中第二连接孔15与点胶阀7上的进胶口8经管道10连接；

一空压机3；

一气源控制器5，该气源控制器5的进气口18与空压机3连接，第一出气口16与气缸6连接，第二出气口17与置料筒2上的第一连接孔14连接。

以点胶机来控制光刻胶1的点胶量及点胶位置，其气源是一空压机3，籍由空压机3将压缩空气输出至气源控制器5中，经气源控制器5调节其压力后输入至盛有光刻胶1的密闭式置料筒2，从而光刻胶1被压缩到点胶阀7中，此时由气源控制器5控制气缸6推动点胶阀7到点胶位，再由控制器6控制点胶阀7打开阀门，使光刻胶1从点胶口9挤出进行点胶，从而完成点胶工作。

采用气缸6来控制点胶阀7的行程，并将点胶阀7的点胶口9朝向匀胶台11相对固定在机架12上，确保了其点胶位置固定，使得每次点胶都能够准确的点在匀胶台11上的硅片中心。

由控制器5控制点胶阀7阀门的开放，使得点胶时间受到了控制，从而有效的控制了每次的点胶量，避免了光刻胶1的浪费，节省了原料。

而采用置料筒2来盛装光刻胶1，其中盛装量可供一天点胶使用，避免了以往需要反复将光刻胶1分装到点胶瓶中，同时避免了在分装过程中光刻胶1的浪费，减少了操作人员的工作量，提高了生产效率；另外，也避免了光刻胶1在分装过程中容易在点胶瓶内形成气泡，而导致产品质量下降的问题。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1、一种点胶机，其特征在于包括：

一工作台(13)；

一机架(12)，所述机架(12)与工作台(13)固定连接；

一点胶阀(7)，包括进胶口(8)及点胶口(9)，该点胶阀(7)位于工作台(13)上方，并相对机架(12)在纵向滑动连接，其点胶口(9)朝向工作台(13)台面；

一气缸(6)，该气缸(6)安装在机架(12)上，其作用端与点胶阀(7)相连，并在纵向作用于点胶阀(7)；

一可容纳光刻胶的密闭式置料筒(2)，其上设有第一连接孔(14)和第二连接孔(15)，其中第二连接孔(15)与点胶阀(7)上的进胶口(8)经管道(10)连接；

一气源；

一气源控制器(5)，该气源控制器(5)的进气口(18)与气源连接，第一出气口(16)与气缸(6)连接，第二出气口(17)与置料筒(2)上的第一连接孔(14)连接。

2、根据权利要求1所述的点胶机，其特征在于：所述气源为一空压机(3)。