CN201016913Y - 流体监测器的管路气泡去除装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种流体监测器的管路气泡去除装置，包括：设置在监视器内的中空容器(1)和贮液槽(3)：贮液槽(3)与中空容器(1)顶端之间设有导入液体的导入管(17)；中空容器(1)顶端与贮液槽(3)之间设有将容器内的气体与多余液体(2)导出的气液导出管(18)；及端衔接在中空容器(1)底部而另端衔接至检测仪(5)的液体导出管(16)。能使中空容器(1)无法容置的多余液体(2)与气泡，能由气液导出管(18)顺利排出。

Description

流体监测器的管路气泡去除装置

技术领域

本实用新型公开了一种流体监测器的管路气泡去除装置。

背景技术

传统电子业，在晶圆及电路板的制造过程中，难免不了会使用到大量的酸洗液，为了有效利用酸洗液及降低成本，一般都经由循环过滤后再重复使用，但随着时间的增长，酸洗液的浓度及混浊度会相对提高，为了了解液体的变化及避免晶圆及电路板受到酸洗液的影响，即有业者设计出一种流体监测器，该流体监测器内的检测仪检测出流体管路中的液体，以早期发现液体内的杂质度及浓度，以供使用者参考是否更换酸洗液。

上述导入流体监测器内的流体管路是直径不大的蠕管，当流体进入蠕管的同时也会带入空气，该空气会呈节状气泡出现在管内且随着液体的流动而移动，由于检测仪主要是针对液体检测，所以在有气泡的状态下会影响检测数据及结果，故有必要去除流体管路内的气泡。

以前，关于气泡去除装置也见于专利文献中，如下揭专利文献1所示，是为一种气泡去除装置，其具备：本体1，其形成有圆筒状的流入空间2、及接续该流入空间2之呈倒立的圆锥状的圆锥空间3、以及接续该圆锥空间3之小圆柱状的流出空间4，流入空间2与流出空间4皆有设于各空间的切线方向的流入口5和流出口6；本体中央有中心轴7，流出空间2中央上端设有气泡排出口8；排出口8与流入空间2之间形成一阀室9，其内设有在流入空间2形成开口之通孔12的汽缸13、及包围该汽缸的筒状壁18、以及封闭其上部之板19的盖状浮体17、该浮体17系嵌入汽缸之上端，而存在一间隙20。

专利文献1：中国台湾专利公告478945号「气泡除去装置」、2002年03月11日公告。

由上述实施，可确实使小流量流体之气泡去除，且液体不会从气泡排出口流出，对流量变化能有效应对。

上述专利文献1所记载的气泡去除装置，其构造复杂，在维修保养上极为不便，而且不适合使用在空间极为有限的流体监测器内，又成本高，使替换时有成本考虑；再者，液体入口是位在本体1上端的侧边，所以液体导入后会在本体内产生旋转流动，使气泡导入于旋涡内，造成气泡排放的速度减缓；又当液体的黏稠度增大时，气泡去除的效率便会大幅下降，间接影响检测仪器的进度及运作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种构造简单、组装方便、易于维护、生产成本低廉，又能将存在于管路中之液体气泡去除的流体监测器之管路自动气泡去除装置。

为解决前述问题及达到本实用新型的目的，其技术手段是这样实现的，一种流体监测器之管路气泡去除装置，包括：一设置在监测器内的中空容器(1)；一将贮液槽(3)内的液体(2)导出后再由前述中空容器(1)顶端导入的液体导入管(17)；一由前述中空容器(1)顶端将容器内的气体与多余液体(2)导出后再入于贮液槽(3)内的气液导出管(18)；及一端衔接在中空容器(1)底部而另端衔接至检测仪(5)的液体导出管(16)。

根据上述流体监测器之管路气泡去除装置，其中，中空容器(1)是由一容器本体(11)及封闭在容器本体(11)上端的上盖(10)所组成，前述上盖(10)具有流入管(14)及排放管(15)，以分别衔接液体导入管(17)及气液导出管(18)。

根据上述流体监测器之管路气泡去除装置，其中，中空容器(1)底部为圆锥体(12)，在圆锥体(12)底端设置流出管(13)以衔接液体导出管(16)。

根据上述流体监测器之管路气泡去除装置，其中，液体导入管(17)与贮液槽(3)间能串接一具有抽取液体(2)及控制流量的泵体(4)。

根据上述流体监测器之管路气泡去除装置，其中，液体导出管(16)另端衔接的检测仪(5)管路出口端，设有一流量控制阀(19)。

本实用新型与现有技术相比，具有以下明显的优势和有益效果：

本实用新型流体监测器的管路气泡去除装置，利用中空容器(1)及顶端的液体导入管(17)的高流动速度、气液导出管(18)次高流动速度，再加上底端的液体导出管(16)的低流动速度，使液体在中空容器(1)内能以自重下降的方式流出，因底端的液体导出管(16)的流速有限，比重较轻的气泡便藉由浮力向上，跟中空容器(1)无法容置的多余液体(2)一起由次高流动速度的气液导出管(18)排出，使液体内的空气在进入液体导出管(16)前就能完全排除或减少空气含量。

如上述本实用新型，中空容器(1)由容器本体(11)及上盖(10)组成后，能易于制造组装，也能易于维护及保养，更能以低成本制造。

如上述本实用新型，中空容器(1)下的圆锥体(12)能使容器内的液体(2)朝底部中央聚集，减缓流速，更能提高除气效率，并使液体(2)能集中导流而出。

如上述本实用新型，藉由泵体加压使贮液槽(3)的液体由低处输往高处或是作为远距传输，且能控制流量，避免中空容器(1)输出入不均。

如上述本实用新型，因经由液体导入管(17)流入的液体原本就有着高流动速度，若流速有增加，会影响液体导出管(16)的流速与除气效率，便要在检测仪(5)管路出口端设置一流量控制阀(19)，控制液体导出管(16)流动速度，使流速下降，便能使中空容器(1)无法容置的多余液体(2)与气泡，能由气液导出管(18)顺利排出。

附图说明

图1：本实用新型的第一实施例立体示意图；

图2A：没加装本实用新型之液体导出管的X-X全剖视图；

图2B：有加装本实用新型之液体导出管的X-X全剖视图；

图3：本实用新型的第二实施例立体示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施例加以说明：

如图1、图3所示，为本实用新型的第一实施例立体示意图及本实用新型的第二实施例立体示意图。

图中揭示出一种流体监测器之管路气泡去除装置，包括：一设置在监测器内的中空容器(1)；一将贮液槽(3)内的液体(2)导出后再由前述中空容器(1)顶端导入的液体导入管(17)；一由前述中空容器(1)顶端将容器内的气体与多余液体(2)导出后再入于贮液槽(3)内的气液导出管(18)；及一端衔接在中空容器(1)底部而另端衔接至检测仪(5)的液体导出管(16)；其中，经由液体导入管(17)流入的液体有着高流动速度，再加上底端的液体导出管(16)的低流动速度，便能利用液体(2)本身的重量，在中空容器(1)内能以自重下降的方式由液体导出管(16)流出至检测仪(5)，并使比重较轻的气泡藉由浮力向上，被中空容器(1)无法容置的多余液体(2)带动，一起由有着次高流动速度的气液导出管(18)排出，所以不须加装其它加压装置，便能回到贮液槽(3)，使液体内的空气在进入液体导出管(16)前就能完全排除或减少液体(2)中气泡的含量，使得无气泡的流体进入检测仪(5)内不致影响仪器运作，提高检测仪(5)的检测精确度，避免发生误差及错误。

上述中空容器(1)是由一容器本体(11)及封闭在容器本体(11)上端的上盖(10)所组成，前述上盖(10)具有流入管(14)及排放管(15)，以分别衔接液体导入管(17)及气液导出管(18)；其中，空容器(1)分为容器本体(11)与上盖(10)两部份，且构造简单、组装方便，能在发生故障时，方便将其拆卸维修；当管路出入口发生堵塞时，也亦能拆卸清理或是拆卸更新其中一个部件，能快速处理，不会影响生产制程。

上述中，中空容器(1)底部为圆锥体(12)，在圆锥体(12)底端设置流出管(13)以衔接液体导出管(16)；其中，利用呈倒立状之圆锥体(12)，结合设于检测仪(5)出口端的流量控制阀(19)，使流体的流速下降，避免气泡流入管路中，稳定液体(2)状况，集中于中央部分后，以一定的流量流速由自重流出，并且让气泡能够以自身的浮力上浮，被中空容器(1)无法容置的多余液体(2)带动，一起由有着次高流动速度的气液导出管(18)排出。

上述液体导入管(17)与贮液槽(3)间能串接一具有抽取液体(2)及控制流量的泵体(4)；其中，当贮液槽(3)设置位置低于中空容器(1)所在处，其内液面的位置会远低于中空容器(1)内的液面位置，便需要加装一泵体(4)，将贮液槽(3)内的液体输送到中空容器(1)内，或是贮液槽(3)设置位置离中空容器(1)较远时，在两者之间装设一泵体(4)，便能作为远距传输，且能稳定控制液体(2)流量。

上述中液体导出管(16)另端衔接的检测仪(5)管路出口端，设有一流量控制阀(19)；其中，因经由液体导入管(17)流入的液体原本就有着高流动速度，若流速有增加，会影响液体导出管(16)的流速与除气效率，便要在检测仪(5)管路出口端设置一流量控制阀(19)，控制液体导出管(16)流动速度，使流速下降，便能使中空容器(1)无法容置的多余液体(2)与气泡，能由气液导出管(18)顺利排出。

如图2A、图2B所示，分别为没加装本实用新型装置之流出管X-X全剖视图、及有加装本新型装置之流出管X-X全剖视图。

图中揭示未设置本实用新型装置时，液体导出管(16)内会因贮液槽(3)之液体内含或是泵体(4)输出时加入的气体，形成一段一段的节状气泡(6)(如图2A所示)，此会导致检测异常，严重影响检测仪(5)之检测结果，更可能因而忽略其液体质量而影响晶圆或电路板的制程，造成产品不良率提升。但当设置本新型装置后，因流速被下降，气泡被除去或大量去除，留下不影响检测的细微气泡(61)(如图2B所示)，并使流量缓慢又稳定，让检测仪(5)能精确测量并发挥出应有的功效。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型而并非限制本实用新型所描述的技术方案；因此，尽管本说明书参照上述的各个实施例对本实用新型已进行了详细的说明，但是，本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本实用新型进行修改或等同替换；而一切不脱离实用新型的精神和范围的技术方案及其改进，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (5)

1.一种流体监测器的管路气泡去除装置，包括：设置在监视器内的中空容器(1)和贮液槽(3)：其特征在于包括：

所述的贮液槽(3)与中空容器(1)顶端之间设有导入液体的导入管(17)；

所述中空容器(1)顶端与贮液槽(3)之间设有将容器内的气体与多余液体(2)导出的气液导出管(18)；及

一端衔接在中空容器(1)底部而另端衔接至检测仪(5)的液体导出管(16)。

2.如权利要求1所述流体监测器的管路气泡去除装置，其特征在于：中空容器(1)由一容器本体(11)及封闭在容器本体(11)上端的上盖(10)所组成，前述上盖(10)具有流入管(14)及排放管(15)，以分别衔接液体导入管(17)及气液导出管(18)。

3.如权利要求1所述流体监测器的管路气泡去除装置，其特征在于：中空容器(1)底部为圆锥体(12)，在圆锥体(12)底端设置流出管(13)以衔接液体导出管(16)。

4.如权利要求1所述流体监测器的管路气泡去除装置，其特征在于：液体导入管(17)与贮液槽(3)间能串接一具有抽取液体(2)及控制流量的泵体(4)。

5.如权利要求1所述流体监测器的管路气泡去除装置，其特征在于：液体导出管(16)另端衔接的检测仪(5)管路出口端，设有一流量控制阀(19)。

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