CN201015723Y - 具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置，包含：一挥发性有机化合物净化单元；一第一风机，其设于挥发性有机化合物净化单元的上游处；一第二风机，其设于挥发性有机化合物净化单元的下游处；一变频器，其与第二风机连接，用以控制第二风机的转速；一旁通风管，其跨接于第一风机后端与第二风机后端之间；一第一热交换器，其提供挥发性有机化合物的再生温度；一鼓风机，其抽送经第一热交换器所加热至再生温度的气流；一焚化炉。本实用新型公开的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置，其具有非偶合功能，可减少装置成本、模式切换稳定性及可靠度高、且维修容易且长久使用并不会有废气泄漏的问题，进而达到有效净化废气的目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种挥发性有机废气净化装置，尤其涉及一种具有双风或多组风车搭配平衡风管的挥发性有机废气净化装置。
背景技术
近来，国际间对于环保议题及工业安全卫生日益重视，考虑工业废气对环境及劳工以至于一般大众身体产生的危害，对于工业废气排放标准日趋严格，许多国家的法规都制定出浓度及臭味的排放标准。工业废气中对于挥发性有机气体的处理，在高浓度时多采用冷凝法收集，而在低浓度且大风量时则以物理吸附方式浓缩处理后，再送往小型焚化炉燃烧或以冷凝装置回收较为经济有效。以半导体业晶圆厂产生的有机废气成分为例，常含有如二甲基二硫醇(Dimethyl Sulfoxide)、N-甲基吡咯酮(N-Methyl Pyrolidone)、乙醇铵(2-Aminoethanol)、二甲基二硫醇(Dithiolethylene Glycol)、二甲基硫醇(Dimethyl Sulfide)、异丙醇(IsopropylAlcohol)、丙酮(Acetone)等化合物，以转轮吸附浓缩废气后，再以焚化炉于摄氏600～900度以上的温度燃烧，分解这些挥发性有机物质以及臭气和毒气最有效。目前以吸附式浓缩处理加上燃烧焚化的方式，进行挥发性有机气体的废气排放处理，已在半导体制造界广为采用。
如图1所示，其为现有的挥发性有机废气处理系统的示意图。其中以一转轮式吸附式处理设备30来吸附挥发性有机废气，该转轮式吸附式处理设备30包括有一吸附处理部301以及一再生处理部302，该挥发性有机废气经由第一风机10导入该吸附处理部301时，吸附转轮上所涂覆的吸附剂会吸附该挥发性有机废气，则经吸附后的干净气流可经由第二风机20导入烟囱90排放。该转轮式吸附式处理设备30以连续且慢速转动进入该再生处理部302时，以鼓风机60抽送经第一热交换器71所加热至再生温度的气流通过该再生处理部302，因此被吸附的挥发性有机物质受热脱附到气流中，该气流再被导引至第二热交换器72预热，之后导入焚化炉80燃烧成水及二氧化碳为主的物质，再经由烟囱排放90。
在现有技术中，一般会在第一风机10后端与第二风机20后端之间加装设置一旁通风管40以作为模式切换维修用，但在废气处理时经常造成废气经由该旁通风管40直接泄漏到该烟囱90而排放到大气中，因而在使烟囱90出口所监测的废气浓度变高，使得废气处理效率降低，甚至发生不符环保法规排放标准的情况，同时易造成系统模式切换时风压不平稳的状况发生。因此现有技术设计时会再装设隔离风门50，来克服上述泄漏问题。但实际上，一般隔离风门仍会发生废气泄漏，如要完全不泄漏的隔离风门，则由于需要更高的气密性设计而增加装置成本，况且因维修不易或长久使用后仍会有废气泄漏的问题。
此外，另有现有技术(如第图2所示)采用两组风机10、20串连使用，以减少单一风车切换时快速加载或载出模式的缺点，并以一自动平衡并能改变开度的特殊装置53来代替隔离风门，但仍旧面临增加装置成本、系统模式切换不稳、维修不易或长久使用后仍会有故障的问题。
另外，由于废气处理系统静压稳定度需求高，在系统开停机模式切换的时候也容易造成压力变化太大，使整个废气排气风量不稳定并影响产品质量，并会影响半导体厂的生产，严重时会使生产停顿。
新型内容
为了解决上述现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置。
该具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置包含：
一挥发性有机化合物净化单元；
一第一风机，其设置于该挥发性有机化合物净化单元的上游处；
一第二风机，其设置于该挥发性有机化合物净化单元的下游处；
一变频器，其与该第二风机连接，用以控制该第二风机的转速；
一旁通风管，其跨接于该第一风机后端与该第二风机后端之间；
一第一热交换器，其提供该挥发性有机化合物的再生温度；
一鼓风机，其抽送经该第一热交换器所加热至再生温度的气流；
一焚化炉。
本实用新型技术方案中的挥发性有机废气净化单元可为吸附式及/或吸收式处理设备。该吸附处理设备可为转轮式、转环式、堆积床式或以流体化床方式。
本实用新型的挥发性有机废气净化单元、第一风机及第二风机各可以多组并联方式装设，也就是视需要处理的废气量、废气浓度、处理的废气种类等因素来决定并联组数。因此，在多组并联的挥发性有机废气净化单元、第一风机或第二风机中，有损坏、更换或需检修时，其它组件仍可继续运行，故不须关闭本实用新型的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置。此外，在上述多组并联方式装设下，仅需一旁通风管来平衡压差，且以变频器控制第二风机组的转速，使得旁通风管前后端的压力相同或设定后端压力微大于前端压力值，则旁通风管中不会有气流流动或使后端净化后干净空气些许回流，因此废气不会泄漏或交叉污染下流的废气排放效果。
本实用新型的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置中，可以变频器控制第一风机的转速，亦即视需要处理的废气量来决定第一风机的转速。
本实用新型的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置中，该再生装置可进一步包含与该第一热交换器连接的一第二热交换器，可将自挥发性有机化合物净化单元所送出之气体在送至焚化炉前先行预热。
本实用新型的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置中，该焚化炉为直燃式或蓄热式焚化炉。
本实用新型公开的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置，其具有非偶合功能，可减少安装成本、提高模式切换稳定性及可靠度、维修容易且长久使用并不会有废气泄漏，进而达到有效净化废气的目的。可以提升装置的稳定性及安全性，并减少安装、维修成本，并能增加稳定度、可靠度。
附图说明
图1为现有的挥发性有机废气处理系统的示意图。
图2为现有的挥发性有机废气处理系统的示意图。
图3为本实用新型具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置的示意图。
图4为以蓄热式焚化炉搭配本实用新型具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置的示意图。
图5为本实用新型多组挥发性有机废气净化单元并联运作的部分示意图。
【主要组件符号说明】
10、11、11A、11B、11C 第一风机
20、21、21A、21B 第二风机
211、211A、211B 变频器
30 转轮式吸附式处理设备
31、31A、31B 挥发性有机化合物净化单元
301、311 吸附处理部
302、312 再生处理部
40、41 旁通风管
50、51 隔离风门自动平衡并能改变开度的特殊装置
54、54A、54B 自动风门
60、61 鼓风机
71、73 第一热交换器
72、74 第二热交换器
80、81 焚化炉
82 蓄热式焚化炉
90、91、92 烟囱
具体实施方式
下面结合具体实施例，并结合附图，对本实用新型做进一步详细说明，说明如后。
实施例1
图3为本实用新型具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置的示意图。如图所示，该净化装置包含：一挥发性有机化合物净化单元31；一第一风机11；一第二风机21；一变频器211；一旁通风管41；一自动风门54；一第一热交换器73；一鼓风机61及焚化炉91及92。当要运转本实用新型公开的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置时，首先启动第一风机11，待其运转正常后，以变频器211控制将第二风机21缓慢加载至一定速率值，此时自动风门54会慢速开启，之后变频器211以一定速率慢慢将第二风机21起载至所设定的需求值，即可完成系统导入。此时，旁通风管41前后端的压力相同或后端压力些微略大于前端压力值，故旁通风管41中不会有气流流动或些微后端净化空气回流，同时达到非偶合平衡前后第一及第二风机间的风量及风压问题。
当加载上述系统后，挥发性有机废气经由第一风机11抽送至挥发性有机化合物净化单元31，其包括有一吸附处理部311以及一再生处理部312，导入的挥发性有机废气经由该吸附处理部311中的吸附剂吸附，则经吸附后的干净气流可经由第二风机21导入烟囱91排放。已吸附挥发性有机废气的吸附剂会被送至再生处理部312。鼓风机61抽送经第一热交换器73所加热至再生温度的气流通过该再生处理部312，因此被吸附的挥发性有机物质受热脱附到气流中，该气流再被导引至第二热交换器74预热，之后导入一焚化炉81燃烧成水及二氧化碳为主的物质，再经由第二热交换器74及第一热交换器73后，由烟囱92排放。
当要载出系统时，由变频器211定速率控制第二风机21缓慢降载至一定速率，再将第二风机21缓慢降载至零运转，此时自动风门54亦会慢速同步关闭，再关闭第一风机11，即可完成系统载出。
实施例2
图4为以蓄热式焚化炉搭配本实用新型的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置的示意图。如图所示，除以蓄热式焚化炉82取代焚化炉81，并省略第二热交换器74之外，其余与实施例1相同。
实施例3
图5为本实用新型的多组挥发性有机废气净化单元并联运作部分示意图。如图所示，第一风机组由第一风机11A、11B及11C并联组成，第二风机组由第二风机21A、21B并联组成，经由变频器211A、211B分别控制第二风机21A、21B之转速，则可个别控制通过有机废气净化单元31A及31B的废气量，且仅需一旁通风管41平衡压差，且将第二风机21A、21B之转速控制至所设定的需求值时，旁通风管41前后端的压力相同，故旁通风管41中不会有气流流动或些微后端净化空气回流，同时达到非偶合平衡前后第一及第二风机间的风量及风压问题。
本实用新型通过设置旁通风管及变频器控制第二风机速率，成功解决现有技术中存在的泄漏及交叉污染问题，进而降低安装及维修成本，同时增加系统模式切换稳定度及可靠度。
Claims (10)
1.一种具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置，其特征在于，包含：
一挥发性有机化合物净化单元；
一第一风机，其设置于该挥发性有机化合物净化单元的上游处；
一第二风机，其设置于该挥发性有机化合物净化单元的下游处；
一变频器，其与该第二风机连接，用以控制该第二风机的转速；
一旁通风管，其跨接于该第一风机后端与该第二风机后端之间，具有非偶合平衡第一风机与第二风机的功能；
一第一热交换器，其提供该挥发性有机化合物的再生温度；
一鼓风机，其抽送经该第一热交换器所加热至再生温度的气流；
一焚化炉。
2.根据权利要求1所述的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置，其特征在于，该挥发性有机化合物净化单元为吸附式及/或吸收式处理设备。
3.根据权利要求2所述的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置，其特征在于，该吸附式处理设备可以为转轮式、转环式、堆积床式或流体化床方式。
4.根据权利要求3所述的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置，其特征在于，该吸附处理设备以转轮式运作。
5.根据权利要求1所述的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置，其特征在于，该第一风机以多组并联方式装设。
6.根据权利要求1所述的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置，其特征在于，该挥发性有机化合物净化单元以多组并联方式装设。
7.根据权利要求1所述的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置，其特征在于，该第二风机及变频器以多组并联方式装设。
8.根据权利要求1所述的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置，其特征在于，该第一风机以变频器控制转速。
9.根据权利要求1所述的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置，其特征在于，进一步包含与该第一热交换器连接的一第二热交换器，可将自该挥发性有机化合物净化单元所送出的气体在送至焚化炉前先行预热。
10.根据权利要求1所述的具前后双风车非偶合平衡风管的挥发性有机废气净化装置，其特征在于，该焚化炉为直燃式或蓄热式焚化炉。
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