CN200979404Y - 干涉仪装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型所提的干涉仪装置，具有XYZ轴调节单元，该Z轴调节单元置于干涉仪的主体1之外，包括有一Z轴调节单元底座4，复数个Z轴导杆41，一Z轴调节螺杆42，一Z轴调节螺母43；复数个Z轴导杆41的一端固定于XY轴调节单元11(12)上，另一端穿过具有长轴承组件的Z轴调节单元底座4，该底座4通过紧固螺丝固定于干涉仪本体1上，Z轴调节螺杆42通过紧固螺丝固定于Z轴调节单元底座4上，Z轴调节螺母43套于Z轴调节螺杆42上；Z轴调节螺杆42与XY轴调节单元11(12)互不接触，Z轴调节螺母43的部分置于XY轴调节单元下面，并互相接触。Z轴调节螺母43转动时，同时可以带动XY轴调节单元一起在Z轴方向进行位移移动，可以检测不同曲率的镜片，并使得镜片检测时间大大减短，提高检测效率。

Description

干涉仪装置

[技术领域]

本实用新型涉及到一种干涉仪装置，尤其是指一种在Z轴方向上可大幅度并自如的进行调节的干涉仪装置。

[背景技术]

在镜片的加工检测中会使用到干涉仪装置，如图1所示，一般干涉仪的构成中至少包含射出可干涉光的激光光源、用于将该激光光源所发射的光形成平行光束的准直透镜，具有基本形状的基准镜片以及产生干涉后可以观察到该干涉现象的观察装置。激光光源、准直透镜、基准镜片以及观察装置的光路的各构件组成一体并构成干涉仪主体，其完全装于一封闭外壳中。被测镜片由于在检测中需要装卸，所以为了方便而设置于外部，其有一支座可以放置被测镜片。因该支座安装在封闭外壳的外面，所以在使用干涉仪装置进行检测镜片动作时，必须正确地进行镜片支座与干涉仪主体间的光轴对合，如图2所示，且在检测镜片时，对于不同曲率的镜片检测，只要镜片的曲率满足基准镜片的测量范围，则不需要更换基准镜片，只需调整被测镜片与基准镜片之间的间隔即可。而上述动作的完成，需要有调整装置进行辅助动作，所以现有干涉仪装置上均有XYZ轴的位移调整单元。

现有的干涉仪的调整单元，在XYZ轴上均可以调整，在XY轴已经调节合适的情况下，因为要检测不同曲率的镜片，所以还需要调节Z轴，以使被测镜片与基准镜片之间的间隔根据曲率大小的需要有所变化。目前的干涉仪的Z轴调节单元与放置被测镜片的装置设置在一起，而Z轴调节时，是一调节环在转动，这样放置被测镜片的支座也跟着一起转动，这样原本已经调节合适的干涉图象就会偏于一边，如图3所示，为现有技术中干涉图象偏移基准图象图示，这样还需要再调节一次XY轴方向的位置，以使干涉图象一致。由于Z轴调节环是一螺纹调节结构，所以对于曲率变化比较大的镜片，其调整间隔距离有限，适用范围不是很广，这样在使用的时候可能还需要额外制作治具进行Z轴调整，如图4所示，需要调整治具的高度，以求达到大曲率半径的镜片检测的要求。图4a中为某一曲率半径的镜片与基准镜片21的间隔图标，图4b为换了一不同曲率半径的镜片后，需要调整被测镜片2与基准镜片21之间的间隔，因为干涉仪本身的Z轴调节范围有限，所以只能依靠额外的治具进行高度调整。于此，现有的干涉仪装置中，存在一些尚需解决的问题，而针对该问题，在专利号为200410078001.4的专利中有提出一解决方法，该方法为调整基准透镜的位置，从而解决被测镜片与Z轴调节环一起转动，然后通过使用N个层级来调整基准镜片与被测镜片之间的间隔，以满足测试不同曲率的镜片。该方法对于完全新制的干涉仪装置来讲，是很不错的解决办法，但是针对大多数已经拥有旧有的干涉仪装置来说，该方法不适用。

有鉴于上述现有干涉仪装置存在的问题，本实用新型提出了以下解决方案。

[发明内容]

本实用新型的发明目的是解决干涉仪装置在进行Z轴调整时使得干涉图象偏移并不能进行大范围曲率变化镜片的间隔调整的问题，实现其的技术方案如下：

本实用新型所提的干涉仪装置，如图5所示，具有XYZ轴调节单元，该Z轴调节单元置于干涉仪的主体1之外，包括有一Z轴调节单元底座4，复数个Z轴导杆41，一Z轴调节螺杆42，一Z轴调节螺母43以及使Z轴调节单元组合在一起复数个螺丝；复数个Z轴导杆41的一端固定于XY轴调节单元上，另一端穿过具有长轴承组件40的Z轴调节单元底座4，该底座4通过紧固螺丝402固定于干涉仪本体1上，Z轴调节螺杆42通过紧固螺丝402固定于Z轴调节单元底座4上，Z轴调节螺母43套于Z轴调节螺杆42上；Z轴调节螺杆42与XY轴调节单元互不接触，Z轴调节螺母43的部分置于XY轴调节单元下面，并互相接触。被测镜片2放置于被测镜片定位支座14上，调整X轴调节单元11及Y轴调节单元12，使得干涉图象与基准图象一致，如果换一曲率不同的镜片，继续调节Z轴调节单元。透过用手旋转Z轴调节螺母43，因为Z轴调节螺母43的部分置于XY轴调节单元的下面，所以Z轴调节螺母43转动时，同时可以带动XY轴调节单元一起在Z轴方向进行位移移动，而基准镜片的位置是不变的，这样基准镜片与被测镜片之间的间隔就可以变化，又因为Z轴导杆41表面光滑，并可以定位Z轴调节底座4，所以这样不会影响到干涉图象与基准图象，从而也不会产生干涉图象偏移现象，并使得镜片检测时间大大减短，提高检测效率。又因为该Z轴调节单元可以装在任何一种桌面型干涉仪上，所以不用再浪费成本购置新产品。

本实用新型的另一解决方案还可以为Z轴调节单元安置一电子马达单元来控制Z轴调节螺母43的高度，该电子马达单元可以安装于Z轴调节单元底座4里面，所用马达可为一步进马达，也可为其它形式马达。

本实用新型的又一解决方案为Z轴调节单元中包括一调节直杆，一调节环，该调节环紧套于调节直杆上，该调节直杆通过紧固螺丝固定于Z轴调节单元底座4上，还包括一气动装置，该气动装置固定于底座上，并控制调节环的高度，调节环的部分置于XY轴调节单元的下面，并接触该面，这样调节环的高度改变时，XY轴调节单元的高度也改变。

本实用新型的结构简单，对于旧有干涉仪的改进有很好的效果，不但可以减短检测时间，成本也同时降低。

为了更具体地说明本实用新型，现通过一具体实施例与附图加以说明。

[附图说明]

图1为现有技术中干涉仪某一图样

图2为现有技术中被测镜片与基准镜片位置图示

图3为现有技术中干涉图象偏移基准图象图示

图4为现有技术中使用治具调整高度的方法图示

图4a为现有技术中某一曲率镜片与基准镜片间隔示意图

图4b为现有技术中不同曲率镜片与基准镜片间隔示意图

图5为本实用新型实施例之立体图

图6为本实用新型实施例之Z轴调节螺母与XY轴调节单元接触示意图

图7为本实用新型各单元组建图

图8为本实用新型Z轴调节单元之立体图

图9为本实用新型Z轴调节单元之爆炸图

图10为本实用新型Z轴调节单元之三视图

图10a为本实用新型Z轴调节单元之俯视图

图10b为本实用新型Z轴调节单元之前视图

图10c为本实用新型Z轴调节单元之侧视图

1、干涉仪本体         11、X轴调节单元         12、Y轴调节单元

13、原Z轴调节环       14、被测镜片定位支座    2、被测镜片

21、基准镜片          3、基准图象             31、干涉图象

4、Z轴调节单元底座    41、Z轴导杆             42、Z轴调节螺杆

43、Z轴调节螺母       40、长轴承组件          401、长轴承组件固定螺丝

402、紧固螺丝

[具体实施例]

现以一具体实施例详细说明本实用新型。

如图5所示，为本实用新型之干涉仪装置立体图，该干涉仪装置包括一干涉仪本体1，一般干涉仪所需光学系统，用于干涉想象观察在电路以及基准镜片等均包含在其中；一被测镜片定位支座14，用来放置被测镜片2，该定位支座14因为需要灵活装卸镜片，所以安装于干涉仪本体1之外；一X轴调节单元11，一Y轴调节单元12，两个调节单元组合在一起，置于被测镜片定位支座14及原Z轴调节环13的下面，并接触；一改造的Z轴调节单元，该调节单元包括一Z轴调节单元底座4，该底座通过紧固螺丝402紧锁在干涉仪本体1上；复数个Z轴导杆41，本实施例中有三根Z轴导杆41，该Z轴导杆一端固定在XY轴调节单元下面，另一端透过长轴承组件40穿过Z轴固定单元底座4，长轴承组件40的数目也为三个，与Z轴导杆41的数目一致，该长轴承组件40通过长轴承固定螺丝401固定在Z轴调节单元底座4上面；还包括一Z轴调节螺杆，如图8所示，为Z轴调节单元的立体图，图9为Z轴调节单元的爆炸图，其通过紧固螺丝402固定于Z轴调节单元底座4上；一调节螺母43，该调节螺母43套在调节螺杆42上，可以通过手调螺母进行高度调整，该调节螺母43的部分置于XY轴调节单元组合下面，并与之接触，如图6所示，这样调节螺母43在旋转高度变化时，YX轴调节单元也跟着变化，被测镜片定位支座14也同时变化，这样可以测定不同曲率半径的镜片，又因为在调节Z轴单元时，不需要转动被测镜片，这样，所产生的干涉图象与基准图象就不会有便宜产生，从而减短调节时间。

本实用新型所提干涉仪装置可以安装在旧有的干涉仪上，以使干涉仪装置可以发挥更大的检测效应。如图7所示为各单元组件的组合图，Z轴调节单元固定于干涉仪主体1上，Z轴导杆41一端固定在XY轴调节单元组合下面，另一端穿过Z轴调节单元底座4，Z轴调节螺母43套于Z轴调节螺杆42上，Z轴调节螺杆42固定于Z轴调节底座4上，如图10所示，为Z轴调节单元的平面视图，图10a为本实用新型Z轴调节单元之俯视图，图10b为本实用新型Z轴调节单元之前视图，图10c为本实用新型Z轴调节单元之侧视图。

使用本实用新型缩所提干涉仪装置，可以检测曲率半径较大的镜片，并且在检测时可以减短检测时间，提高效率。

以上所述，仅为本实用新型具体实施方式，不能以此限定本实用新型实施的范围，凡根据本实用新型申请权利要求书及说明书内容所作的等效变化与修改，皆在本实用新型专利涵盖的范围内。

Claims (6)

1、一种干涉仪装置，其包括一被测镜片，一X轴调节单元，用来调整镜片在X轴方向的位移，一Y轴调节单元，用来调整镜片在Y轴方向的位移，XY轴调节单元整合在一起，一Z轴调节单元，用来调整镜片在Z轴方向的位移，一基准镜片，一被测镜片支座，用来放置被测镜片，以及一主体，该主体内包括有干涉仪所需的一般光学系统单元，其特征在于：该干涉仪的Z轴调节单元置于干涉仪的主体之外，该Z轴调节单元包括一Z轴调节单元底座，复数个Z轴导杆，一Z轴调节螺杆，一Z轴调节螺母以及使Z轴调节单元组合在一起复数个螺丝；

复数个Z轴导杆的一端固定于XY轴调节单元上，另一端穿过具有长轴承组件的Z轴调节单元底座；该底座通过紧固螺丝固定于干涉仪本体上，Z轴调节螺杆通过紧固螺丝固定于Z轴调节单元底座上，Z轴调节螺母套于Z轴调节螺杆上；

Z轴调节螺杆与XY轴调节单元互不接触，Z轴调节螺母的部分置于XY轴调节单元下面，并接触。

2、根据权利要求1所述的一种干涉仪装置，其特征在于上述Z轴调节螺母可以用手直接调节。

3、根据权利要求1所述的一种干涉仪装置，其特征在于Z轴导杆为光滑导杆，该导杆数与Z轴调节单元上的长轴承组件数一致。

4、根据权利要求1所述的一种干涉仪装置，其特征在于，其还可以包括一电子马达控制单元，该单元与Z轴调节螺杆、Z轴调节螺母相关联，控制调节螺母的高度，该电子马达单元可安装于Z轴调节单元底座中。

5、根据权利要求4所述的一种干涉仪装置，其特征在于，该电子马达可为一步进马达。

6、一种干涉仪装置，其包括一被测镜片，一X轴调节单元，用来调整镜片在X轴方向的位移，一Y轴调节单元，用来调整镜片在Y轴方向的位移，XY轴调节单元整合在一起，一Z轴调节单元，用来调整镜片在Z轴方向的位移，一基准镜片，一被测镜片支座，用来放置被测镜片，以及一主体，该主体内包括有干涉仪所需的一般光学系统单元，其特征在于：该干涉仪的Z轴调节单元置于干涉仪的主体之外，该Z轴调节单元包括一Z轴调节单元底座，复数个Z轴导杆，一Z轴调节直杆，一Z轴调节环，使Z轴调节单元组合在一起复数个螺丝以及一气动装置；

复数个Z轴导杆的一端固定于XY轴调节单元上，另一端穿过具有长轴承组件的Z轴调节单元底座；该底座通过紧固螺丝固定于干涉仪本体上，Z轴调节直杆通过紧固螺丝固定于Z轴调节单元底座上，Z轴调节环紧套于Z轴调节直杆上，气动装置固定于底座上并控制调节环；

Z轴调节直杆与XY轴调节单元互不接触，Z轴调节环的部分置于XY轴调节单元下面，并接触。

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