CN200972503Y - Sc切型石英晶片x射线定向系统 - Google Patents

Sc切型石英晶片x射线定向系统 Download PDF

Info

Publication number
CN200972503Y
CN200972503Y CNU2006200926294U CN200620092629U CN200972503Y CN 200972503 Y CN200972503 Y CN 200972503Y CN U2006200926294 U CNU2006200926294 U CN U2006200926294U CN 200620092629 U CN200620092629 U CN 200620092629U CN 200972503 Y CN200972503 Y CN 200972503Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
ray
wafer
quartz wafer
type quartz
cut type
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNU2006200926294U
Other languages
English (en)
Inventor
关守平
赵久
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CNU2006200926294U priority Critical patent/CN200972503Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN200972503Y publication Critical patent/CN200972503Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

SC切型石英晶片X射线定向系统,包括工作台,其特征在于所述的工作台上设置有X射线发生器、衍射线探测器、晶片样品旋转台及计算机控制系统;所述的X射线发生装置中设置有X射线管和单色器,X射线管的出口射线照射在直立的单色器上,去掉Kβ及连续谱线,剩下的较单色化的Kα射线照射在晶片样品旋转台上的被测晶片上,并与被测晶片中心交于一点,产生晶片衍射线,晶片衍射线被X射线探测器接收;所述的计算机系统,包括数据采集器、工业用PC机、打印机及应用软件;所述探测器的输出信号经数据采集器后进入工业用PC机,由应用软件进行去掉Kα2谱线处理后得到SC切型石英晶片以某一边为基准的回摆曲线。本实用新型具有不破坏样品、无污染、快捷、测量精度高等优点。

Description

SC切型石英晶片X射线定向系统
(一)技术领域
本实用新型涉及一种应用X射线衍射原理为石英晶片定向的光机电一体化定向系统,尤其是一种SC切型石英晶片的X射线定向系统。
(二)背景技术
随着电子信息时代的到来,为电子产品配套的电子元件及功能件也越来越精密,国内外现有的石英晶体材料品质已经远远不能满足日益发展的电子设备功能要求,提高电子产品的精度,关键是提高电子材料的精度,SC切型石英晶体是目前普通石英晶体的升级换代产品,是未来电子产品向高精尖发展的主要方向。SC切型石英晶片属于双旋转厚度切变模式,对它的定向非常复杂。国内生产SC切型石英晶体的企业,由于缺乏有效的定向手段,往往依靠经验数据进行生产;直到将SC切型石英晶片封装成器件后,通过检测器件的技术指标才能得知SC切晶片的真实加工精度,但这时已经无法改变器件的品质了,因此导致产品合格率极低,给生产企业造成了极大的浪费。其结果是这种高附加值的产品在国内无法得到规模化生产。解决SC切型石英晶片的定向问题是规模化生产高质量SC切型器件产品的关键技术之一。
(三)发明内容
本实用新型的主要目的就在于提供一套能够对SC切型石英晶片进行快速定向的系统。该系统通过小功率X射线管发生的X射线,经过单色器和计算机软件处理后,能够获得Kα1单一谱线下的SC切型石英晶片4个方向的回摆曲线,通过对回摆曲线的特征提取得到SC切型石英晶片的测角精度,从而实现对SC切型石英晶片的定向检测。
采用的技术方案是:
SC切型石英晶片X射线定向系统,包括工作台,其特征在于所述的工作台上设置有X射线发生器、衍射线探测器、晶片样品旋转台及计算机控制系统;所述的X射线发生装置中设置有X射线管和单色器,X射线管的出口射线照射在直立的单色器上,去掉Kβ及连续谱线,剩下的较单色化的Kα射线照射在晶片样品旋转台上的被测晶片上,并与被测晶片中心交于一点,产生晶片衍射线,晶片衍射线被X射线探测器接收;所述的计算机系统,包括数据采集器、工业用PC机、打印机及应用软件;所述探测器的输出信号经数据采集器后进入工业用PC机,由应用软件进行去掉Kα2谱线处理后得到样品晶片的回摆曲线。以SC切型石英晶片的每一个边为基准分别进行测量,得到4条回摆曲线;对回摆曲线分别进行处理,得到SC切型石英晶片在(yxwl)3/1表示下的4个测角如g1,g2,g3,g4;综合上述4个角度,得到SC切型石英晶片的定向精度。
上述的晶片样品旋转台由一步进电机借助精密蜗轮副减速带动,步进电机由工业用PC机的输出信号经一控制器予以控制。
上述的X射线发生器中的X射线管为30KV·2mA,铜靶X射线管。
上述的采集器模拟量采样频率不小于3600次/秒。
本实用新型具有不破坏样品、无污染、快捷、测量精度高等优点。
(四)附图说明
图1为本实用新型的系统图。
图2为应用软件的程序流程图。
(五)具体实施方式
本实用新型的SC切型石英晶片X射线定向系统包括工作台、工作台上的设置有X射线发生器2、衍射线探测器3、晶片样品旋转台4、步进电机5及计算机系统;晶片样品旋转台4是围绕其底部转轴旋转的旋转平台,由步进电机5和控制器6驱动。晶片7垂直设置在样品旋转台4上。X射线发生器2中的X射线管8和其衍射线探测器3分设于样品旋转台4的左右两侧,X射线管8的射线经过单色器1后,较单色化后的X射线出口对准晶片的中心,与其垂直面相交成一角度。衍射线探测器3的输出信号传送至数据采集器9,经过数据采集后将数字信号传送给计算机系统,计算机系统包括工业用PC机10、数据采集器9、打印机11和应用软件12组成。工作时探测器3放置在2θ角度处不动,样品旋转台4在步进电机5驱动下借助精密蜗轮副13减速旋转,晶片7在其理论峰值θ角两侧足够宽的范围内自动扫描。数据采集器9对衍射线探测器3电信号进行高速数据采集,每1角度秒(1/3600度)采集一次数据,将模拟信号变成数字信号送入PC机10,由应用软件12对所输入的数字信号进行计算和分析。应用软件系统12进行去除Kα2谱线处理后得到样品晶片的回摆曲线(RockingCurve);应用软件系统12提取回摆曲线的特征值,经过模型计算得到SC切型晶片某一实际测角如g1角。按照上述步骤依次得到测角g2,g3和g4,经过应用软件系统7综合计算,得到SC切型石英晶片的定向精度。

Claims (4)

1、SC切型石英晶片X射线定向系统,包括工作台,其特征在于所述的工作台上设置有X射线发生器、衍射线探测器、晶片样品旋转台及计算机控制系统;所述的X射线发生装置中设置有X射线管和单色器,X射线管的出口射线照射在直立的单色器上,去掉Kβ及连续谱线,剩下的较单色化的Kα射线照射在晶片样品旋转台上的被测晶片上,并与被测晶片中心交于一点,产生晶片衍射线,晶片衍射线被X射线探测器接收;所述的计算机系统,包括数据采集器、工业用PC机、打印机及应用软件;所述探测器的输出信号经数据采集器后进入工业用PC机,由应用软件进行去掉Kα2谱线处理后得到SC切型石英晶片以某一边为基准的回摆曲线。
2、根据权利要求1所述的SC切型石英晶片X射线定向系统,其特征在于所述的晶片样品旋转台由一步进电机借助精密蜗轮副减速带动,步进电机由工业用PC机的输出信号经一控制器予以控制。
3、根据权利要求1所述的SC切型石英晶片X射线定向系统,其特征在于所述的X射线发生器中的X射线管为30KV·2mA,铜靶X射线管。
4、根据权利要求1所述的SC切型石英晶片X射线定向系统,其特征在于所述的采集器模拟量采样频率不小于3600次/秒。
CNU2006200926294U 2006-08-02 2006-08-02 Sc切型石英晶片x射线定向系统 Expired - Fee Related CN200972503Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2006200926294U CN200972503Y (zh) 2006-08-02 2006-08-02 Sc切型石英晶片x射线定向系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2006200926294U CN200972503Y (zh) 2006-08-02 2006-08-02 Sc切型石英晶片x射线定向系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN200972503Y true CN200972503Y (zh) 2007-11-07

Family

ID=38883758

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNU2006200926294U Expired - Fee Related CN200972503Y (zh) 2006-08-02 2006-08-02 Sc切型石英晶片x射线定向系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN200972503Y (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103744347A (zh) * 2013-12-23 2014-04-23 东北大学 用于滚磨机的x射线定向仪及其定向方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103744347A (zh) * 2013-12-23 2014-04-23 东北大学 用于滚磨机的x射线定向仪及其定向方法
CN103744347B (zh) * 2013-12-23 2016-06-29 东北大学 采用用于滚磨机的x射线定向仪的定向方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102494710B (zh) 编码器测角精度检测装置及方法
US9134260B2 (en) Intelligent machines and process for production of monocrystalline products with goniometer continual feedback
CN1888927A (zh) Sc切型石英晶片x射线定向系统
CN104985483B (zh) 一种提高大型齿轮齿距偏差在机测量精度的方法
CN105387817A (zh) 快速检测圆柱类外圆形状尺寸参数的装置
CN202229737U (zh) 便携式砂轮三维形貌测量分析装置
CN104990487B (zh) 一种基于联动误差分析的非正交回转轴轴心偏差测量方法
CN200972503Y (zh) Sc切型石英晶片x射线定向系统
CN103424084A (zh) 基于二维激光位移传感器的砂轮三维形貌测量方法
CN105758820A (zh) 一种材料激光吸收率的测试装置和测试方法
CN202661411U (zh) 蓝宝石表面缺陷测定系统
CN207857922U (zh) 一种智能法兰加工铣床
CN202939139U (zh) 蓝宝石晶体半自动检测仪
CN204295504U (zh) 一种用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒尺寸检测装置
CN200979535Y (zh) X射线回摆曲线测定系统
CN1865956A (zh) X射线回摆曲线测定系统
CN205787023U (zh) 一种直驱电机变负载实验平台
CN107957254A (zh) 测量数控机床工作台瞬时运动中心的实验装置与确定方法
Li et al. Recent Advances in Precision Diamond Wire Sawing Monocrystalline Silicon
CN112815882A (zh) 一种高精度晶体定向角度测量装置及工作方法
CN201483590U (zh) 智能化木工轮廓数控加工铣床
CN202661410U (zh) 蓝宝石晶棒参考边角度定向系统
CN207858450U (zh) 一种适用于不同厚度端面法兰的移动扫描测量加工装置
CN107088789A (zh) 基于光纤激光测振仪的数控机床主轴轴心轨迹测量装置
CN203102853U (zh) 硬盘磁头前置控制软线板v-l-u折弯三合一装置

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20071107

Termination date: 20100802