CN200964254Y

CN200964254Y - 具识别及充气装置的氮气柜

Info

Publication number: CN200964254Y
Application number: CN 200620129792
Authority: CN
Inventors: 黄元裕; 黄建荣; 林莹灶; 林俊秀
Original assignee: FORTREND TAIWAN SCIENTIFIC CORP
Current assignee: FORTREND TAIWAN SCIENTIFIC CORP
Priority date: 2006-09-19
Filing date: 2006-09-19
Publication date: 2007-10-24
Anticipated expiration: 2016-09-19

Abstract

本实用新型一种具识别及充气装置的氮气柜，该氮气柜的箱体上组设有箱门、及氮气入口，氮气入口并与氮气供应装置相通。箱体内则组设有架体，并将箱体内部区隔出多数个承置格，可供物料盒置放组设。另物料盒具有充气口、及识别组件。且箱体内并组设有充气装置，其并与氮气入口相通，用以对氮气柜及物料盒充填氮气。通过此，本实用新型的氮气柜可结合储存、充气、及管理、识别、追踪物料盒等多功能，不仅可降低物料盒内的物料氧化几率，降低物料的损害，且可有效管理物料的实时信息，改善生产效率。

Description

具识别及充气装置的氮气柜

技术领域

本实用新型是关于一种具识别及充气装置的氮气柜，尤指一种适用于储存光罩盒、晶圆盒，并具有识别个别盒体、及充填氮气功能的氮气柜。

背景技术

一般的光罩及晶片等半导体物料多数存放于盒体中保存，且为避免上述物料于储存时，受到氧化或污染，因此必须在非氧化性气体的环境中保存。由于半导体物料盒无法完全密闭，一般的晶圆盒在大气环境下储存6小时后，内部氧气的含量即由0％上升至6％左右，因此氮气充填后的晶圆盒储存期间大约只有18～24小时，而光罩盒的储存期间更短，大约只有6小时。因此晶圆盒及光罩盒必须不断的重复充填氮气，方能确保光罩及晶片的盒体中的洁净环境。

现有存放晶圆盒及光罩盒的方式，是将晶圆盒及光罩盒存放于一氮气柜中，通过以延长晶圆盒及光罩盒重复充填氮气的期间。而现有氮气柜是于氮气柜本体组设一气体充气口，再通过由管路连通至一氮气瓶，以便不定时对氮气柜补充氮气。

此外，现有氮气柜仅提供一充满氮气的环境而已，并未具有对晶圆盒或光罩盒充气的功能，因此若要对晶圆盒或光罩盒重复充填氮气，则须开启氮气柜，取出晶圆盒或光罩盒至氮气柜外充气后再放入氮气柜内。每次开启氮气柜，则需再于氮气柜关闭后，重新充气，方能提供一充满氮气的氮气柜，极为浪费资源。

另外，现有氮气柜仅提供存放而已，并任何管理或追踪的功能。而晶圆盒或光罩盒存放于氮气柜中，若数量多，或存放时间过久，常有被遗忘而找不到，或拿错的情形发生，因而造成管理上的问题，影响生产效率。综上，目前现有氮气柜仅具提供一充满氮气环境的功能而已，并非十分理想。

创作人缘因于此，本于积极创作的精神，亟思一种可以解决上述问题的具识别及充气装置的氮气柜，几经研究实验终至完成此项嘉惠世人的本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具识别及充气装置的氮气柜，其包括有：一箱体、至少一架体、多数个物料盒及至少一充气装置。其中，箱体上组设有有一箱门、及一氮气入口，氮气入口并与一氮气供应装置相通。箱体内则组设有至少一架体，架体并将箱体内部区隔出多数个承置格，可供物料盒置放组设。另每一物料盒具有至少一充气口、及一识别组件。且箱体内并组设有至少一充气装置，其并与该氮气入口相通，可用以对氮气柜及每一物料盒充填氮气。

此外，上述的物料盒可为下述至少其一：晶圆盒、及光罩盒，以便可通过由物料盒内的氮气环境保护晶圆或光罩片，使其不易氧化。

另外，上述的箱体内可更包括一控制单元，控制单元内部并具有一键盘、或其它等效的输入装置，以便使操作人员容易作物料盒数据的查询与氮气柜系统的设定、及故障的排除。又控制单元也可更包括有一Rj45、或其它等效的计算机连接端口，以便可与外界计算机连接。当然也可通过由连接埠使多台氮气柜并连使用，以便方便且有效率管理多数个物料盒。且控制单元也可搭配组设于箱门或/及物料盒上的感应器，当箱门或/及物料盒未关闭，控制单元可控制不会对箱门或/及物料盒内部充气。

再者，上述物料盒上的识别组件可为二维条形码、射频识别芯片(Radio Frequency Identification，简称：RFID)、或其它等效识别组件，以便方便物料盒的编号、存放时间、充气时间、氮气压力等数据的读写。

此外，本实用新型更包括一读取器，其是组设于箱体外面，用以读取物料盒上识别组件的数据，以便方便且有效率管理物料盒。

另外，本实用新型更包括一显示器，其是组设于箱体外面，以便用以显示物料盒的编号、存放时间、充气时间、氮气压力、及氮气柜内的压力等资料。

再者，上述的箱体内更包括一离子棒，以便中和箱体内的正、负电，用以清除箱体内的静电。

又，本实用新型更包括一信号灯，是组设于箱体外面，用以显示显示各种操作状态，以便提醒操作人员注意。当然，也可于箱体外面组设一蜂鸣器，以便于特殊状态警告操作人员，如箱体内未排气即要开启箱门，则蜂鸣器会响，信号灯亮红灯，以便提醒操作人员注意。

此外，本实用新型可更包括一箱体压力表、或/及一流量表，是组设于箱体外面，用以显示充填氮气的压力、或/及流量。当然压力表、或/及流量表也可搭配控制单元使用，可设定压力上下限、或/及充气流量、体积，当氮气柜内的压力值低于下限，控制单元则主动开启充气装置，当氮气柜内的压力值高于上限，则主动关闭充气装置或排气。上述的充气、排气可包括一般正常速度的充气、排气或快速充气、快速排气(purge)等不同功能的模式。

另外，本实用新型更包括一充气按钮、及一排气按钮，是组设于箱体外面，且箱体上更组设有一与氮气回收装置相通的氮气出口。充气按钮、及排气按钮可提供操作人员手动开启充气装置、及氮气回收装置。

再者，本实用新型更包括一紧急按钮，是组设于箱体外面，以便提供操作人员可手动操作，紧急时将箱体内的氮气强制快速排至氮气回收装置。

又，上述箱体的氮气入口更包括有一高效率微粒滤网(High Efficiency Particulate Air，简称HEPA)，用以过滤氮气供应装置中的微粒，以便提升物料盒、及箱体内氮气的洁净度。

此外，本实用新型可更包括一充气压力表、或/及一系统压力表，是组设于箱体外面，用以显示充填氮气的压力、或/及氮气供应装置的系统压力。

本实用新型的氮气柜可结合储存、充气、及管理、识别、追踪物料盒等多功能，不仅可降低物料盒内的物料氧化机率，降低物料的损害，且可有效管理物料的实时信息，改善生产效率。

附图说明

图1是本实用新型一较佳实施例的箱门关闭立体图；

图2是本实用新型一较佳实施例的箱门开启立体图；

图3是本实用新型一较佳实施例的前视图；

图4是本实用新型一较佳实施例的物料盒立体图。

【主要组件符号说明】

10氮气供应装置 11入口管路

15氮气回收装置 16出口管路

20氮气柜 30箱体

31箱门 32氮气入口

33氮气出口 35架体

36拉门 37高效率微粒滤网

38承置格 40物料盒

41充气口 42识别组件

44读取器 45充气装置

46固定夹 47充气孔

50控制单元 52显示器

53离子棒 54信号灯

56箱体压力表 57流量表

58充气按钮 59排气按钮

60紧急按钮 61充气压力表

62系统压力表

具体实施方式

请参阅图1、图2、及图3是本实用新型一较佳实施例的箱门关闭、箱门开启立体图、及前视图。本实施例是关于一种具识别及充气装置的氮气柜20，包括有：一箱体30、四架体35、一高效率微粒滤网37、三充气装置45、一控制单元50、一读取器44、一显示器52、一离子棒53、一信号灯54、一箱体压力表56、一流量表57、一充气按钮58、一排气按钮59、一紧急按钮60、一充气压力表61、以及一系统压力表62。

如图1所示，上述的箱体30于前面、及后面分别组设有一箱门31，且箱体30于前面的箱门31下方并组设有一拉门36。箱体30上则组设有一氮气入口32、及一氮气出口33，该氮气入口32是通过由一入口管路11与一氮气供应装置10相通，而氮气出口33则通过由一出口管路16与一氮气回收装置15相通，且上述的高效率微粒滤网(HEPA)37是组设于氮气入口32处，用以过滤氮气供应装置10的微粒，以便提升物料盒40、及箱体内30氮气的洁净度。箱体30内组设有四架体35，并通过由该四架体35区隔出十六承置格38，可供物料盒40置放组设其上。箱体30内另组设有三充气装置45，其并与该氮气入口32相通，可对氮气柜20及物料盒40充填氮气。在本实施例中，箱体30内的承置格38是置放组设有二物料盒40。

请一并参阅图2、及图3，上述的离子棒53是组设于箱体30内，用中和箱体内的正、负电，清除箱体30内的静电。又上述的控制单元50是组设于该箱体30的拉门36内，用以管理存放于箱体30内物料盒40的信息、及箱体30内系统的设定、及故障的排除。另上述的每一充气装置45并具有四固定夹46，可用以固定物料盒40，以便当充填氮气时，物料盒40不会幌动。

再如图2所示，上述的读取器44、显示器52、信号灯54、箱体压力表56、流量表57、充气压力表61、以及系统压力表62是组设于箱体30外面，可方便提供操作人员操作。其中，读取器44可读取每一物料盒40上识别组件42的编号、存放时间、充气时间、氮气压力等数据。而显示器52除可显示上述每一物料盒40的资料外，也可显示箱体30内的氮气压力等资料。另外，信号灯54是用以显示各种操作状态，可提醒操作人员注意。至于箱体压力表56则可量测箱体30内的氮气压力，充气压力表61可量测充气装置45的充填氮气压力，而系统压力表62则可量测氮气供应装置10的系统压力。另外，流量表57则可量测充气装置45的充填氮气的流量。

此外，上述的充气按钮58、排气按钮59、及紧急按钮60也组设于箱体30外面，可方便提供操作人员手动操作。其中，充气按钮58、及排气按钮59是分别用以手动开启充气装置45、及开启氮气回收装置15。至于紧急按钮60则用以手动开启氮气回收装置15，并选择以快速排气的模式排出箱体30内的氮气。

请继续参阅图4是本实用新型一较佳实施例的物料盒立体图。本实施例的每一物料盒40包括有四充气口41、及一识别组件42。其中，四充气口41是组设于物料盒40的底面，充气口41并与充气装置45的充气孔47相互对应设置。另识别组件42是组设于物料盒40的上面，可方便以读取器44读取其内的数据。在本实施例中，物料盒40内是存放光罩片，且物料盒40上的识别组件42是为一射频识别芯片(RFID)，可读可写，以便方便每一物料盒40的编号、存放时间、充气时间、氮气压力等数据的读出或写入。

上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本实用新型所主张的权利范围自应以申请专利范围所述为准，而非仅限于上述实施例。

Claims

1.一种具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于包括：

一箱体，包括有一箱门、及一氮气入口，该氮气入口与一氮气供应装置相通；

至少一架体，组设于该箱体内，该至少一架体并区隔出多数个承置格；

多数个物料盒，每一物料盒是分别组设于每一承置格上，并包括有至少一充气口、及一识别组件；以及

至少一充气装置，组设于该箱体内，并与该氮气入口相通。

2.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一控制单元，组设于该箱体内，用以管理该多数个物料盒。

3.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，所述该物料盒是为下述至少其一：晶圆盒、及光罩盒。

4.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，所述该识别组件是为下述至少其一：二维条形码、及射频识别芯片。

5.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一读取器，组设于该箱体外面，用以读取该识别组件的数据。

6.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一显示器，组设于该箱体外面，用以显示每一物料盒的资料。

7.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一离子棒，组设于该箱体内，用以清除该箱体内的静电。

8.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一信号灯，组设于该箱体外面，用以显示操作状态。

9.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一箱体压力表，组设于该箱体外面，用以显示箱体内的氮气压力。

10.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一流量表，组设于该箱体外面，用以显示充填氮气的流量。

11.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一排气按钮、及一氮气回收装置，该箱体更包括一氮气出口，其是与该氮气回收装置相通，该排气按钮组设于该箱体外面，用以开启该氮气回收装置。

12.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一高效率微粒滤网，组设于该氮气入口，用以过滤氮气。